用于单晶炉的翻板阀装置.pdf
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用于单晶炉的翻板阀装置.pdf
本发明提供一种用于单晶炉的翻板阀装置,单晶炉包括熔炼室与模室,翻板阀装置用于模室与熔炼室之间进行密封,所述翻板阀装置包括:翻板阀盖体,所述翻板阀盖体连接翻板阀安装梁;第一摇臂,第一摇臂与翻板阀安装梁相转动连接,第一摇臂由翻板阀轴带动绕翻板阀轴的轴线转动;第二摇臂,第二摇臂的第一端与翻板阀安装梁抗转动连接,第二摇臂的第二端在滑轨中滑动。据此,翻板阀装置通过连杆滑块结构能够实现熔炼室与模室之间的打开与关闭,并且能够易于检修。
一种用于半导体硅单晶炉的翻板阀及单晶炉.pdf
本发明公开了一种用于半导体硅单晶炉的翻板阀,包括翻板、翻转轴、连接翻转轴及翻板的连接板;其中在翻板内部设置了水道,可以通过引入冷却水的方式在翻板内部的水道流动带走翻板的热量,以达到冷却的效果,同时从翻转轴中的两个轴体分别引入进水通道及排水通道,这样不需要重新再设置其他管道结构,直接利用本身存在的翻转轴即可实现冷却水的引入。
单晶炉隔离阀板移动装置.pdf
本发明公开了一种单晶炉隔离阀板移动装置,包括阀体,阀体包括上板、下板,下板上设有开口,阀体内设置隔离阀板,隔离阀板封堵所述的开口,隔离阀板一个端面与所述的下板上端面贴合以封堵开口,另一个端面设有旋转臂,旋转臂固定连接主轴,主轴下端安装在下板上的下轴套内,主轴上端穿过安装在上板上的上轴套并与设置在上板上端面的提升气缸固定连接,提升气缸的提升方向为主轴轴线方向,主轴上端具有长条形孔,上板上端面还设有驱动所述主轴转动的驱动机构。在单晶炉作业过程中,采用隔离阀板移动装置,有效的提高了作业的简单化,降低劳动强度和成
单晶炉翻板限位机构.pdf
一种单晶炉翻板限位机构,包括安装在阀体上的定位板,定位板上有定位豁口,还包括摇手臂,摇手柄安装在摇手臂的一端,摇手臂的另一端与翻板连接轴固定,在摇手柄上安装有弹簧,摇手臂上设有定位台,定位台用于定位弹簧的安装位置,在摇手柄靠近定位豁口的一端还装有定位螺母,定位螺母用于固定弹簧的位置,摇手柄上远离定位豁口的一端设有第一凹台和第二凹台,摇手臂上设有和摇手柄上的第一凹台和第二凹台相配合的凸台;本发明只通过单手拉动并转动摇手柄和摇手臂,即可定位使摇手柄的弹簧压缩或恢复,实现定位或者脱开,该机构能在翻板打开后能够固
单晶炉翻板箱冷却结构.pdf
本发明涉及一种单晶炉翻板箱冷却结构,包括箱体、用来与副工作室连接的上接口、用来与主工作室的炉盖连接的下接口和翻板阀门,所述箱体分为内层和外层,内层和外层间设有冷却夹层,箱体外设有与冷却夹层相通的进出水孔座;所述的冷却夹层内从上到下交错布置有若干栅板,相邻的两块栅板中,一块栅板的一端固定在内层上,另一端与外层之间留有间隙,而另一块栅板一端固定在外层上,另一端与内层之间留有间隙。本发明在冷却夹层内设有交错的栅板,增加了水与内壁和外壁的接触面,提高了冷却降温的效果,从而有效吸收热量,能更好的保护翻板箱。