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(19)中华人民共和国国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN112575370A(43)申请公布日2021.03.30(21)申请号202011470690.9(22)申请日2020.12.15(71)申请人南京晶能半导体科技有限公司地址210046江苏省南京市经济技术开发区兴智路6号兴智科技园(72)发明人姜宏伟郭志强郑锴(74)专利代理机构南京苏高专利商标事务所(普通合伙)32204代理人张弛(51)Int.Cl.C30B15/00(2006.01)C30B29/06(2006.01)权利要求书1页说明书4页附图5页(54)发明名称一种半导体级硅单晶炉坩埚起吊装置及硅单晶炉(57)摘要本发明公开了一种半导体级硅单晶炉坩埚起吊装置及硅单晶炉。该起吊装置通过向下延伸的第三连杆围绕于坩埚托盘四周,且通过挂钩承载坩埚托盘并提拉出。第三连杆的打开与闭合操作均通过位于支架上的第一、第二连杆及十字转盘带动,第一、第二连杆及十字转盘不占用炉内空间,且能够较准确的控制第三连杆开合的角度,避免触碰炉壁。该坩埚起吊装置对炉内空间的占用很少,专用于硅单晶炉内坩埚与炉壁间隙较小的环境中。CN112575370ACN112575370A权利要求书1/1页1.一种半导体级硅单晶炉坩埚起吊装置,其特征在于,包括支架、位于支架上的十字转盘、与十字转盘连接的推杆、若干第一连杆、若干第二连杆、若干第三连杆;所述十字转盘包括四个自中间位置向外延伸的转臂,四个转臂共同形成“十”字型;十字转盘中间位置与支架铰接且可在支架上转动;每个第一连杆的后端与一个转臂的前端铰接,每个第一连杆的前端与一个第二连杆的后端铰接,每个第二连杆的前端与一个第三连杆的上端铰接,第三连杆自上向下延伸,且每个第三连杆的下端设有一个挂钩;第三连杆与支架的边缘铰接,且第三连杆在第二连杆的带动下,挂钩向外倾斜向外伸出或者向内收回;当推杆推动十字转盘转动一个角度时,转臂转动而带动第一连杆向外移动,第一连杆带动第二连杆的前端向内移动,第二连杆带动第三连杆的上端向内移动,使第三连杆的下端及挂钩倾斜向外伸出;当推杆拉回十字转盘时,第三连杆的下端及挂钩倾斜向内收回。2.根据权利要求1所述的半导体级硅单晶炉坩埚起吊装置,其特征在于:所述支架上设有螺杆,该螺杆上设有滑块,所述滑块与推杆连接,滑块设有内螺纹并与螺杆螺纹连接,螺杆转动时带动滑块沿着螺杆延伸方向移动,滑块移动带动推杆摆动,进而使推杆推动十字转盘转动一个角度。3.根据权利要求2所述的半导体级硅单晶炉坩埚起吊装置,其特征在于:所述支架上设有承载螺杆的螺杆支座,螺杆的一端设有手轮。4.根据权利要求1或2或3所述的半导体级硅单晶炉坩埚起吊装置,其特征在于:用以起吊坩埚托盘,所述坩埚托盘的外缘设有一圈外凸环,所述外凸环的外侧设有若干向内凹陷的凹槽,当挂钩倾斜向内收回时,所述第三连杆的下端收容入凹槽中,且挂钩挂在外凸环的底部。5.根据权利要求3所述的半导体级硅单晶炉坩埚起吊装置,其特征在于:所述支架包括四个分别向四个方形延伸的横梁,且四个横梁共同形成“十”字型,每个第一连杆位于一个横梁上方,每个横梁的外端设有一个铰接支座,所述第三连杆与该铰接支座铰接并向下延伸;所述第二连杆位于该铰接支座上方;螺杆支座安装在其中一个横梁上。6.根据权利要求1或2或3所述的半导体级硅单晶炉坩埚起吊装置,其特征在于:所述推杆与一个第一连杆同时通过一根销轴与一个转臂铰接,推杆与该第一连杆分别铰接于该转臂的上表面及下表面,且推杆与该第一连杆之间形成一个角度。7.一种单晶炉,其特征在于,该单晶炉具有如权利要求1‑7中任一项所述的半导体级硅单晶炉坩埚起吊装置。2CN112575370A说明书1/4页一种半导体级硅单晶炉坩埚起吊装置及硅单晶炉技术领域[0001]本发明属于硅单晶炉技术领域。背景技术[0002]现有技术的半导体技术领域中,需要使用硅单晶炉通过提拉法制备硅片。如公开号为105177701A的中国专利申请,即公开一种现有技术的硅单晶炉。其中晶体位于坩埚中制备,坩埚通过坩埚托盘设置在提拉轴上。坩埚外围为具有热场的炉体。[0003]在单晶炉制备时,需要的工序即包括将坩埚及坩埚托盘自炉体中取出,或者放回至炉体中。而如图1所示,承载坩埚的坩埚托盘1’承载于提拉轴2’上时,在炉体3’中的状态图。由该图1所知,坩埚托盘1’与炉体3’内壁的空隙非常的狭窄,而由于将坩埚及坩埚托盘自炉体中取出或者放回时,不能触碰炉体3’以避免产生杂质污染炉内环境,故对坩埚及坩埚托盘的取放非常麻烦。[0004]故,需要一种新的技术方案以解决上述问题。发明内容[0005]发明目的:本发明提供一种硅单晶炉中取放坩埚托盘的专用起吊装置,用以解决如何能够便捷的自炉体内取放坩埚托盘的技术问题。[0006]本发明还