高锰含量铝锰合金靶材的制造方法.pdf

(19)中华人民共和国国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN106835033A(43)申请公布日2017.06.13(21)申请号201611192261.3C22C21/00(2006.01)(22)申请日2016.12.21(71)申请人包头稀土研究院地址014030内蒙古自治区包头市稀土高新区黄河大街36号申请人瑞科稀土冶金及功能材料国家工程研究中心有限公司(72)发明人刘树峰郑天仓孙良成刘小鱼鲁飞李静雅张志宏白洋邢正茂李慧(74)专利代理机构北京康盛知识产权代理有限公司11331代理人张良(51)Int.Cl.C23C14/34(2006.01)权利要求书1页说明书4页附图1页(54)发明名称高锰含量铝锰合金靶材的制造方法(57)摘要本发明公开了一种高锰含量铝锰合金靶材的制造方法，包括：制取粉料，粉料化学组分的质量百分比为：铝50～75％，锰25～50％；称取成型粉料装入模具中，放入热压烧结炉经热压烧结得到铝锰合金靶材坯料；机加工获得靶材产品。本发明制取的靶材外观平整，表面光滑无麻点，无裂纹和隐裂等宏观缺陷；相对密度高，组织内部无孔隙，成分分布均匀。CN106835033ACN106835033A权利要求书1/1页1.一种高锰含量铝锰合金靶材的制造方法，包括：制取粉料，粉料化学组分的质量百分比为：铝50～75％，锰25～50％；称取成型粉料装入模具中，放入热压烧结炉经热压烧结得到铝锰合金靶材坯料；机加工获得靶材产品。2.如权利要求1所述高锰含量铝锰合金靶材的制造方法，其特征在于：粉料采用铝锰合金粉料或者金属铝粉与锰粉的混合物。3.如权利要求1或者2所述高锰含量铝锰合金靶材的制造方法，其特征在于：粉料粒度小于50μm。4.如权利要求1所述高锰含量铝锰合金靶材的制造方法，其特征在于：将粉料装入模具中，热压烧结前进行预压紧，压紧压力0.1～5MPa。5.如权利要求1所述高锰含量铝锰合金靶材的制造方法，其特征在于：热压烧结过程中，当热压炉内真空度高于1×10-2Pa时开始升温，温度升到350～400℃时保温0.5～1h；继续升温至600～900℃，增加压力至15～30MPa，保温保压1～4小时。6.如权利要求1所述高锰含量铝锰合金靶材的制造方法，其特征在于：对铝锰合金靶材坯料进行表面磨抛及外形加工处理获得靶材产品。2CN106835033A说明书1/4页高锰含量铝锰合金靶材的制造方法技术领域[0001]本发明涉及一种粉末冶金材料加工技术，具体说，涉及一种高锰含量铝锰合金靶材的制造方法。背景技术[0002]烧结钕铁硼(NdFeB)永磁材料的表面防护是磁体生产的重要技术环节。目前国内常见的工业规模的表面防护处理方法采用电镀和化学镀，该方法存在膜层附着力低、污染环境等诸多问题。[0003]真空镀膜技术作为一种环境友好表面处理工艺，镀膜过程无原料外溢，无污染物排放，生产现场清洁，防护膜层附着力比电镀膜大5-10倍，在NdFeB永磁材料的表面防护领域显示出极大的发展潜力，产业应用前景好。[0004]从成本及耐蚀性能考虑，目前市场上比较认可铝锰合金耐蚀镀层。铝锰合金靶材作为真空镀膜沉积NdFeB磁体表面防护涂层的镀膜源，其纯度、相对密度、晶粒尺寸大小及分布均匀性影响着溅射环境、膜层沉积速率、膜层厚度及均匀性，进而影响着NdFeB磁体的性能。高纯度、高密度、高均匀性(组织及组分)铝锰合金靶材的制备是NdFeB磁体呈现优质耐蚀性能的重要保证。[0005]对于高锰含量铝锰合金而言，随着Mn含量的增加，Al-Mn金属间化合物相逐渐增多，导致合金脆性较高，内应力大，常规熔铸工艺合金铸锭冷却过程中易出现裂纹，甚至开裂，靶材制作困难，成品率低。发明内容[0006]本发明所解决的技术问题是提供一种高锰含量铝锰合金靶材的制造方法，制取的靶材外观平整，表面光滑无麻点，无裂纹和隐裂等宏观缺陷；相对密度高，组织内部无孔隙，成分分布均匀。[0007]技术方案如下：[0008]一种高锰含量铝锰合金靶材的制造方法，包括：[0009]制取粉料，粉料化学组分的质量百分比为：铝50～75％，锰25～50％；[0010]称取成型粉料装入模具中，放入热压烧结炉经热压烧结得到铝锰合金靶材坯料；[0011]机加工获得靶材产品。[0012]进一步：粉料采用铝锰合金粉料或者金属铝粉与锰粉的混合物。[0013]进一步：粉料粒度小于50μm。[0014]进一步：将粉料装入模具中，热压烧结前进行预压紧，压紧压力0.1～5MPa。[0015]进一步：热压烧结过程中，当热压炉内真空度高于1×10-2Pa时开始升温，温度升到350～400℃时保温0.5～1h；继续升温至600～900℃，增加压力至15～30MPa，保温保压1～4小时。[0016]进一步：对铝锰合金靶材坯料进行表