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一种单晶炉用换热系统及单晶炉.pdf
2023-06-15
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一种单晶炉用换热系统及单晶炉.pdf
本发明提供了一种单晶炉用换热系统及单晶炉，涉及单晶硅制造技术领域。单晶炉用换热系统包括：换热装置、导流筒以及导热件；所述导热件设置在所述换热装置的底部，设置有所述导热件的换热装置套设在所述导流筒内；所述导热件包括相对设置的上表面和下表面，所述导热件的上表面与所述换热装置的底部接触；所述导热件的上表面、以及所述换热装置的底部，位于所述导流筒的底部远离熔硅液面的一侧。导热件靠近熔硅液面，通过导热件可以快速将熔硅液面的热量传导至换热装置，由换热装置的冷却介质带走，增加了纵向温度梯度，提高了拉晶速度，节省拉晶时间
2023-06-15
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2023-06-15
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单晶炉用热场及单晶炉.pdf
本发明公开的单晶炉用热场，包括坩埚及位于其上方的冷却件，还包括护套，护套设置于冷却件靠近坩埚中心轴线的一侧。本发明公开的单晶炉，包括炉体和如上所述的单晶炉用热场，单晶炉用热场位于炉体内。本发明的单晶炉用热场及单晶炉解决了现有技术拉制单晶时提高拉晶速度与提高单晶质量两者不可兼顾的问题。本发明的单晶炉用热场及单晶炉具有冷却件，可以优化温度梯度、提高拉晶速度并降低拉晶成本；并且由于设置了护套，还能确保生长的晶体不受杂质污染、提供具有良好少子寿命的晶体产品。
2023-06-18
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本发明公开了一种单晶炉用的热场及其单晶炉，包括下托盘、上盖盘、坩埚、加热器和导流筒，导流筒的出气端朝向坩埚；热场还包括保温筒，保温筒套设在加热器外，保温筒的下端固定在下托盘，上端固定在上盖盘；保温筒的筒壁内设有多个第一排气管，保温筒内壁开设有进气口，进气口与第一排气管的上端一一对应连通；所述下托盘下方设有支撑环，支撑环下方设有支撑板，支撑板上设有通孔，第一排气管的出气端依次通过通孔、第二排气管连接真空泵进气口；第二排气管上设有电磁阀，热场还包括控制单元，控制单元控制电磁阀打开或关闭，还控制电磁阀的开启大小
2023-06-16
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