一种C/C复合材料用井式气相沉积炉装炉沉积工装.pdf
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一种C/C复合材料用井式气相沉积炉装炉沉积工装.pdf
本发明涉及C/C复合材料制备技术领域,具体涉及一种C/C复合材料用井式气相沉积炉装炉沉积工装,其包括装料底盘和吊装框架,所述装料底盘布满有3~15mm的气流分布孔,所述吊装框架由上架、立柱和底座焊接而成,所述底座为内翻边结构,装料底盘通过所述内翻边结构安装在吊装框架上。本发明提供了一种C/C复合材料用井式气相沉积炉装炉沉积工装,在保证沉积效果的前提下,有效解决了直径小、深度深气相沉积炉的装炉问题,改变了工人装炉环境,增大了装炉量。
一种化学气相沉积用装炉工装.pdf
本申请涉及碳碳光伏热场产品制造领域,尤其涉及一种化学气相沉积用装炉工装,其包括叠放环,所述叠放环的内周侧上同轴开设有防护环槽,所述防护环槽的槽壁能够与胚体的R角部位贴合。通过采用上述技术方案,将叠放环搭设于胚体上,使胚体的R角部位与防护环槽的槽壁相贴合,从而叠放环将上方胚体产生的压力均匀分散至下方胚体的R角部位上,对下方胚体的R角部位起到保护作用,且叠放环的上端面为上方胚体提供了放置平台,使得上方胚体在放置平稳的同时不会对下方胚体产生过度挤压,从而降低下方胚体受压变形的概率,进而提高碳碳复合材料制品的质量
气相沉积炉的均匀供气装置及气相沉积炉.pdf
本发明揭示了气相沉积炉的均匀供气装置及气相沉积炉,气相沉积炉的均匀供气装置,包括至少一条呈T字形的匀气管路,所述匀气管路的出气孔的朝向与反应气体的上升方向相反且背向工件。本发明设计精巧,通过设置出气孔的朝向,能够使反应气体流出后逐步的扩散到工件区域,避免了一个气口直接朝向工件供气时易造成气流冲击以及易使反应气体集中于某一区域,造成反应气体分布不均匀的问题,能够保证反应气体供应的均匀性,有利于提高薄膜沉积的质量。
沸腾式气相沉积炉.pdf
本发明公开了一种沸腾式气相沉积炉,包括具有封闭炉膛的炉体和用于对封闭炉膛进行加热的加热装置,炉体连接有用于将物料送入封闭炉膛的进料装置、用于将封闭炉膛物料排出的出料装置和用于将封闭炉膛中气体排出的排气装置,封闭炉膛的底部设有用于向炉膛内喷射气体以将物料向上吹起的气嘴。该沸腾式气相沉积炉具有结构简单、成本低、易于操控、维护方便、包覆效率高、包覆效果好等优点。
气相沉积均匀加热装置及气相沉积炉.pdf
本发明揭示了气相沉积均匀加热装置及气相沉积炉,包括至少两个间隙设置的加热板,所述加热板在与它们平行的同一投影面上的投影重合,且相邻加热板之间的间隙形成用于放置工件的加热空间,每个所述加热板的两端分别连接一石墨电极,每个所述石墨电极连接用于连接电源的铜电极。本发明设计精巧,通过在两个加热板的间隙之间形成用于放置工件的加热空间,两个加热板同时从两个相反方向直接对工件进行加热,一来具有更高的加热效率,减少热传递过程的热损耗,有利于降低能耗;同时,两面同时加热,有利于保证加热的均匀性,避免工件受热不均。