一种半导体级硅单晶炉坩埚起吊装置及硅单晶炉.pdf
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相关资料
一种半导体级硅单晶炉坩埚起吊装置及硅单晶炉.pdf
本发明公开了一种半导体级硅单晶炉坩埚起吊装置及硅单晶炉。该起吊装置通过向下延伸的第三连杆围绕于坩埚托盘四周,且通过挂钩承载坩埚托盘并提拉出。第三连杆的打开与闭合操作均通过位于支架上的第一、第二连杆及十字转盘带动,第一、第二连杆及十字转盘不占用炉内空间,且能够较准确的控制第三连杆开合的角度,避免触碰炉壁。该坩埚起吊装置对炉内空间的占用很少,专用于硅单晶炉内坩埚与炉壁间隙较小的环境中。
一种用于半导体级硅单晶炉的石墨坩埚座.pdf
本发明公开了一种用于半导体级硅单晶炉的石墨坩埚座,包括支撑板A,所述支撑板A顶部两侧对称设置有仓体,所述仓体内底部设置有弹簧A,所述弹簧A的顶部设置有支撑杆A,所述支撑杆A的顶部设置有支撑板B,两组所述支撑板B相互靠近的一侧设置有支撑杆B,所述支撑杆B外侧的两侧对称设置有弹簧B,所述支撑板B外侧的中间位置处对称设置有滑块,所述支撑板B的顶部设置有支撑板C;本发明装置通过给装置适配一个底座,在底座上设置多个固定销,在装置的底座设置多个固定孔,固定销与固定孔相互适配,将装置的固定孔与底座的固定销相互重合,做到
一种硅单晶炉水平调节装置及硅单晶炉.pdf
本发明公开了一种硅单晶炉水平调节装置及硅单晶炉,调节装置包括基座、被连接件,还包括具有通孔的调节螺钉、安装在调节螺钉上方的调节拨叉、锁紧垫片及锁紧螺钉;通过锁紧垫片及锁紧螺钉将被连接件与基座进行连接及锁紧,达到自锁防松的目的,避免以后因机械振动等原因影响设备的水平度;硅单晶炉的四个角分别采用此水平调节机构,通过对四个边角水平高度的微调,实现最终各个部件及设备整体的调平。
一种半导体级硅单晶炉的排气装置及单晶炉.pdf
本发明公开了一种半导体级硅单晶炉的排气装置及单晶炉。排气装置包括排气圈、排气管;所述排气圈内部设有环形的引气通道、进气口、出气口;排气管包括排气管肘及自排气管肘下端延伸的管体;废气通过排气圈上的进气口引气,并依次通过引气通道、出气口及排气管将气体排出。该排气圈设置为环形,在与单晶炉中的坩埚配合时,能够自坩埚周向均匀的排气,避免坩埚各位置的温差过大而使内部长晶不均匀的隐患发生。并且排气管与坩埚之间并不会接触,排气管的热量并不会再影响坩埚的温度,使坩埚的温度减少外部影响,更加能够精确控制以提高长晶质量。
一种半导体级硅单晶炉的排气装置.pdf
本发明公开了一种半导体级硅单晶炉的排气装置,针对现有的排气装置大多是单向的排气设置,容易造成单晶炉内温度的分布不均匀,从而出现制取单晶硅质量变差的问题,现提出以下方案,包括炉体,所述炉体的外壁上固定连接等距离分布的存气盒,两个所述存气盒的相邻一侧外壁上固定连接有同一个连接管,所述连接管的一侧外壁上固定连接有出气管,所述存气盒的一侧外壁上固定连接有连接块。本发明挡风槽将转动过程中阻挡的气体在一定空间内搅乱,然后在分流槽的作用下分散在安装板附近,结合抽气泵的作用,保证了从吸气孔吸入的气体是热量混合均匀的气体,