一种电子级多晶硅还原炉底盘及还原炉.pdf
书生****12
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一种电子级多晶硅还原炉底盘及还原炉.pdf
本发明公开了电子级多晶硅还原炉底盘,包括底盘、由若干电极形成的电极环、由若干进气口形成的进气环及由若干出气口形成的出气环,底盘为圆盘结构,形成的电极环、进气环和出气环均是以底盘的中心为圆心的同心圆,电极环至少包括由内至外依次设置的第一电极环和第二电极环,进气环至少包括设于第一电极环和第二电极环之间的第一进气环,第一进气环上的若干进气口的口径不完全相等。本发明的还原炉底盘通过在底盘上间隔布置不同口径的进气口,使得反应气体进入炉内的流速不一致,改变现有技术中的均匀的气流分布,形成高低搭配的气流,有效减少了炉体
还原炉底盘及多晶硅还原炉.pdf
本发明涉及多晶硅生产技术领域,尤其是涉及一种还原炉底盘及多晶硅还原炉。还原炉底盘包括底盘主体,底盘主体上安装有多圈电极组;底盘主体包括相对间隔设置的第一底盘、第二底盘和第三底盘,以及位于第二底盘和第一底盘之间的多个导流环板;第三底盘上开设有进气孔,用于向进气腔室内通气;导流环板形成环形的导流通道且导流通道的两端分别与进气腔室和还原炉相连通;多个导流环板呈同心间隔分布于任意相邻的两圈电极组之间。原料气体经由环形的导流通道均匀地进入到还原炉内,从而在一定程度上提高原料气体在还原炉内的流场分布及温度分布,原料气
多晶硅还原炉的底盘、底盘组件以及还原炉.pdf
本发明公开多晶硅还原炉的底盘、底盘组件以及还原炉,包括盘体,所述盘体具有多个进气口组和多个还原尾气出口组;和多个电极基座组,多个所述电极基座组沿所述盘体的径向间隔开地设在所述盘体上,每个所述电极基座组包括沿所述盘体的周向间隔开的多个电极基座,其中多个所述电极基座组和多个所述进气口组沿所述盘体的径向交替设置,一个所述还原尾气出口组位于多个所述电极基座组的外侧,其余的每个所述还原尾气出口组在所述盘体的径向上位于相邻两个所述电极基座组之间。通过进气口组和还原尾气出口组的设置,使得多晶硅还原炉内的温度场均匀,从而
用于多晶硅还原炉的底盘、底盘组件和还原炉.pdf
本发明提出一种用于多晶硅还原炉的底盘、底盘组件和还原炉。本发明的用于多晶硅还原炉的底盘包括:盘体,盘体具有第一进气孔组,第一进气孔组包括至少一个第一进气孔,每个第一进气孔沿盘体的轴向贯穿盘体;电极孔组,电极孔组包括沿盘体的周向间隔设置的多个电极孔,每个电极孔沿盘体的轴向贯穿盘体;多个出气孔,每个出气孔沿盘体的轴向贯穿盘体,多个出气孔沿盘体的周向间隔设置,多个出气孔在内外方向上位于第一进气孔组和电极孔组之间。因此,根据本发明的用于多晶硅还原炉的底盘具有可使得还原炉内的气体反应更加充分、节省物料和提高硅棒质量
一种高效节能还原炉底盘和多晶硅还原炉.pdf
本发明公开一种高效节能还原炉底盘,包括底盘,所述底盘上设有中心进料口、n个电极圈层和n‑1个进料圈层,其中n≥4且n为正整数;所述电极圈层和进料圈层以中心进料口为圆心间隔设置;每个所述进料圈层设有不少于4个进料口;所述电极圈层从内向外计数,第n电极圈层设有4n对电极;同一电极圈层内相邻两个电极之间等间距设置;第n个所述电极圈层外设有出料圈层,所述出料圈层设有至少两个出料口,所述出料口等间距设置在出料圈层上。重新设计还原炉底盘上电极和进料口的布局,从而改进还原炉中进行反应的温场和气场,同时提高原料转换率,降