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(19)中华人民共和国国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN110424015A(43)申请公布日2019.11.08(21)申请号201910734543.9C23C4/129(2016.01)(22)申请日2019.08.09C23C4/131(2016.01)C23C4/134(2016.01)(71)申请人江苏广研新材料技术有限公司地址221000江苏省徐州市铜山区大学路99号高新区大学创业园B区806房间(72)发明人张科杰谢迎春黄健黄仁忠王帅王高民曾良吴晓涛(74)专利代理机构北京淮海知识产权代理事务所(普通合伙)32205代理人李妮(51)Int.Cl.C23C28/02(2006.01)C23C24/04(2006.01)C23C4/06(2016.01)C23C4/08(2016.01)权利要求书1页说明书5页附图2页(54)发明名称一种还原炉钟罩内壁复合涂层的制备方法(57)摘要本发明公开了一种还原炉钟罩内壁复合涂层的制备方法,包括以下步骤:制备过渡层:采用热喷涂在不锈钢钟罩内壁制备一层过渡层;过渡层的原材料为铝、铁、铜、镍、铬、锌、钒、锰、硅、钴、银、镉、锆、钨中一种或几种元素组成的合金;制备防污涂层:利用气体动力喷涂在过渡层表面制备具有高致密度、高结合强度、高热稳定性、低缺陷率的防污涂层;防污涂层的原材料为银、金、铂中的一种或几种元素组成的合金。该制备方法一方面能简化工艺步骤、降低生产成本、解决拼接板件焊缝缺陷的问题,另一方面能提高涂层的结构稳定性、延长涂层的使用寿命。CN110424015ACN110424015A权利要求书1/1页1.一种还原炉钟罩内壁复合涂层的制备方法,其特征在于,包括以下步骤:(1)制备过渡层:采用热喷涂在不锈钢钟罩内壁制备一层过渡层;过渡层的原材料为铝、铁、铜、镍、铬、锌、钒、锰、硅、钴、银、镉、锆、钨中一种或几种元素组成的合金;(2)制备防污涂层:利用气体动力喷涂在过渡层表面制备防污涂层;喷涂过程为:气源压缩气体分两路,一路作为送粉气体进入送粉器,作为载体将防污粉末引入超音速喷嘴;另一路作为工作气体进入加热器,气体经过预热后进入超音速喷嘴;两路气体在超音速喷嘴的进气口混合形成气-固双相流,双相流在超音速喷嘴的收缩部分加速至音速,气-固双相流从喷枪喷出,在低温、高速和完全固态下碰撞过渡层表面,防污粉末与过渡层表面发生强烈的塑形变形后粘结到过渡层表面,经过堆积累加形成具有高致密度、高结合强度、高热稳定性的防污涂层;所述防污粉末的原材料为银、金、铂中的一种或几种元素组成的合金。2.根据权利要求1所述的一种还原炉钟罩内壁复合涂层的制备方法,其特征在于,在制备过渡层之前对还原炉钟罩内壁进行喷砂粗化处理或砂纸打磨处理,接着依次丙酮清洗、压缩空气吹干还原炉钟罩内壁。3.根据权利要求1或2所述的一种还原炉钟罩内壁复合涂层的制备方法,其特征在于,在制备过渡层之前,针对不同结构和不同尺寸的还原炉钟罩内壁,安装配套的保护夹具及喷涂辅助设备。4.根据权利要求1或2所述的一种还原炉钟罩内壁复合涂层的制备方法,其特征在于,步骤(1)中热喷涂为火焰喷涂、超音速火焰喷涂、电弧喷涂、等离子喷涂中的一种。5.根据权利要求1或2所述的一种还原炉钟罩内壁复合涂层的制备方法,其特征在于,步骤(1)中原材料的平均粒度为20~30μm,制备的过渡层厚度为50~100μm。6.根据权利要求1或2所述的一种还原炉钟罩内壁复合涂层的制备方法,其特征在于,步骤(2)中气源压缩气体为氮气或空气。7.根据权利要求1或2所述的一种还原炉钟罩内壁复合涂层的制备方法,其特征在于,步骤(2)中气体动力喷涂条件为:工作气体和送粉气体均为氮气,工作气体压强为3~6MPa,进入加热器加热后的工作气体温度为500~800℃,气-固双相流从喷枪喷出的喷射速度为300~1500m/s,喷枪枪口与还原炉钟罩内壁的距离为20~50mm,喷枪行走速度为200~500mm/s。8.根据权利要求1或2所述的一种还原炉钟罩内壁复合涂层的制备方法,其特征在于,步骤(2)中防污粉末的平均粒度为5~30μm,制备的防污涂层厚度为500μm。9.根据权利要求1或2所述的一种还原炉钟罩内壁复合涂层的制备方法,其特征在于,防污涂层制备完成后,利用砂纸和抛光布对防污涂层进行打磨抛光至防污涂层表面粗糙度Ra小于等于10μm,抛光后用丙酮进行清洗。2CN110424015A说明书1/5页一种还原炉钟罩内壁复合涂层的制备方法技术领域[0001]本发明属于多晶硅生产设备技术领域,具体涉及一种还原炉钟罩内壁复合涂层的制备方法。背景技术[0002]多晶硅是以工业硅为原料经一系列的物理化学反应提纯后达到一定纯度的电子材料,是制造硅抛光片、太阳能电池及高纯硅制品的主要原料,也