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一种用于半导体硅单晶炉的翻板阀及单晶炉.pdf
2023-06-17
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明钰****甜甜
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一种用于半导体硅单晶炉的翻板阀及单晶炉.pdf
本发明公开了一种用于半导体硅单晶炉的翻板阀，包括翻板、翻转轴、连接翻转轴及翻板的连接板；其中在翻板内部设置了水道，可以通过引入冷却水的方式在翻板内部的水道流动带走翻板的热量，以达到冷却的效果，同时从翻转轴中的两个轴体分别引入进水通道及排水通道，这样不需要重新再设置其他管道结构，直接利用本身存在的翻转轴即可实现冷却水的引入。
2023-06-17
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用于单晶炉的翻板阀装置.pdf
本发明提供一种用于单晶炉的翻板阀装置，单晶炉包括熔炼室与模室，翻板阀装置用于模室与熔炼室之间进行密封，所述翻板阀装置包括：翻板阀盖体，所述翻板阀盖体连接翻板阀安装梁；第一摇臂，第一摇臂与翻板阀安装梁相转动连接，第一摇臂由翻板阀轴带动绕翻板阀轴的轴线转动；第二摇臂，第二摇臂的第一端与翻板阀安装梁抗转动连接，第二摇臂的第二端在滑轨中滑动。据此，翻板阀装置通过连杆滑块结构能够实现熔炼室与模室之间的打开与关闭，并且能够易于检修。
2023-06-15
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一种半导体级硅单晶炉坩埚起吊装置及硅单晶炉.pdf
本发明公开了一种半导体级硅单晶炉坩埚起吊装置及硅单晶炉。该起吊装置通过向下延伸的第三连杆围绕于坩埚托盘四周，且通过挂钩承载坩埚托盘并提拉出。第三连杆的打开与闭合操作均通过位于支架上的第一、第二连杆及十字转盘带动，第一、第二连杆及十字转盘不占用炉内空间，且能够较准确的控制第三连杆开合的角度，避免触碰炉壁。该坩埚起吊装置对炉内空间的占用很少，专用于硅单晶炉内坩埚与炉壁间隙较小的环境中。
2023-06-16
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一种半导体级硅单晶炉的排气装置及单晶炉.pdf
本发明公开了一种半导体级硅单晶炉的排气装置及单晶炉。排气装置包括排气圈、排气管；所述排气圈内部设有环形的引气通道、进气口、出气口；排气管包括排气管肘及自排气管肘下端延伸的管体；废气通过排气圈上的进气口引气，并依次通过引气通道、出气口及排气管将气体排出。该排气圈设置为环形，在与单晶炉中的坩埚配合时，能够自坩埚周向均匀的排气，避免坩埚各位置的温差过大而使内部长晶不均匀的隐患发生。并且排气管与坩埚之间并不会接触，排气管的热量并不会再影响坩埚的温度，使坩埚的温度减少外部影响，更加能够精确控制以提高长晶质量。
2023-06-17
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单晶炉重锤、单晶炉、硅单晶的直拉方法及硅单晶.pdf
本发明公开了一种单晶炉重锤、单晶炉、硅单晶的直拉方法及硅单晶。该单晶炉重锤包括重锤本体，设有籽晶连接端；遮挡片，靠近重锤本体的籽晶连接端固定设置在重锤本体上。该单晶炉重锤通过在重锤本体上设置遮挡片，能够有效减缓硅熔体表面的散热速度。散热速度的减缓能够降低硅熔体表面的径向温度梯度，进而降低硅熔体表面的热对流速度。热对流速度的降低能够减缓硅熔体对石英坩埚中氧原子的输送速度，这就使得硅单晶头部的氧含量有所下降，进而减少了硅单晶头部因氧原子而导致的各种缺陷，保证了硅单晶头部光电转换效率。
2023-06-19
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