铝锰合金靶材的制造方法.pdf

(19)中华人民共和国国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN106756830A(43)申请公布日2017.05.31(21)申请号201611192961.2C22C21/00(2006.01)(22)申请日2016.12.21C22C1/04(2006.01)(71)申请人包头稀土研究院地址014030内蒙古自治区包头市稀土高新区黄河大街36号申请人瑞科稀土冶金及功能材料国家工程研究中心有限公司(72)发明人鲁飞刘树峰张志宏孙良成刘小鱼李慧郑天仓王峰李静雅邢正茂(74)专利代理机构北京康盛知识产权代理有限公司11331代理人张良(51)Int.Cl.C23C14/34(2006.01)权利要求书1页说明书3页(54)发明名称铝锰合金靶材的制造方法(57)摘要本发明公开了一种铝锰合金靶材的制造方法，包括：制取板坯，板坯化学组分的质量比为，铝：75～95％，锰：5～25％；将成型板坯装入模具中，放入热压烧结炉经热压烧结得到铝锰合金靶材制品；铝锰合金靶材制品经机加工后得到靶材产品。本发明获得的铝锰合金靶材相对密度在99％以上，内部无孔隙，外部无裂纹，晶粒尺寸细小均一，成分分布均匀。CN106756830ACN106756830A权利要求书1/1页1.一种铝锰合金靶材的制造方法，包括：制取板坯，板坯化学组分的质量比为，铝：75～95％，锰：5～25％；将成型板坯装入模具中，放入热压烧结炉经热压烧结得到铝锰合金靶材制品；铝锰合金靶材制品经机加工后得到靶材产品。2.如权利要求1所述铝锰合金靶材的制造方法，其特征在于：成型板坯为铝锰合金铸锭，表面粗糙度为1.0～3.0m。3.如权利要求1所述铝锰合金靶材的制造方法，其特征在于：热压烧结时，热压炉内真空度高于1×10-2Pa，烧结温度为600～800℃，成型压力为5～20MPa，保温保压1～2小时。4.如权利要求1所述铝锰合金靶材的制造方法，其特征在于：对铝锰合金靶材制品进行表面磨抛及外形加工处理获得靶材产品。2CN106756830A说明书1/3页铝锰合金靶材的制造方法技术领域[0001]本发明涉及一种材料加工技术，具体说，涉及一种铝锰合金靶材的制造方法。背景技术[0002]烧结钕铁硼(NdFeB)永磁材料的表面防护是磁体生产的重要技术环节。目前国内常见的工业规模的表面防护处理方法电镀和化学镀存在膜层附着力低，污染环境等诸多问题。真空镀膜技术作为一种环境友好表面处理工艺，镀膜过程无原料外溢，无污染物排放，生产现场清洁，防护膜层附着力比电镀膜大5-10倍，在NdFeB永磁材料的表面防护领域显示出极大的发展潜力，产业应用前景好。[0003]从成本及耐蚀性能考虑，目前市场上比较认可铝锰合金耐蚀镀层。作为镀膜源，铝锰合金靶材的质量影响着镀膜环境及镀层质量，进而影响着NdFeB磁体的耐蚀性能。制作高质量靶材关键在于提高靶材相对密度。靶材相对密度的提高可以极大地减少靶材组织内部的残留气孔，气孔率的减少甚至消除能够极大地提高成膜速率，降低工业化生产成本。采用常规熔铸工艺制作的铝锰合金靶材相对密度约为94％左右，组织内部存在残留孔洞，无法满足真空镀膜对高质量铝锰靶材的需求。发明内容[0004]本发明所解决的技术问题是提供一种铝锰合金靶材的制造方法，获得的铝锰合金靶材相对密度在99％以上，内部无孔隙，外部无裂纹，晶粒尺寸细小均一，成分分布均匀。[0005]技术方案如下：[0006]一种铝锰合金靶材的制造方法，包括：[0007]制取板坯，板坯化学组分的质量比为，铝：75～95％，锰：5～25％；[0008]将成型板坯装入模具中，放入热压烧结炉经热压烧结得到铝锰合金靶材制品；[0009]铝锰合金靶材制品经机加工后得到靶材产品。[0010]进一步：成型板坯为铝锰合金铸锭，表面粗糙度为1.0～3.0m。[0011]进一步：热压烧结时，热压炉内真空度高于1×10-2Pa，烧结温度为600～800℃，成型压力为5～20MPa，保温保压1～2小时。[0012]进一步：对铝锰合金靶材制品进行表面磨抛及外形加工处理获得靶材产品。[0013]与现有技术相比，本发明技术效果包括：[0014]1、获得的铝锰合金靶材相对密度在99％以上，内部无孔隙，外部无裂纹；晶粒尺寸细小均一；采用本发明方法制造靶材成品率高，易于规模化生产。[0015]2、成分分布均匀，可以满足真空镀膜对高质量铝锰靶材的需求。本发明方法可以有效避免采用传统粉末装填模具后热压工艺存在的由于粉料装填不均匀造成的烧结制品在径向(或轴向)密度不一致的弊端。所制造的铝锰靶材成分分布均匀，无偏析，批次一致性好，适合规模化生产。[0016]3、经济效益显著。3CN106756830A说明书2/3页[0017]我国NdFeB磁体每年的产量超过10万吨。北方稀土