扩散炉尾气收集装置.pdf
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扩散炉尾气收集装置.pdf
本发明提供了一种扩散炉尾气收集装置,该扩散炉尾气收集装置包括:壳体(10),壳体(10)包括内腔及与内腔连通的进气口(11)和排气口(12),扩散炉尾气收集装置还包括:障壁(20),障壁(20)设置在内腔中,相邻障壁(20)之间和/或障壁(20)与壳体(10)的内壁之间形成有连通进气口(11)和排气口(12)的气流通道。本发明的技术方案有效地解决了现有技术中残液罐冷却效果不佳的问题。
一种扩散炉尾气冷却装置.pdf
本发明公开了一种扩散炉尾气冷却装置,包括一级冷凝瓶、二级冷凝瓶及接头组件,所述一级冷凝瓶的进气接头和排气接头分设于一级冷凝瓶两端且轴线相互平行,所述一级冷凝瓶的排气接头通过所述接头组件与所述二级冷凝瓶的进气接头连接。本发明具有结构简单、安装高度可调、可适当提高冷却效果等优点。
一种低压扩散炉尾气处理装置.pdf
本发明公开了一种低压扩散炉尾气处理装置,包括冷却腔、吸收过滤腔、除湿腔及尾气导管,所述冷却腔内盛有用于液化或凝固尾气中的偏磷酸和五氧化二磷的冷却液,所述吸收过滤腔内盛有用于吸收尾气中的五氧化二磷、三氯化磷和偏磷酸的吸收液,所述除湿腔内盛有用于吸收尾气中的三氯化磷、偏磷酸和水蒸气的吸收剂,所述尾气导管一端与低压扩散炉的尾气管连接,另一端穿过所述冷却腔并延伸至所述吸收过滤腔内,所述除湿腔的进气管穿过所述冷却腔并延伸至所述吸收过滤腔内。本发明具有结构简单、成本低、可有效净化尾气、提高设备使用寿命等优点。
一种减压扩散炉尾气冷却装置.pdf
本发明公开了一种减压扩散炉尾气冷却装置,包括进气管、石英冷凝瓶、冷凝瓶套组件、进气端盖、抽气端盖、抽气管和冷却系统,石英冷凝瓶位于冷凝瓶套组件内,两端分别通过进气端盖和抽气端盖密封,石英冷凝瓶包括第一腔室、第二腔室和第三腔室,第二腔室套于第一腔室和第三腔室外部,第一腔室与第二腔室连通,第二腔室与第三腔室连通,进气管穿过进气端盖伸入第一腔室内,抽气管穿过抽气端盖伸入第三腔室内,进气管的气流方向与第一腔室内的气流方向相反,抽气管的气流方向与第三腔室内的气流方向相反,冷却系统包括分设于第二腔室和第三腔室内的第一
一种改进型扩散炉尾气排放装置.pdf
本发明公开了一种改进型扩散炉尾气排放装置,包括第一气体缓冲瓶、排风设备以及压力监测设备和氮气补偿设备,压力监测设备与氮气补偿设备之间单向连接,第一气体缓冲瓶的一端经由依次顺序连接的第二气体缓冲瓶,…,第N气体缓冲瓶之后与排风设备相连接;压力监测设备设于氮气补偿设备所在的气体缓冲瓶之后的任一气体缓冲瓶上或气体缓冲瓶之间的连接管上。本发明在原有设备的基础上,增加了气体缓冲瓶的数量,调整了压力监测装置的位置,使得气体补偿不再滞后,可直接降低排风设备的波动对石英管内气流的影响,有利于维持石英管内气流稳定性,达到保