长晶炉及长晶炉热场的控制方法.pdf
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长晶炉及长晶炉热场的控制方法.pdf
本发明公开了一种长晶炉,包括:炉体;位于所述炉体内的加热器,以及位于所述加热器热场内的坩埚,所述加热器包括上加热器和侧边加热器,所述上加热器位于所述坩埚的顶端,所述侧边加热器形成于所述坩埚的四周,所述上加热器的总功率大于所述侧边加热器的总功率。本发明还公开了一种长晶炉热场的控制方法。本发明通过调整上加热器和/或侧边加热器的电阻,以满足上加热器的总功率大于侧边加热器的总功率,最终达到多晶炉铸碇工艺提升所需的相对温差。因此,在熔化及长晶步骤时,上部相对热,侧边相对冷的情况下来降低坩埚本身杂质进入硅液或硅碇的浓
蓝宝石长晶炉热场及设有该热场的长晶炉及其长晶工艺.pdf
本发明公开了一种蓝宝石长晶炉热场及设有该热场的长晶炉及其长晶工艺,其中蓝宝石长晶炉热场的钨筒的坩埚被坩埚支架支撑设置,因坩埚支架与钨筒之间设有下隔热钼屏,下隔热钼屏上设有氧化锆纤维板,使热场的温度梯度一致。还包括籽晶夹头组件,该籽晶夹头组件的籽晶杆悬挂在加热笼组件内,并伸入坩埚内,使籽晶的提拉时也能够保持热场的密封性,也保证了温度梯度的一致性。温度梯度良好使晶体的质量高,位错密度小,晶体晶界少、气泡少。而蓝宝石长晶炉,因其设有本发明的热场,使其能够生产出优质的晶体,因温度梯度一致,使其生产效率高,能够节省
长晶炉及长晶炉均匀散热的控制方法.pdf
本发明公开了一种长晶炉,包括:炉体;位于所述炉体内的坩埚;形成于所述炉体内壁上的保温板,所述的保温板包括水平设置于所述坩埚顶端的上保温内侧板,以及竖直分布于所述坩埚四周的下保温板,所述下保温板贴近所述坩埚底端边缘处的厚度小于下保温内板其他位置的厚度。本发明还公开了一种长晶炉均匀散热的控制方法。本发明通过长晶炉下保温内侧板几何形状的变更设计,我们就可利用保温板厚度变薄,保温效果变差的原理,将固有硅碇底侧边散热较慢的情形加以改善,而达到整体硅碇底部均匀散热的目的。避免定向垂直长晶时局部区域晶体结构错位(Dis
长晶炉内监测方法及长晶炉.pdf
本发明提供一种长晶炉内监测方法及长晶炉,该方法包括:接收影像设备在各窗口第一图像数据、第二图像数据和第三图像数据;第一图像数据为单晶硅棒的图像数据;第二图像数据为熔融多晶硅的图像数据;第三图像数据为坩埚的图像数据;接收尺寸测量设备在各窗口采集的尺寸数据;尺寸数据包括:单晶硅棒的直径数据;接收位移采集设备采集的拉晶线的位移数据;接收环境监测设备在各窗口采集的环境信息;根据第一图像数据、单晶硅棒的直径数据和位移数据生成单晶硅棒的三维图像;按照三维图像上的各坐标点与环境信息的映射关系,存放各坐标点对应的环境信息
掺杂器、长晶炉以及使用长晶炉的方法.pdf
本发明提供一种掺杂器、长晶炉以及使用长晶炉的方法,用于熔化一固态的原料,所述长晶炉包括:一炉体;一坩埚设置于所述炉体内,用于容置所述原料;一加热装置用于加热所述坩埚,使所述原料熔化而形成一熔融原料;一储料桶用于容置一掺杂物,且所述储料桶具有一出口;一阻料器设置于所述储料桶且位于所述出口处,所述阻料器受控制而开启或封闭所述出口;一第一进料管穿设所述炉体,且具有一入料口与一出料口,所述入料口连通所述储料桶的出口;一冷却装置设置于所述第一进料管,用于对所述第一进料管内部进行冷却。