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一种还原炉内壁复合涂层制备方法.pdf
2023-06-17
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论文****轩吖
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本发明公开了一种还原炉内壁复合涂层制备方法，往内壁具有银涂层的还原炉内通入含有含碳气体的热氢气，热氢气中的含碳气体首先吸附在银涂层的表面，进而含碳气体在银涂层表面的气固相界面发生分解反应并生成单质碳，单质碳进一步与银膜层中的银发生反应生成碳化银，进而在银层表面形成致密的碳化银层。本发明通过采用上述工艺方法，使还原炉内壁银/碳化银复合涂层具有高热反射率、高热稳定性、高耐腐蚀性能、高耐冲刷性能等优点，解决了传统还原炉内壁涂层存在的缺陷，可以实现还原炉连续稳定节能和保障高纯多晶硅的稳定生产。且该制备方法具有容易
2023-06-17
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2023-06-16
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