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(19)中华人民共和国国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号(10)申请公布号CNCN103700724103700724A(43)申请公布日2014.04.02(21)申请号201310731036.2(22)申请日2013.12.26(71)申请人英利集团有限公司地址071051河北省保定市朝阳北大街3399号(72)发明人王英超郎芳李高非史金超(74)专利代理机构北京康信知识产权代理有限责任公司11240代理人吴贵明张永明(51)Int.Cl.H01L31/18(2006.01)H01L21/228(2006.01)权权利要求书2页利要求书2页说明书4页说明书4页附图2页附图2页(54)发明名称扩散炉尾气收集装置(57)摘要本发明提供了一种扩散炉尾气收集装置,该扩散炉尾气收集装置包括:壳体(10),壳体(10)包括内腔及与内腔连通的进气口(11)和排气口(12),扩散炉尾气收集装置还包括:障壁(20),障壁(20)设置在内腔中,相邻障壁(20)之间和/或障壁(20)与壳体(10)的内壁之间形成有连通进气口(11)和排气口(12)的气流通道。本发明的技术方案有效地解决了现有技术中残液罐冷却效果不佳的问题。CN103700724ACN103724ACN103700724A权利要求书1/2页1.一种扩散炉尾气收集装置,包括:壳体(10),所述壳体(10)包括内腔及与所述内腔连通的进气口(11)和排气口(12),其特征在于,所述扩散炉尾气收集装置还包括:障壁(20),所述障壁(20)设置在所述内腔中,相邻所述障壁(20)之间和/或所述障壁(20)与所述壳体(10)的内壁之间形成有连通所述进气口(11)和所述排气口(12)的气流通道。2.根据权利要求1所述的扩散炉尾气收集装置,其特征在于,所述障壁(20)包括相对设置的第一障壁(21)和第二障壁(22),所述第一障壁(21)和所述第二障壁(22)之间、所述第一障壁(21)与所述壳体(10)之间以及所述第二障壁(22)与所述壳体(10)之间形成所述气流通道。3.根据权利要求2所述的扩散炉尾气收集装置,其特征在于,所述第一障壁(21)和所述第二障壁(22)的截面呈圆弧状,并且所述第一障壁(21)的半径小于所述第二障壁(22)的半径。4.根据权利要求2或3所述的扩散炉尾气收集装置,其特征在于,所述障壁(20)还包括相对设置的第三障壁(23)和第四障壁(24),所述第三障壁(23)和所述第四障壁(24)设置在所述第一障壁(21)和所述第二障壁(22)的周向外侧,所述第一障壁(21)、所述第二障壁(22)、所述第三障壁(23)和所述第四障壁(24)中的任意两者之间、所述第三障壁(23)与所述壳体(10)之间以及所述第四障壁(24)与所述壳体(10)之间形成所述气流通道。5.根据权利要求4所述的扩散炉尾气收集装置,其特征在于,所述第三障壁(23)和所述第四障壁(24)的截面呈圆弧状,并且所述第三障壁(23)的半径小于所述第四障壁(24)的半径。6.根据权利要求5所述的扩散炉尾气收集装置,其特征在于,所述第一障壁(21)的开口方向与所述第二障壁(22)的开口方向沿第一径向方向彼此相对,所述第一障壁(21)的侧边沿与所述第二障壁(22)的侧边沿之间形成所述气流通道的第一通道间隙,所述第四障壁(24)的开口方向与所述第三障壁(23)的开口方向沿第二径向方向彼此相对,所述第四障壁(24)的侧边沿与所述第三障壁(23)的侧边沿之间形成所述气流通道的第二通道间隙,所述第一径向方向与所述第二径向方向呈角度。7.根据权利要求6所述的扩散炉尾气收集装置,其特征在于,所述第一径向方向与所述第二径向方向垂直。8.根据权利要求4所述的扩散炉尾气收集装置,其特征在于,所述第一障壁(21)、所述第二障壁(22)、所述第三障壁(23)和所述第四障壁(24)的表面均具有凸起。9.根据权利要求6所述的扩散炉尾气收集装置,其特征在于,还包括支撑件(30)和连接件(40),所述支撑件(30)固定设置在所述第一障壁(21)和所述第二障壁(22)之间,所述连接件(40)包括第一连接件(41)、第二连接件(42)、第三连接件(43)和第四连接件(44),所述第一障壁(21)与所述支撑件(30)通过所述第一连接件(41)连接,所述第二障壁(22)与所述支撑件(30)通过所述第二连接件(42)连接,所述第三障壁(23)与所述支撑件(30)通过所述第三连接件(43)连接,所述第四障壁(24)与所述支撑件(30)通过所述第四连接件(44)连接。10.根据权利要求9所述的扩散炉尾气收集装置,其特征在于,所述第一连接件(41)和2CN103700724A权利要求书2/2页所述第二连接件(42)沿所述第一径向方向布置,所述第三连接件(4