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单晶炉用热屏以及具有其的单晶炉.pdf
2023-06-20
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明轩****la
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本发明公开一种用于单晶炉的热屏及使用其的单晶炉，所述热屏包括定位部，所述定位部用于与炉体连接，且所述定位部形成有上部开口端；和锥台部，所述锥台部上端与定位部相连接且下端形成有下部开口端，其中，所述锥台部由基体和位于基体内表面上的内层构成，形成所述内层的内层材料从包括硅、硅化合物、耐1400℃金属、硼化物、碳化物、氮化物、以及上述物质的混合物的组中选择。通过在单晶炉内的石英坩埚上方安装本发明的热屏，从而实现了多装料的同时避免了在装料时混入碳成分，因而能够在提高生产效率、降低生产成本的同时获得高品质的单晶。此
2023-06-20
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用于单晶炉的保温筒以及具有其的单晶炉.pdf
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2023-06-20
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单晶炉的热屏外胆及单晶炉.pdf
本公开涉及一种单晶炉的热屏外胆及单晶炉，本单晶炉的热屏外胆包括筒体、锅底和法兰环；所述锅底位于所述筒体的下方，所述锅底的轴心处具有开口，所述锅底的顶部连接于所述筒体的底部；所述法兰环与所述筒体的顶部拼接并套设于所述筒体的顶部，所述法兰环与所述筒体可拆卸地连接，所述法兰环与所述筒体之间具有第一拼缝，所述第一拼缝的截面构造为折线型。本单晶炉的热屏外胆通过将法兰环与筒体之间的第一拼缝的截面设置为折线型，使得外部的热量和/或硅蒸汽在穿过第一拼缝时受到阻碍，从而可以大大降低外部的热量和/或硅蒸汽完全穿过第一拼缝的概
2023-06-01
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2023-06-17
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单晶炉用热场及单晶炉.pdf
本发明公开的单晶炉用热场，包括坩埚及位于其上方的冷却件，还包括护套，护套设置于冷却件靠近坩埚中心轴线的一侧。本发明公开的单晶炉，包括炉体和如上所述的单晶炉用热场，单晶炉用热场位于炉体内。本发明的单晶炉用热场及单晶炉解决了现有技术拉制单晶时提高拉晶速度与提高单晶质量两者不可兼顾的问题。本发明的单晶炉用热场及单晶炉具有冷却件，可以优化温度梯度、提高拉晶速度并降低拉晶成本；并且由于设置了护套，还能确保生长的晶体不受杂质污染、提供具有良好少子寿命的晶体产品。
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