预览加载中,请您耐心等待几秒...
1/8
2/8
3/8
4/8
5/8
6/8
7/8
8/8

在线预览结束,喜欢就下载吧,查找使用更方便

如果您无法下载资料,请参考说明:

1、部分资料下载需要金币,请确保您的账户上有足够的金币

2、已购买过的文档,再次下载不重复扣费

3、资料包下载后请先用软件解压,在使用对应软件打开

(19)中华人民共和国国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN106563338A(43)申请公布日2017.04.19(21)申请号201610993154.4(22)申请日2016.11.11(71)申请人中国电子科技集团公司第四十八研究所地址410111湖南省长沙市天心区新开铺路1025号(72)发明人赵志然张宝锋禹庆荣曹骞黄志海(74)专利代理机构湖南兆弘专利事务所(普通合伙)43008代理人周长清徐好(51)Int.Cl.B01D53/18(2006.01)B01D53/26(2006.01)权利要求书1页说明书3页附图3页(54)发明名称一种低压扩散炉尾气处理装置(57)摘要本发明公开了一种低压扩散炉尾气处理装置,包括冷却腔、吸收过滤腔、除湿腔及尾气导管,所述冷却腔内盛有用于液化或凝固尾气中的偏磷酸和五氧化二磷的冷却液,所述吸收过滤腔内盛有用于吸收尾气中的五氧化二磷、三氯化磷和偏磷酸的吸收液,所述除湿腔内盛有用于吸收尾气中的三氯化磷、偏磷酸和水蒸气的吸收剂,所述尾气导管一端与低压扩散炉的尾气管连接,另一端穿过所述冷却腔并延伸至所述吸收过滤腔内,所述除湿腔的进气管穿过所述冷却腔并延伸至所述吸收过滤腔内。本发明具有结构简单、成本低、可有效净化尾气、提高设备使用寿命等优点。CN106563338ACN106563338A权利要求书1/1页1.一种低压扩散炉尾气处理装置,其特征在于:包括冷却腔(1)、吸收过滤腔(2)、除湿腔(3)及尾气导管(4),所述冷却腔(1)内盛有用于液化或凝固尾气中的偏磷酸和五氧化二磷的冷却液,所述吸收过滤腔(2)内盛有用于吸收尾气中的五氧化二磷、三氯化磷和偏磷酸的吸收液,所述除湿腔(3)内盛有用于吸收尾气中的三氯化磷、偏磷酸和水蒸气的吸收剂,所述尾气导管(4)一端与低压扩散炉的尾气管连接,另一端穿过所述冷却腔(1)并延伸至所述吸收过滤腔(2)内,所述除湿腔(3)的进气管(31)穿过所述冷却腔(1)并延伸至所述吸收过滤腔(2)内。2.根据权利要求1所述的低压扩散炉尾气处理装置,其特征在于:所述冷却液为冷却水,所述吸收液为7≤PH≤9的弱碱性液体,所述吸收剂包括体积分数为70%-80%的活性炭和20%-30%的碳酸钙。3.根据权利要求1或2所述的低压扩散炉尾气处理装置,其特征在于:所述尾气导管(4)与低压扩散炉的尾气管连接的一端设有单向阀(5)。4.根据权利要求3所述的低压扩散炉尾气处理装置,其特征在于:所述尾气导管(4)位于所述冷却腔(1)内的部分为螺旋状。5.根据权利要求4所述的低压扩散炉尾气处理装置,其特征在于:所述尾气导管(4)延伸至所述吸收过滤腔(2)内的一端于管壁上开设有多个出气孔(41)。6.根据权利要求1或2所述的低压扩散炉尾气处理装置,其特征在于:所述冷却腔(1)上设有进液管(11)和排液管(12),冷却尾气时,所述进液管(11)和所述排液管(12)均处于打开状态以对尾气进行循环冷却。7.根据权利要求1或2所述的低压扩散炉尾气处理装置,其特征在于:所述吸收过滤腔(2)底部设有排废管(21),吸收过滤腔(2)顶部连接有加注漏斗(22),所述加注漏斗(22)内壁嵌设有第一密封圈(24),所述加注漏斗(22)与一漏斗盖板(23)通过紧固件连接以将所述第一密封圈(24)压紧。8.根据权利要求1或2所述的低压扩散炉尾气处理装置,其特征在于:所述除湿腔(3)的进气管(31)内设有单向阀(5)。9.根据权利要求8所述的低压扩散炉尾气处理装置,其特征在于:所述除湿腔(3)包括腔体(35)、腔体盖板(32)及嵌设于腔体(35)中的第二密封圈(33),所述腔体盖板(32)通过紧固件与所述腔体(35)连接以将所述第二密封圈(33)压紧。10.根据权利要求9所述的低压扩散炉尾气处理装置,其特征在于:所述腔体(35)相对的两侧壁上分别设有多块隔板(34),两侧壁上的隔板(34)依次交替布置并形成弯折的气流通道。2CN106563338A说明书1/3页一种低压扩散炉尾气处理装置技术领域[0001]本发明涉及晶体硅太阳能电池生产设备,尤其涉及一种低压扩散炉尾气处理装置。背景技术[0002]随着太阳能电池不断向高效方向发展,硅片表面掺杂浓度不断降低,PN结的结深不断减小,方块电阻也不断提升,由于常压扩散对硅片的掺杂均匀性的控制越来越差,难以制备高质量的PN结,而低压扩散能够有效地提升炉管内气流的均匀性,从而有效地提升了扩散的均匀性;并且由于扩散时炉管内处于较低的压力,扩散物质容易在管内流动,从而有效地减少了扩散源的用量,此外低压扩散可以在原有常压扩散设备的基础上改造,可见低压扩散炉具备低成本、高均匀性、高产能和低消耗的优势,是近几年扩散工艺发展的趋势。但是现有的低压扩散炉的尾气管处压力较低,且没有考