掺杂器、长晶炉以及使用长晶炉的方法.pdf

(19)中华人民共和国国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN106567124A(43)申请公布日2017.04.19(21)申请号201610623682.0(22)申请日2016.08.02(30)优先权数据1041334252015.10.12TW(71)申请人环球晶圆股份有限公司地址中国台湾新竹市科学园区工业东二路8号(72)发明人陈俊宏蓝文杰中西正美李依晴徐文庆(74)专利代理机构上海翼胜专利商标事务所(普通合伙)31218代理人翟羽(51)Int.Cl.C30B15/04(2006.01)C30B15/10(2006.01)权利要求书3页说明书5页附图6页(54)发明名称掺杂器、长晶炉以及使用长晶炉的方法(57)摘要本发明提供一种掺杂器、长晶炉以及使用长晶炉的方法，用于熔化一固态的原料，所述长晶炉包括：一炉体；一坩埚设置于所述炉体内，用于容置所述原料；一加热装置用于加热所述坩埚，使所述原料熔化而形成一熔融原料；一储料桶用于容置一掺杂物，且所述储料桶具有一出口；一阻料器设置于所述储料桶且位于所述出口处，所述阻料器受控制而开启或封闭所述出口；一第一进料管穿设所述炉体，且具有一入料口与一出料口，所述入料口连通所述储料桶的出口；一冷却装置设置于所述第一进料管，用于对所述第一进料管内部进行冷却。CN106567124ACN106567124A权利要求书1/3页1.一种用于长晶炉的掺杂器，且所述掺杂器用于将一掺杂物添加至所述长晶炉中的熔融原料，所述掺杂器包括：一储料桶，供容置所述掺杂物，所述储料桶具有一出口；一阻料器，设置于所述储料桶且位于所述出口处，所述阻料器受控制而开启或封闭所述出口；一第一进料管，具有一入料口与一出料口，所述入料口连通所述储料桶的出口；以及一冷却装置，设置于所述第一进料管，用于对所述第一进料管内部进行冷却；所述阻料器受控制而开启所述出口之后，所述掺杂物自所述第一进料管的入料口落入所述第一进料管中，而自所述第一进料管的出料口落出。2.根据权利要求1所述的掺杂器，其特征在于，所述第一进料管包括一第一外管以及穿设于所述第一外管内的一第一内管，所述第一内管具有所述入料口与所述出料口。3.根据权利要求2所述的掺杂器，其特征在于，所述掺杂器进一步包括一升降机构，连接所述第一内管，所述升降机构控制所述第一内管相对所述第一外管在一第一位置以及一第二位置间移动；所述第一外管具有一朝向所述长晶炉中的熔融原料的前端，；所述第一内管位于所述第一位置时，所述第一内管的出料口与所述第一外管的前端之间相隔一第一距离；所述第一内管位于所述第二位置时，所述第一内管的出料口与所述第一外管的前端之间相隔一第二距离，所述第二距离大于所述第一距离。4.根据权利要求3所述的掺杂器，其特征在于，进一步包含一设置于所述储料桶与所述第一进料管之间的第二进料管，所述第二进料管与所述第一进料管呈一夹角；所述第一进料管的入料口通过所述第二进料管连通所述储料桶的出口；所述第一内管的管壁上形成有所述入料口，且所述第一内管位于所述第二位置时，所述入料口与所述第二进料管内部相对应。5.根据权利要求4所述的掺杂器，其特征在于，所述第二进料管包括一第二外管以设置于所述第二外管内的一第二内管，所述第二内管连通所述第一进料管的入料口与所述储料桶的出口，且所述第一内管位于所述第二位置时，所述入料口与所述第二内管内部相对应。6.根据权利要求4所述的掺杂器，其特征在于，进一步包括一第一开关阀，设置于所述第二进料管，用于控制所述第二进料管内部的通道的开启或关闭。7.根据权利要求4所述的掺杂器，其特征在于，进一步包括一连通管以及一第二开关阀，所述连通管的一端连通所述储料桶，另一端连通所述第二进料管；所述第二开关阀连接所述连通管，用于控制所述连通内部的通道的开启或关闭；所述储料桶具有一抽气口，所述抽气口供抽气使用。8.一种长晶炉，用于熔化一固态的原料，所述长晶炉包括：一炉体；一坩埚，设置于所述炉体内，用于容置所述原料；一加热装置，用于加热所述坩埚，使所述原料熔化而形成一熔融原料；一储料桶，供容置一掺杂物，且所述储料桶具有一出口；一阻料器，设置于所述储料桶且位于所述出口处，所述阻料器受控制而开启或封闭所述出口；一第一进料管，穿设所述炉体且具有一入料口与一出料口，所述入料口连通所述储料2CN106567124A权利要求书2/3页桶的出口；以及一冷却装置，设置于所述第一进料管，用于对所述第一进料管内部进行冷却；所述阻料器受控制而开启所述出口之后，所述掺杂物自所述第一进料管的入料口落入所述第一进料管中，而自所述第一进料管的出料口落出至所述坩埚内而与所述熔融原料混合。9.根据权利要求8所述的长晶炉，其特征在于，所述第一进料管与所述坩埚中的一水平参考面所夹的夹角小于90度。10.根