铝锰合金靶材组件的制造方法.pdf

(19)中华人民共和国国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN107904562A(43)申请公布日2018.04.13(21)申请号201711027521.6B22F3/14(2006.01)(22)申请日2017.10.27B22F7/02(2006.01)(71)申请人包头稀土研究院地址014030内蒙古自治区包头市稀土高新区黄河大街36号申请人瑞科稀土冶金及功能材料国家工程研究中心有限公司(72)发明人鲁飞刘树峰刘小鱼李静雅李慧娄树普孙良成辛博王峰李德辉(74)专利代理机构北京康盛知识产权代理有限公司11331代理人张良(51)Int.Cl.C23C14/34(2006.01)权利要求书1页说明书5页附图1页(54)发明名称铝锰合金靶材组件的制造方法(57)摘要本发明公开了一种铝锰合金靶材组件的制造方法，包括：准备铝锰成型粉料，化学组分为铝、锰，铝的重量百分比为50～99％，锰的重量百分比为1～50％；准备背板粉末原料，背板粉末原料为Al粉或Cu粉；将铝锰成型粉料和背板粉末原料依次装入模具中，放入真空热压烧结炉，使二者以粉末形式相接触，经热压烧结一次性得到铝锰靶材坯体和背板复合而成的铝锰靶材组件坯体；随炉冷却得到铝锰靶材组件坯体，对所得的铝锰靶材组件坯体进行外形机加工处理得到铝锰靶材靶材组件。本发明制作效率高，制取的铝锰靶材组件表面平整度高，弯曲变形小，焊接成品率高。CN107904562ACN107904562A权利要求书1/1页1.一种铝锰合金靶材组件的制造方法，包括：准备铝锰成型粉料，化学组分为铝、锰，铝的重量百分比为50～99％，锰的重量百分比为1～50％；准备背板粉末原料，背板粉末原料为Al粉或Cu粉；将铝锰成型粉料和背板粉末原料依次装入模具中，放入真空热压烧结炉，使二者以粉末形式相接触，经热压烧结一次性得到铝锰靶材坯体和背板复合而成的铝锰靶材组件坯体；随炉冷却得到铝锰靶材组件坯体，对所得的铝锰靶材组件坯体进行外形机加工处理得到铝锰靶材靶材组件。2.如权利要求1所述铝锰合金靶材组件的制造方法，其特征在于：铝锰成型粉料为铝锰合金粉料，或者是金属铝粉和锰粉的机械混合物。3.如权利要求1或者2所述铝锰合金靶材组件的制造方法，其特征在于：铝锰成型粉料的粒度小于80μm。4.如权利要求1或者2所述铝锰合金靶材组件的制造方法，其特征在于：背板粉末原料的粒度小于100μm。5.如权利要求1所述铝锰合金靶材组件的制造方法，其特征在于：热压烧结过程中，铝锰成型粉料的热压烧结成型，形成铝锰靶材坯体；背板粉末原料的热压烧结成型，形成背板坯料；铝锰靶材坯体与背板坯料热扩散焊接，形成铝锰靶材组件坯体；热压烧结成型和热压焊接同步进行。6.如权利要求1或者5所述铝锰合金靶材组件的制造方法，其特征在于：热压烧结过程中，当热压烧结炉内真空度高于1×10-2Pa时开始升温，温度升到350～400℃时保温0.5～1h；继续升温至500～900℃，压力20～30MPa，保温保压2～3h。7.如权利要求1所述铝锰合金靶材组件的制造方法，其特征在于：模具放入真空热压烧结炉后，先进行预压紧，压紧压力0.1～5MPa。2CN107904562A说明书1/5页铝锰合金靶材组件的制造方法技术领域[0001]本发明涉及一种材料加工技术，具体说，涉及一种铝锰合金靶材组件的制造方法。背景技术[0002]磁控溅射工艺中，靶结构包括单一靶材结构，或靶材板坯与具有一定强度的背板组成的复合靶材组件。目前靶材组件的焊接方法为：预先准备背板型材和待焊接靶材坯体，通过钎焊或扩散焊将靶材坯体焊接于背板上，后经机加工获得靶材组件。[0003]作为真空镀膜沉积耐蚀涂层的溅射源，铝锰合金靶材脆性大、硬度高。采用常规焊接方式，在加热和冷却过程中靶材溅射面易出现裂纹，甚至开裂，靶材组件制作困难，成品率低。发明内容[0004]本发明所解决的技术问题是提供一种铝锰合金靶材组件的制造方法，制作效率高，制取的铝锰靶材组件表面平整度高，弯曲变形小，焊接成品率高。[0005]技术方案如下：[0006]一种铝锰合金靶材组件的制造方法，包括：[0007]准备铝锰成型粉料，化学组分为铝、锰，铝的重量百分比为50～99％，锰的重量百分比为1～50％；[0008]准备背板粉末原料，背板粉末原料为Al粉或Cu粉；[0009]将铝锰成型粉料和背板粉末原料依次装入模具中，放入真空热压烧结炉，使二者以粉末形式相接触，经热压烧结一次性得到铝锰靶材坯体和背板复合而成的铝锰靶材组件坯体；[0010]随炉冷却得到铝锰靶材组件坯体，对所得的铝锰靶材组件坯体进行外形机加工处理得到铝锰靶材靶材组件。[0011]进一步：铝锰成型粉料为铝锰合金粉料，或者是金属铝粉和锰粉的机械混合物。[0012]进一步：铝锰成型粉料的粒度