一种冷喷涂制备还原炉内壁涂层的方法.pdf
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一种冷喷涂制备还原炉内壁涂层的方法.pdf
本发明公开了一种冷喷涂制备还原炉内壁涂层的方法,以拉法尔喷嘴加速经加热的压缩气体作为工作载气,高速的载气加速原材料粉末从喷枪喷出,以低温、高速和完全固态下碰撞还原炉内壁,原材料颗粒与还原炉内壁同时发生剧烈的塑性变形后沉积在内壁表面,进而通过颗粒的堆积效应形成涂层。该方法的优点是,涂层粒子沉积效率高,原材料的利用率可超过98%;涂层制备生产效率高,每小时能制备20kg以上的涂层材料,一次喷涂厚度可超500μm;涂层粒子与周围气氛不发生反应,几乎完全保留了原材料相同的特性;允许粒径分布较广的材料作为涂层原料,
一种还原炉内壁复合涂层制备方法.pdf
本发明公开了一种还原炉内壁复合涂层制备方法,往内壁具有银涂层的还原炉内通入含有含碳气体的热氢气,热氢气中的含碳气体首先吸附在银涂层的表面,进而含碳气体在银涂层表面的气固相界面发生分解反应并生成单质碳,单质碳进一步与银膜层中的银发生反应生成碳化银,进而在银层表面形成致密的碳化银层。本发明通过采用上述工艺方法,使还原炉内壁银/碳化银复合涂层具有高热反射率、高热稳定性、高耐腐蚀性能、高耐冲刷性能等优点,解决了传统还原炉内壁涂层存在的缺陷,可以实现还原炉连续稳定节能和保障高纯多晶硅的稳定生产。且该制备方法具有容易
多晶硅还原炉钟罩内壁涂层及其制备方法、多晶硅还原炉钟罩内壁涂层的喷涂装置和应用.pdf
本发明公开了一种多晶硅还原炉钟罩内壁涂层及其制备方法、多晶硅还原炉钟罩内壁涂层的喷涂装置和应用,该多晶硅还原炉钟罩内壁涂层包括相互连接的银基底层和表面层,表面层为热力学稳定的薄膜,薄膜主要成分为银,且在银中掺杂有碳、氧、铁和硅。该内壁涂层的制备方法为在多晶硅还原炉钟罩的内壁上的银涂层的表面掺杂渗透入碳、氧、铁和硅,以使得银涂层变为银复合涂层。通过银基底层和薄膜构成的表面层共同构成的复合结构的涂层,由于该表面层具有稳定的热力学性质,能够在空气环境或还原炉运行条件下稳定存在,因此,使得该内壁涂层既具有银涂层优
一种还原炉钟罩内壁复合涂层的制备方法.pdf
本发明公开了一种还原炉钟罩内壁复合涂层的制备方法,包括以下步骤:制备过渡层:采用热喷涂在不锈钢钟罩内壁制备一层过渡层;过渡层的原材料为铝、铁、铜、镍、铬、锌、钒、锰、硅、钴、银、镉、锆、钨中一种或几种元素组成的合金;制备防污涂层:利用气体动力喷涂在过渡层表面制备具有高致密度、高结合强度、高热稳定性、低缺陷率的防污涂层;防污涂层的原材料为银、金、铂中的一种或几种元素组成的合金。该制备方法一方面能简化工艺步骤、降低生产成本、解决拼接板件焊缝缺陷的问题,另一方面能提高涂层的结构稳定性、延长涂层的使用寿命。
还原炉钟罩内壁喷涂装置、喷涂方法和还原炉.pdf
本发明提供了一种还原炉钟罩内壁喷涂装置、喷涂方法和还原炉,涉及多晶硅装备技术领域。该喷涂装置包括钟罩、旋转部件、密封部件、抽真空部件、排气部件和冷气体动力喷涂部件,利用密封部件使得钟罩内部形成密闭空间后,通过抽真空部件、冷气体动力喷涂部件和排气部件使钟罩内部处于高温保护性气体氛围下,再采用冷气体动力喷涂部件向钟罩内壁喷涂粉末使其在钟罩内壁形成涂层,其中,在喷涂前使钟罩内部处于高温保护性气体氛围下可避免喷涂过程中涂层发生氧化,能够最大限度保留涂层材料的本征性能,同时,利用高温保护性气体将钟罩内壁预热,使得在