一种扩散炉尾气冷却装置.pdf

(19)中华人民共和国国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN106766949A(43)申请公布日2017.05.31(21)申请号201610999802.7(22)申请日2016.11.14(71)申请人湖南红太阳光电科技有限公司地址410205湖南省长沙市高新开发区桐梓坡西路586号(72)发明人张弥涛李晔纯张春成李明(74)专利代理机构湖南兆弘专利事务所(普通合伙)43008代理人周长清徐好(51)Int.Cl.F27D17/00(2006.01)权利要求书1页说明书3页附图2页(54)发明名称一种扩散炉尾气冷却装置(57)摘要本发明公开了一种扩散炉尾气冷却装置，包括一级冷凝瓶、二级冷凝瓶及接头组件，所述一级冷凝瓶的进气接头和排气接头分设于一级冷凝瓶两端且轴线相互平行，所述一级冷凝瓶的排气接头通过所述接头组件与所述二级冷凝瓶的进气接头连接。本发明具有结构简单、安装高度可调、可适当提高冷却效果等优点。CN106766949ACN106766949A权利要求书1/1页1.一种扩散炉尾气冷却装置，其特征在于：包括一级冷凝瓶（1）、二级冷凝瓶（2）及接头组件（3），所述一级冷凝瓶（1）的进气接头（7）和排气接头（6）分设于一级冷凝瓶（1）两端且轴线相互平行，所述一级冷凝瓶（1）的排气接头（6）通过所述接头组件（3）与所述二级冷凝瓶（2）的进气接头（7）连接。2.根据权利要求1所述的扩散炉尾气冷却装置，其特征在于：所述接头组件（3）包括内套筒（31）、外套筒（32）及密封圈（33），所述内套筒（31）套设于所述一级冷凝瓶（1）的排气接头（6）上，所述外套筒（32）套设于所述二级冷凝瓶（2）的进气接头（7）上；或所述内套筒（31）套设于所述二级冷凝瓶（2）的进气接头（7）上，所述外套筒（32）套设于所述一级冷凝瓶（1）的排气接头（6）上；所述内套筒（31）和所述外套筒（32）螺纹连接，所述密封圈（33）设于所述内套筒（31）端部与所述述外套筒（32）之间。3.根据权利要求2所述的扩散炉尾气冷却装置，其特征在于：所述一级冷凝瓶（1）的排气接头（6）和所述二级冷凝瓶（2）的进气接头（7）均为双层管，所述内套筒（31）和所述外套筒（32）套设于对应的外管上，所述一级冷凝瓶（1）的排气接头（6）的内管比外管长，所述二级冷凝瓶（2）的进气接头（7）的内管比外管短；或所述一级冷凝瓶（1）的排气接头（6）的内管比外管短，所述二级冷凝瓶（2）的进气接头（7）的内管比外管长。4.根据权利要求3所述的扩散炉尾气冷却装置，其特征在于：所述排气接头（6）和所述进气接头（7）均为石英接头，所述内套筒（31）和所述外套筒（32）均为聚四氟套筒，所述密封圈（33）为聚四氟密封圈。5.根据权利要求2至4中任一项所述的扩散炉尾气冷却装置，其特征在于：所述密封圈（33）与所述外套筒（32）贴合的端面为平面，所述密封圈（33）另一端面为两级阶梯面（331）且两级阶梯面（331）之间以第一斜坡面（332）过渡，所述内套筒（31）靠近所述密封圈（33）的一端内壁设有第二斜坡面（311），所述内套筒（31）靠近所述密封圈（33）的一端端面与其中一级所述阶梯面（331）贴合，所述第二斜坡面（311）与所述第一斜坡面（332）贴合。6.根据权利要求1至4中任一项所述的扩散炉尾气冷却装置，其特征在于：所述二级冷凝瓶（2）内设有匀流隔板（4），所述匀流隔板（4）沿所述二级冷凝瓶（2）的径向布置，所述匀流隔板（4）上均匀开设有多个透气孔（41），二级冷凝瓶（2）的进气接头（7）的轴线与所述二级冷凝瓶（2）的轴线平行。7.根据权利要求6所述的扩散炉尾气冷却装置，其特征在于：所述匀流隔板（4）与所述二级冷凝瓶（2）的排气接头（6）之间的型腔内填充有石英冷凝珠（5）。2CN106766949A说明书1/3页一种扩散炉尾气冷却装置技术领域[0001]本发明涉及扩散炉，尤其涉及一种扩散炉尾气冷却装置。背景技术[0002]为了防止扩散炉正常工作时产生的有毒气体和腐蚀性气体直接排入空气中，需要在扩散炉的石英管排废口处设置冷却装置。在扩散炉炉体柜和源柜层高已经确定的情况下，冷却装置的瓶体高度被限制在一个非常小的范围内（即瓶体的径向尺寸/直径被限制在非常小的范围内），使冷却装置的冷却效果受到限制；同时，在冷却装置的安装调试过程中，由于扩散炉炉体定位高度不一定完全相同，故冷却装置与石英管对接接头安装高度也不尽相同，容易导致石英接头破碎。[0003]此外，现有的冷却装置多为水冷或风冷式冷凝瓶，为了增加尾气与冷凝瓶的接触面积，通常采用增加冷凝管长度的方式，当遇到尾气抽速较快的情况下则必须辅以水冷或风冷才能达到预期的冷却效果，且体积过大的冷凝瓶容易导致安装高度与扩散炉层高干涉，导致安装困难，