一种用于低压扩散炉的炉门装置及低压扩散炉.pdf

(19)中华人民共和国国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN109423697A(43)申请公布日2019.03.05(21)申请号201710740056.4(22)申请日2017.08.25(71)申请人中国电子科技集团公司第四十八研究所地址410111湖南省长沙市天心区新开铺路1025号(72)发明人陈晖舒勇东杨彬黄志海赵志然(74)专利代理机构湖南兆弘专利事务所(普通合伙)43008代理人周长清徐好(51)Int.Cl.C30B31/06(2006.01)F27D1/18(2006.01)H01L31/18(2006.01)权利要求书2页说明书5页附图5页(54)发明名称一种用于低压扩散炉的炉门装置及低压扩散炉(57)摘要本发明公开了一种用于低压扩散炉的炉门装置，包括密封延长管、外密封炉门，以及用于隔绝低压扩散炉的反应管内热量的内密封炉门，所述密封延长管套设于所述反应管外周，密封延长管内端与所述反应管密封连接，外端与所述外密封炉门之间设有密封件，所述外密封炉门配置有开关门驱动机构，所述内密封炉门与所述外密封炉门之间设有弹性连接机构。本发明进一步公开了一种低压扩散炉，包括反应管，还包括上述的用于低压扩散炉的炉门装置。本发明具有结构可靠、密封性能好、使用寿命长等优点。CN109423697ACN109423697A权利要求书1/2页1.一种用于低压扩散炉的炉门装置，其特征在于：包括密封延长管（1）、外密封炉门（2），以及用于隔绝低压扩散炉的反应管（3）内热量的内密封炉门（4），所述密封延长管（1）套设于所述反应管（3）外周，密封延长管（1）内端与所述反应管（3）密封连接，外端与所述外密封炉门（2）之间设有密封件（5），所述外密封炉门（2）配置有开关门驱动机构（6），所述内密封炉门（4）与所述外密封炉门（2）之间设有弹性连接机构（7）。2.根据权利要求1所述的用于低压扩散炉的炉门装置，其特征在于：所述弹性连接机构（7）包括多组沿周向均匀布置的弹性连接组件，各组所述弹性连接组件包括导向柱（71）、滑套（72）、第一弹性件（73）及限位件（74），所述导向柱（71）沿反应管（3）轴向布置，导向柱（71）一端与所述内密封炉门（4）固定连接，另一端与所述限位件（74）固定连接，所述滑套（72）和所述第一弹性件（73）套设于所述导向柱（71）上，所述外密封炉门（2）与所述滑套（72）固定连接。3.根据权利要求2所述的用于低压扩散炉的炉门装置，其特征在于：所述开关门驱动机构（6）包括驱动臂（61）、炉门支座（62）、球面轴承（63）、连接轴（64）、第二弹性件（65）及轴承座（66），所述轴承座（66）设于所述外密封炉门（2）上，所述球面轴承（63）安装于所述轴承座（66）内，所述连接轴（64）一端设于所述球面轴承（63）内，另一端与所述炉门支座（62）相连，所述第二弹性件（65）套设于所述连接轴（64）上，第二弹性件（65）两端分别与所述轴承座（66）和炉门支座（62）相抵，所述驱动臂（61）与所述炉门支座（62）相连。4.根据权利要求1至3中任一项所述的用于低压扩散炉的炉门装置，其特征在于：所述密封延长管（1）、外密封炉门（2）和所述内密封炉门（4）之间形成压力补偿腔（8），所述压力补偿腔（8）配置有补气组件。5.根据权利要求4所述的用于低压扩散炉的炉门装置，其特征在于：所述补气组件包括进气管（81）、排气管（82）、压力控制仪（83）、以及用于检测所述反应管（3）和所述压力补偿腔（8）之间压差的压差传感器（84），所述进气管（81）上设有流量计（85），所述压力控制仪（83）的输入端与所述压差传感器（84）相连，压力控制仪（83）的输出端与所述流量计（85）相连。6.根据权利要求4所述的用于低压扩散炉的炉门装置，其特征在于：所述补气组件包括进气管（81）、排气管（82）、以及用于检测所述反应管（3）和所述压力补偿腔（8）之间压差的压差传感器（84），所述进气管（81）上设有用于调节进气量的手动调节阀（87）。7.根据权利要求1至3中任一项所述的用于低压扩散炉的炉门装置，其特征在于：所述外密封炉门（2）内侧设有密封槽（21），所述密封件（5）设于所述密封槽（21）内，所述外密封炉门（2）配置有主动散热结构，所述主动散热结构包括冷却风机和/或设于外密封炉门（2）外侧并与所述密封槽（21）对应的冷却液槽（22），所述冷却液槽（22）中通冷却液。8.根据权利要求1至3中任一项所述的用于低压扩散炉的炉门装置，其特征在于：所述密封延长管（1）为石英管，所述外密封炉门（2）为金属炉门，所述内密封炉门（4）为石英炉门。9.根据权利要求8所述的用于低压扩散炉的炉门装置，其特征在于：所述内密封炉门（4）包括筒体（41），所述筒体（4