一种用于半导体硅单晶炉的翻板阀及单晶炉.pdf

(19)中华人民共和国国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN108456918A(43)申请公布日2018.08.28(21)申请号201810635515.7(22)申请日2018.06.20(71)申请人南京晶能半导体科技有限公司地址210000江苏省南京市经济技术开发区红枫科技园A3栋1层东侧(72)发明人潘清跃罗汉昌王维川(74)专利代理机构南京苏高专利商标事务所(普通合伙)32204代理人张弛(51)Int.Cl.C30B15/00(2006.01)C30B29/08(2006.01)权利要求书1页说明书4页附图2页(54)发明名称一种用于半导体硅单晶炉的翻板阀及单晶炉(57)摘要本发明公开了一种用于半导体硅单晶炉的翻板阀，包括翻板、翻转轴、连接翻转轴及翻板的连接板；其中在翻板内部设置了水道，可以通过引入冷却水的方式在翻板内部的水道流动带走翻板的热量，以达到冷却的效果，同时从翻转轴中的两个轴体分别引入进水通道及排水通道，这样不需要重新再设置其他管道结构，直接利用本身存在的翻转轴即可实现冷却水的引入。CN108456918ACN108456918A权利要求书1/1页1.一种用于半导体硅单晶炉的翻板阀，包括翻板、翻转轴、连接翻转轴及翻板的连接板；所述翻转轴包括轴套、插设在轴套一端第一轴体、插设在轴套另一端的第二轴体，第一轴体、第二轴体与轴套同轴设置；其特征在于：所述翻板中央位置设有向上凸出的一对座体，该座体之间横向设有转轴，所述连接板的一端固定连接于轴套上而连接板的另一端通过转轴与座体铰接；所述翻板内设有若干相互连通的水道，且该水道的进口与出口位于翻板的上表面靠近轴套的位置；还设置连通该水道进口的进水管、连通该水道出口的排水管；所述第一轴体设有进水通道，该进水通道的一端贯通该第一轴体的外端，该进水通道的另一端连接所述进水管并通过进水管与水道进口连通；所述第二轴体设有排水通道，该排水通道的一端贯通该第二轴体的外端，该排水通道的另一端连接所述排水管并通过排水管与水道出口连通；所述进水管包括进水引管及进水弯管，所述进水弯管在翻板上方弯曲延伸，且进水弯管的一端连接进水引管而另一端连通水道进口，所述进水引管一端连接进水弯管而另一端连通进水通道；所述排水管包括排水引管及排水弯管，所述排水弯管在翻板上方弯曲延伸，且排水弯管的一端连接排水引管而另一端连通水道出口，所述排水引管一端连接排水弯管而另一端连通排水通道。2.根据权利要求1所述的用于半导体硅单晶炉的翻板阀，其特征在于：所述进水弯管为圆弧状，所述排水弯管也为圆弧状，且进水弯管在排水弯管的外侧延伸。3.根据权利要求1或2所述的用于半导体硅单晶炉的翻板阀，其特征在于：所述进水弯管围成类圆形，排水弯管同样围成类圆形，且排水引管位于进水弯管与水道进口连接处及进水弯管与进水引管的连接处之间。4.根据权利要求3所述的用于半导体硅单晶炉的翻板阀，其特征在于：所述进水引管、进水弯管、排水引管、排水弯管均为金属管。5.根据权利要求4所述的用于半导体硅单晶炉的翻板阀，其特征在于：所述排水引管比进水引管长。6.根据权利要求1所述的用于半导体硅单晶炉的翻板阀，其特征在于：向第一轴体的进水通道注入冷却水，冷却水依次经过进水通道、进水引管、进水弯管、水道、排水弯管、排水引管、排水通道。7.一种包含如权利要求1-6中任一项所述翻板阀的单晶炉，其特征在于：还包括冷却水源，该冷却水源连接所述第一轴体的进水通道。2CN108456918A说明书1/4页一种用于半导体硅单晶炉的翻板阀及单晶炉技术领域[0001]本发明涉及硅单晶炉技术领域。背景技术[0002]单晶硅是具有基本完整的点阵结构的晶体，是一种良好的半导体材料，纯度可达到99.9999999％以上，可以用于二极管级、整流器件级、电路级以及太阳能电池级单晶产品的生产和深加工制造，其后续产品集成电路和半导体分离器件已广泛应用于各个领域处于新材料发展的前沿。半导体级硅单晶炉是单晶硅产业链中重要的晶体生长设备，目前，世界上用于硅单晶体生长的主流方法主要有两种：一种是区熔法，另一种是直拉法，其中直拉法具有生长单晶质量大、直径大、成本低廉、生产效率高等优点，一直是半导体硅衬底制备的主要手段。[0003]在采用直拉法的单晶炉中，其中段设有一个隔离阀座，隔离阀座内设有翻板阀，主要用于隔离主炉室和副炉室，实现两个炉室不同的工作要求。[0004]如中国专利ZL201720398047.7公开的一种单晶炉翻板旋开机构的技术方案中，即公开了一种适用于隔离阀座的翻板阀，同样在中国专利ZL201220040686.3中也公开了一种适用于单晶炉内隔离阀座的翻板阀。[0005]但是现有技术中的翻板阀存在的问题是：由于单晶炉内的主炉室及副炉室温度很高，该翻板阀在高温下难免产生高