内容提供者
一种还原炉底盘表面复合涂层的制备方法.pdf
2023-06-16
10金币
1.7MB
14页
山柳****魔王
实名认证
内容提供者
1/10
2/10
3/10
4/10
5/10
6/10
7/10
8/10
9/10
10/10
亲，该文档总共14页，到这已经超出免费预览范围，如果喜欢就直接下载吧～
相关资料
一种还原炉底盘表面复合涂层的制备方法.pdf
本发明公开了一种还原炉底盘表面复合涂层的制备方法，包括以下步骤：制备粘结层：采用热喷涂在不锈钢钟罩内表面制备一层粘结层；粘结层的原材料为Ni、Ti、Cu、Fe、Zn、C‑Co、WC‑10Co4Cr、MCrAIY、高熵合金、NiTi、NiCr、不锈钢中的一种；制备防污涂层：利用气体动力喷涂在粘结层表面制备具有高致密度、高结合强度、高热稳定性的防污涂层；防污涂层的原材料为银粉。该制备方法一方面能简化工艺步骤、降低生产成本，另一方面能提高涂层的结构稳定性、延长涂层的使用寿命。
2023-06-16
10
1.7MB
还原炉底盘表面银层的制备方法、还原炉底盘及还原炉.pdf
本发明公开了还原炉底盘表面银层的制备方法、还原炉底盘及还原炉，涉及多晶硅装备制造技术领域。本发明所提供的制备方法先利用激光加热系统对底盘表面进行加热，然后利用拉法尔喷嘴对加热后的底盘表面喷射超音速的银颗粒，以使加热软化后的底盘表面和银粉颗粒同时经历强塑性变形，接触银/钢结合面积增大，同时伴随大量元素扩散进而形成强力结合；利用激光清洗的方法对涂层表面的氧化银进行去除，以避免对银层服役性能的负面影响。采用上述制备方法对底盘表面进行银涂层的制备，能够制造一层具有高界面结合强度的致密银涂层，可在350℃以上长期服
2023-06-15
10
580KB
一种还原炉底盘及其涂层制备方法.pdf
本发明公开了一种还原炉底盘及其涂层制备方法，还原炉底盘采用不锈钢制成，底盘表面具有银涂层，可以使底盘表面保持较低的温度，进而杜绝无定型硅在底盘表面形成黑色膜层，使无定型硅以颗粒形式富集在底盘表面；底盘电极卡槽以及底盘表面绝缘面喷涂有银/氧化铝复合膜层，复合膜层使得氧化铝与基体结合强度更强，不易造成应变破裂；将外置绝缘保护变为内置绝缘保护，大幅提高了底盘与电极之间的绝缘性能；筛网表面设置有银/氧化铝复合涂层，复合涂层具有耐腐蚀、热稳定性高、耐冲刷等优点；该底盘涂层喷涂方法的优点是，涂层粒子沉积效率高，原材料
2023-06-17
10
260KB
一种还原炉内壁复合涂层制备方法.pdf
本发明公开了一种还原炉内壁复合涂层制备方法，往内壁具有银涂层的还原炉内通入含有含碳气体的热氢气，热氢气中的含碳气体首先吸附在银涂层的表面，进而含碳气体在银涂层表面的气固相界面发生分解反应并生成单质碳，单质碳进一步与银膜层中的银发生反应生成碳化银，进而在银层表面形成致密的碳化银层。本发明通过采用上述工艺方法，使还原炉内壁银/碳化银复合涂层具有高热反射率、高热稳定性、高耐腐蚀性能、高耐冲刷性能等优点，解决了传统还原炉内壁涂层存在的缺陷，可以实现还原炉连续稳定节能和保障高纯多晶硅的稳定生产。且该制备方法具有容易
2023-06-17
10
246KB
一种还原炉钟罩内壁复合涂层的制备方法.pdf
本发明公开了一种还原炉钟罩内壁复合涂层的制备方法，包括以下步骤：制备过渡层：采用热喷涂在不锈钢钟罩内壁制备一层过渡层；过渡层的原材料为铝、铁、铜、镍、铬、锌、钒、锰、硅、钴、银、镉、锆、钨中一种或几种元素组成的合金；制备防污涂层：利用气体动力喷涂在过渡层表面制备具有高致密度、高结合强度、高热稳定性、低缺陷率的防污涂层；防污涂层的原材料为银、金、铂中的一种或几种元素组成的合金。该制备方法一方面能简化工艺步骤、降低生产成本、解决拼接板件焊缝缺陷的问题，另一方面能提高涂层的结构稳定性、延长涂层的使用寿命。
2023-06-16
10
757KB