长晶炉内监测方法及长晶炉.pdf

(19)中华人民共和国国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN110004492A(43)申请公布日2019.07.12(21)申请号201910336795.6(22)申请日2019.04.25(71)申请人苏州新美光纳米科技有限公司地址215000江苏省苏州市工业园区金鸡湖大道99号苏州纳米城NW-20#107、108、109、110(72)发明人夏秋良范雪峰(74)专利代理机构北京超凡宏宇专利代理事务所(特殊普通合伙)11463代理人崔振(51)Int.Cl.C30B29/06(2006.01)C30B15/20(2006.01)G01D21/02(2006.01)权利要求书2页说明书6页附图4页(54)发明名称长晶炉内监测方法及长晶炉(57)摘要本发明提供一种长晶炉内监测方法及长晶炉，该方法包括：接收影像设备在各窗口第一图像数据、第二图像数据和第三图像数据；第一图像数据为单晶硅棒的图像数据；第二图像数据为熔融多晶硅的图像数据；第三图像数据为坩埚的图像数据；接收尺寸测量设备在各窗口采集的尺寸数据；尺寸数据包括：单晶硅棒的直径数据；接收位移采集设备采集的拉晶线的位移数据；接收环境监测设备在各窗口采集的环境信息；根据第一图像数据、单晶硅棒的直径数据和位移数据生成单晶硅棒的三维图像；按照三维图像上的各坐标点与环境信息的映射关系，存放各坐标点对应的环境信息。可通过三维立体可视图像观测长晶炉内各个方位的情况，实现全面监测。CN110004492ACN110004492A权利要求书1/2页1.一种长晶炉内监测方法，单晶硅棒和拉晶线固定设置，熔融多晶硅置于坩埚内，其特征在于，长晶炉包括多个窗口；影像设备、尺寸测量设备、位移采集设备和环境监测设备集成在检测单元内；所述检测单元设置在轨道上；所述轨道固定设置在所述长晶炉的外壁上；所述检测单元通过所述轨道在各窗口之间移动；包括：接收所述影像设备在所述各窗口采集的炉内图像数据；所述炉内图像数据包括：第一图像数据、第二图像数据和第三图像数据；所述第一图像数据为单晶硅棒的图像数据；所述第二图像数据为熔融多晶硅的图像数据；所述第三图像数据为所述坩埚的图像数据；接收所述尺寸测量设备在所述各窗口采集的尺寸数据；所述尺寸数据包括：单晶硅棒的直径数据、长晶炉的直径数据和长晶炉的高度数据；接收所述位移采集设备采集的所述拉晶线的位移数据；接收所述环境监测设备在所述各窗口采集的环境信息；根据所述第一图像数据、所述单晶硅棒的直径数据和所述位移数据生成所述单晶硅棒的三维图像；按照所述三维图像上的各坐标点与所述环境信息的映射关系，存放所述各坐标点对应的所述环境信息。2.如权利要求1所述的长晶炉内监测方法，其特征在于，所述环境监测设备包括：温度传感器；所述环境信息为所述温度传感器在所述各窗口采集的温度数据。3.如权利要求2所述的长晶炉内监测方法，其特征在于，所述按照所述三维图像上的各坐标点与所述环境信息的映射关系，存放所述各坐标点对应的所述环境信息，包括：按照所述三维图像上的所述各坐标点与所述温度数据的映射关系，存放所述各坐标点对应的所述温度数据。4.如权利要求1所述的长晶炉内监测方法，其特征在于，所述环境监测设备包括：激光位移传感器；所述环境信息为所述激光位移传感器在所述各窗口采集的所述单晶硅棒的振动信息。5.如权利要求4所述的长晶炉内监测方法，其特征在于，所述按照所述三维图像上的各坐标点与所述环境信息的映射关系，存放所述各坐标点对应的所述环境信息，包括：按照所述三维图像上的所述各坐标点与所述振动信息的映射关系，存放所述各坐标点对应的所述振动信息。6.如权利要求4所述的长晶炉内监测方法，其特征在于，所述环境信息包括：液位信息；还包括：根据所述激光位移传感器，获取所述各窗口的所述液位信息；所述液位信息为坩埚内熔融多晶硅液位信息。7.一种长晶炉，其特征在于，包括：炉体、轨道、检测单元、驱动装置、多个窗口和控制器；所述轨道设置在所述炉体的外壁上；所述检测单元设置在所述轨道上，控制器控制所述驱动装置驱动所述检测单元在所述轨道上移动；所述检测单元通过所述多个窗口检测炉内的炉内信息，并将所述炉内信息发送至所述控制器；其中，所述炉内信息为所述炉体内的工作状况信息。8.如权利要求7所述的长晶炉，其特征在于，所述炉内信息包含：图像数据、直径数据、2CN110004492A权利要求书2/2页位移数据和环境信息；所述检测单元包括：影像设备、尺寸测量设备、位移采集设备和环境监测设备；所述影像设备，用于在所述多个窗口采集炉内图像数据；所述尺寸测量设备，用于在所述多个窗口采集的尺寸数据；所述尺寸数据包括：单晶硅棒的直径数据、长晶炉的直径数据和长晶炉的高度数据；所述位移采集设备，用于获取拉晶线的所述位移数据；所述环境监测设备，用于获