内容提供者
一种低压扩散炉尾气处理装置.pdf
2023-06-18
10金币
444KB
8页
是你****噩呀
实名认证
内容提供者
1/8
2/8
3/8
4/8
5/8
6/8
7/8
8/8
在线预览结束，喜欢就下载吧，查找使用更方便
相关资料
一种低压扩散炉尾气处理装置.pdf
本发明公开了一种低压扩散炉尾气处理装置，包括冷却腔、吸收过滤腔、除湿腔及尾气导管，所述冷却腔内盛有用于液化或凝固尾气中的偏磷酸和五氧化二磷的冷却液，所述吸收过滤腔内盛有用于吸收尾气中的五氧化二磷、三氯化磷和偏磷酸的吸收液，所述除湿腔内盛有用于吸收尾气中的三氯化磷、偏磷酸和水蒸气的吸收剂，所述尾气导管一端与低压扩散炉的尾气管连接，另一端穿过所述冷却腔并延伸至所述吸收过滤腔内，所述除湿腔的进气管穿过所述冷却腔并延伸至所述吸收过滤腔内。本发明具有结构简单、成本低、可有效净化尾气、提高设备使用寿命等优点。
2023-06-18
10
444KB
一种用于低压扩散炉的炉门装置及低压扩散炉.pdf
本发明公开了一种用于低压扩散炉的炉门装置，包括密封延长管、外密封炉门，以及用于隔绝低压扩散炉的反应管内热量的内密封炉门，所述密封延长管套设于所述反应管外周，密封延长管内端与所述反应管密封连接，外端与所述外密封炉门之间设有密封件，所述外密封炉门配置有开关门驱动机构，所述内密封炉门与所述外密封炉门之间设有弹性连接机构。本发明进一步公开了一种低压扩散炉，包括反应管，还包括上述的用于低压扩散炉的炉门装置。本发明具有结构可靠、密封性能好、使用寿命长等优点。
2023-06-17
10
745KB
一种扩散炉尾气冷却装置.pdf
本发明公开了一种扩散炉尾气冷却装置，包括一级冷凝瓶、二级冷凝瓶及接头组件，所述一级冷凝瓶的进气接头和排气接头分设于一级冷凝瓶两端且轴线相互平行，所述一级冷凝瓶的排气接头通过所述接头组件与所述二级冷凝瓶的进气接头连接。本发明具有结构简单、安装高度可调、可适当提高冷却效果等优点。
2023-06-18
10
400KB
一种扩散尾气处理装置及方法.pdf
本发明涉及一种扩散尾气处理装置及方法，所述扩散尾气处理装置包括瓶体、冷却盘管、出气盘管以及与瓶体顶部连接的波纹管；所述冷却盘管与出气盘管分别独立地盘绕于瓶体的外壁；沿气体流动方向，所述冷却盘管包括依次设置的进气段与填料段，所述填料段的末端与瓶体的内腔连通；所述出气盘管的首端与瓶体的内腔连通，出气盘管的末端与瓶体的颈部连通。本发明提供的扩散尾气处理装置，可以吸附部分磷源反应生成物并留置在扩散尾气处理装置内，有效降低了波纹管结晶堵塞的次数，延长了管路使用寿命，降低了制程异常返工的比例。
2023-11-06
10
522KB
扩散炉尾气收集装置.pdf
本发明提供了一种扩散炉尾气收集装置，该扩散炉尾气收集装置包括：壳体（10），壳体（10）包括内腔及与内腔连通的进气口（11）和排气口（12），扩散炉尾气收集装置还包括：障壁（20），障壁（20）设置在内腔中，相邻障壁（20）之间和/或障壁（20）与壳体（10）的内壁之间形成有连通进气口（11）和排气口（12）的气流通道。本发明的技术方案有效地解决了现有技术中残液罐冷却效果不佳的问题。
2023-06-19
10
562KB