单晶炉用热场及单晶炉.pdf

(19)中华人民共和国国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN107227488A(43)申请公布日2017.10.03(21)申请号201610177122.7(22)申请日2016.03.25(71)申请人隆基绿能科技股份有限公司地址710100陕西省西安市长安区航天中路388号(72)发明人邓浩张龙龙刘培东张骏凯(74)专利代理机构西安弘理专利事务所61214代理人罗笛(51)Int.Cl.C30B15/00(2006.01)权利要求书1页说明书3页附图3页(54)发明名称单晶炉用热场及单晶炉(57)摘要本发明公开的单晶炉用热场，包括坩埚及位于其上方的冷却件，还包括护套，护套设置于冷却件靠近坩埚中心轴线的一侧。本发明公开的单晶炉，包括炉体和如上所述的单晶炉用热场，单晶炉用热场位于炉体内。本发明的单晶炉用热场及单晶炉解决了现有技术拉制单晶时提高拉晶速度与提高单晶质量两者不可兼顾的问题。本发明的单晶炉用热场及单晶炉具有冷却件，可以优化温度梯度、提高拉晶速度并降低拉晶成本；并且由于设置了护套，还能确保生长的晶体不受杂质污染、提供具有良好少子寿命的晶体产品。CN107227488ACN107227488A权利要求书1/1页1.单晶炉用热场，包括坩埚(121)及位于其上方的冷却件(123)，其特征在于，还包括护套(124)，所述护套(124)设置于所述冷却件(123)靠近所述坩埚(121)中心轴线的一侧。2.如权利要求1所述的单晶炉用热场，其特征在于，所述护套(124)为石英材质。3.如权利要求1所述的单晶炉用热场，其特征在于，所述护套(124)具有相对的第一表面(125)和第二表面(126)，所述第一表面(125)靠近所述坩埚(121)中心轴线的一侧，所述第二平面(126)与所述冷却件(123)相对设置。4.如权利要求3所述的单晶炉用热场，其特征在于，所述第二表面(126)与所述冷却件(123)间隔设置或者相贴合接触。5.如权利要求1-4任一项所述的单晶炉用热场，其特征在于，还包括位于所述坩埚(121)上方的热屏(122)，所述冷却件(123)位于所述热屏(122)与所述护套(124)之间。6.单晶炉，其特征在于，包括炉体(110)和如权利要求1-5任一项所述的单晶炉用热场，所述单晶炉用热场位于所述炉体(110)内。7.如权利要求6所述的单晶炉，其特征在于，所述炉体(110)包括相连接的主室(111)和副室，所述主室(111)内具有坩埚(121)、保温盖(127)及冷却件(123)，所述保温盖(127)和所述冷却件(123)依次位于所述坩埚(121)靠近所述副室的一端，所述冷却件(123)靠近所述坩埚(121)中心轴线的一侧还设置有护套(124)。8.如权利要求6所述的单晶炉，其特征在于，所述炉体(110)包括相连接的主室(111)和副室，所述主室(111)内具有坩埚(121)及位于所述坩埚(121)靠近所述副室一端的保温盖(127)，所述主室(111)内还具有第一冷却件(1231)和第二冷却件(1232)，所述第一冷却件(1231)位于所述坩埚(121)与所述保温盖(127)之间，所述第二冷却件(1232)位于所述保温盖(127)靠近所述副室的一端，所述第一冷却件(1231)和第二冷却件(1232)靠近所述坩埚(121)中心轴线的一侧共同设置有护套(124)。9.如权利要求8所述的单晶炉，其特征在于，所述护套(124)上对应于所述第一冷却件(1231)和第二冷却件(1232)的间隙处开设有取光孔(128)。10.如权利要求8所述的单晶炉，其特征在于，所述主室(111)内还设置有位于所述坩埚(121)与所述保温盖(127)之间的热屏(122)，所述第一冷却件(1231)位于所述热屏(122)与所述护套(124)之间。2CN107227488A说明书1/3页单晶炉用热场及单晶炉技术领域[0001]本发明属于单晶制造设备技术领域，具体涉及一种单晶炉用热场，还设计一种具有该单晶炉用热场的单晶炉。背景技术[0002]随着世界经济的不断发展，现代化建设对高效能源需求不断增长。光伏发电作为绿色能源以及人类可持续发展的一种主要能源，日益受到世界各国的重视并得到大力发展。单晶硅片作为光伏发电的一种基础材料，拥有广泛的市场需求。直拉单晶硅生长方法是一种常见的单晶生长方法，其生长过程是在单晶炉中，将籽晶浸入熔体，依次实施引晶、放肩、转肩、等径及收尾过程，最后获得单晶硅棒。为了降低拉晶成本，一种途径是提升拉晶速度，但拉晶速度的提升往往带来晶体品质的下降。发明内容[0003]本发明的目的在于提供一种单晶炉用热场，解决了现有的热场在提高拉晶速度和提高单晶品质方面难以同时兼顾的问题。[0004]本发明的目的还在于提供一种具有该单晶炉用热场的