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(19)国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN114797370A(43)申请公布日2022.07.29(21)申请号202210519173.9(22)申请日2022.05.12(71)申请人横店集团东磁股份有限公司地址322118浙江省金华市东阳市横店镇工业区(72)发明人胡克喜李增彪何悦任勇周东王在发郭帅孙俊杰(74)专利代理机构北京品源专利代理有限公司11332专利代理师边人洲(51)Int.Cl.B01D53/04(2006.01)B01D53/18(2006.01)权利要求书1页说明书7页附图1页(54)发明名称一种扩散尾气处理装置及方法(57)摘要本发明涉及一种扩散尾气处理装置及方法,所述扩散尾气处理装置包括瓶体、冷却盘管、出气盘管以及与瓶体顶部连接的波纹管;所述冷却盘管与出气盘管分别独立地盘绕于瓶体的外壁;沿气体流动方向,所述冷却盘管包括依次设置的进气段与填料段,所述填料段的末端与瓶体的内腔连通;所述出气盘管的首端与瓶体的内腔连通,出气盘管的末端与瓶体的颈部连通。本发明提供的扩散尾气处理装置,可以吸附部分磷源反应生成物并留置在扩散尾气处理装置内,有效降低了波纹管结晶堵塞的次数,延长了管路使用寿命,降低了制程异常返工的比例。CN114797370ACN114797370A权利要求书1/1页1.一种扩散尾气处理装置,其特征在于,所述扩散尾气处理装置包括瓶体、冷却盘管、出气盘管以及与瓶体顶部连接的波纹管;所述冷却盘管与出气盘管分别独立地盘绕于瓶体的外壁;沿气体流动方向,所述冷却盘管包括依次设置的进气段与填料段,所述填料段的末端与瓶体的内腔连通;所述出气盘管的首端与瓶体的内腔连通,出气盘管的末端与瓶体的颈部连通。2.根据权利要求1所述的扩散尾气处理装置,其特征在于,所述冷却盘管沿所述瓶体的外壁中部向下盘绕;优选地,所述出气盘管沿所述瓶体的外壁中部向上盘绕。3.根据权利要求1或2所述的扩散尾气处理装置,其特征在于,所述进气段与填料段的长度比为(6‑10):1;优选地,所述填料段设置有石英填料;优选地,所述石英填料的数量为20‑30个;优选地,所述石英填料包括圆柱状空心结构。4.根据权利要求3所述的扩散尾气处理装置,其特征在于,所述石英填料的长度为9‑11mm;优选地,所述石英填料的内径为6.9‑7.1mm,外径为7.9‑8.1mm;优选地,所述石英填料的柱管厚度为0.9‑1.1mm。5.根据权利要求1‑4任一项所述的扩散尾气处理装置,其特征在于,所述瓶体的内腔包括吸收段,所述吸收段与瓶体的高度比为1:(14‑15)。6.一种应用权利要求1‑5任一项所述扩散尾气处理装置的方法,其特征在于,所述方法包括如下步骤:扩散尾气由冷却盘管进入扩散尾气处理装置,其中,部分扩散尾气经吸附以及反应留置在扩散尾气处理装置内,其余扩散尾气流经出气盘管与波纹管排出;所述扩散尾气由磷源真空扩散得到。7.根据权利要求6所述的方法,其特征在于,所述真空扩散的泵压为95‑105mbar。8.根据权利要求6或7所述的方法,其特征在于,所述磷源的通源量为950‑1050sccm。9.根据权利要求6‑8任一项所述的方法,其特征在于,所述磷源包括三氯氧磷;优选地,所述扩散尾气包括五氧化二磷气体、偏磷酸气体、五氯化磷气体以及三氯氧磷气体。10.根据权利要求6‑9任一项所述的方法,其特征在于,所述方法包括如下步骤:扩散尾气由冷却盘管进入扩散尾气处理装置,其中,部分扩散尾气经吸附以及反应留置在扩散尾气处理装置内,其余扩散尾气流经出气盘管与波纹管排出;所述扩散尾气由通源量为950‑1050sccm的磷源在泵压95‑105mbar下真空扩散得到。2CN114797370A说明书1/7页一种扩散尾气处理装置及方法技术领域[0001]本发明涉及太阳能电池技术领域,具体涉及一种扩散尾气处理装置及方法。背景技术[0002]扩散制程是晶硅太阳能电池制备过程中形成PN结的核心工艺,扩散炉管内通入大量磷源,通过激光作用瞬时高温,相应的掺杂杂质沉积在硅片表面形成PN结,反应产生的废气通过尾排系统抽走处理。在大磷源前提下,废气抽出后冷却形成液态或固态的偏磷酸,极易导致尾排系统管路堵塞问题,对制程产生不利影响。[0003]CN206247885U公开了一种扩散炉尾气排放管,采用扩散炉尾气排放管尾部设进气口,通过气管连接氮气气源对扩散炉尾气排放管内部吹气,解决了扩散炉尾气排放管经常会被偏磷酸堵塞现象,另一方面延长了石英扩散炉尾气排放管的使用寿命,避免了扩散炉尾气排放管因偏磷酸侵蚀造成的损坏。但仅通过对尾管吹氮气,堵塞现象改善并不显著,且提高了生产成本。[0004]CN208356425U公开了一种扩散尾气冷却装置及扩散尾气冷却系统,扩散尾气由进气口进入第一瓶区,再由连通管进