气相沉积均匀加热装置及气相沉积炉.pdf

(19)中华人民共和国国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN109423631A(43)申请公布日2019.03.05(21)申请号201710774886.9C23C16/455(2006.01)(22)申请日2017.08.31(71)申请人中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所地址215125江苏省苏州市工业园区若水路398号(72)发明人张立国崔志国鞠涛范亚明张泽洪张宝顺(74)专利代理机构南京艾普利德知识产权代理事务所(特殊普通合伙)32297代理人陆明耀(51)Int.Cl.C23C16/46(2006.01)C23C16/52(2006.01)权利要求书2页说明书6页附图3页(54)发明名称气相沉积均匀加热装置及气相沉积炉(57)摘要本发明揭示了气相沉积均匀加热装置及气相沉积炉，包括至少两个间隙设置的加热板，所述加热板在与它们平行的同一投影面上的投影重合，且相邻加热板之间的间隙形成用于放置工件的加热空间，每个所述加热板的两端分别连接一石墨电极，每个所述石墨电极连接用于连接电源的铜电极。本发明设计精巧，通过在两个加热板的间隙之间形成用于放置工件的加热空间，两个加热板同时从两个相反方向直接对工件进行加热，一来具有更高的加热效率，减少热传递过程的热损耗，有利于降低能耗；同时，两面同时加热，有利于保证加热的均匀性，避免工件受热不均。CN109423631ACN109423631A权利要求书1/2页1.气相沉积均匀加热装置，其特征在于：包括至少两个间隙设置的加热板（30），所述加热板（30）在与它们平行的同一投影面上的投影重合，且相邻加热板（30）之间的间隙形成用于放置工件的加热空间（140），每个所述加热板（30）的两端分别连接一石墨电极（40），每个所述石墨电极（40）连接用于连接电源的铜电极（50）。2.根据权利要求1所述的气相沉积均匀加热装置，其特征在于：所述加热板（30）的输出功率可调。3.根据权利要求1所述的气相沉积均匀加热装置，其特征在于：所述加热板（30）为电阻加热方式。4.根据权利要求3所述的气相沉积均匀加热装置，其特征在于：所述加热板（30）从其一端开始呈蛇形线延伸到另一端，其两端等高设置且分别设置有用于与所述石墨电极（40）连接的连接孔（301）。5.根据权利要求4所述的气相沉积均匀加热装置，其特征在于：所述加热板（30）为四个，任意相邻加热板（30）的间距相同，它们形成三个加热空间（140）。6.根据权利要求1-5任一所述的气相沉积均匀加热装置，其特征在于：还包括与每个加热板（30）贴近的热偶（60）。7.根据权利要求6所述的气相沉积均匀加热装置，其特征在于：所述铜电极（50）具有自冷却机构（70），所述自冷却机构（70）包括与所述铜电极（50）的开口端密封连接的外管（701），所述外管（701）通过冷却介质导入接头（702）连接共轴贯穿其的内管，所述冷却介质导入接头（702）连接配水器（80）；所述内管延伸到所述铜电极（50）的内腔中，所述外管（701）上还设置有冷却介质导出接口（703）。8.根据权利要求7所述的气相沉积均匀加热装置，其特征在于：所述铜电极（50）的外周还连接有用于连接电源的接线排（90）。9.根据权利要求7所述的气相沉积均匀加热装置，其特征在于：所述加热板（30）位于一保温箱（11）内，所述保温箱（11）为石墨毡形成的壳体。10.根据权利要求9所述的气相沉积均匀加热装置，其特征在于：所述石墨电极（40）延伸到所述保温箱（11）中，所述石墨电极（40）通过氮化硼管（100）与保温箱（11）绝缘。11.根据权利要求9所述的气相沉积均匀加热装置，其特征在于：所述保温箱（11）的顶部设置有排气组件（110），其底部设置有反应气体均匀导入组件（120）。12.根据权利要求11所述的气相沉积均匀加热装置，其特征在于：所述排气组件（110）包括至少一个排气石墨管（1101），所述排气石墨管（1101）连接收集盒（1102），所述收集盒通过排气管路（1103）连接过滤器（1104），所述过滤器（1104）连接气体排放组件（1105）。13.根据权利要求11所述的气相沉积均匀加热装置，其特征在于：所述反应气体均匀导入组件（120）包括至少一条呈T字形的匀气管路（1201），所述匀气管路（1201）包括从保温箱（11）外延伸到其内部的气体导入管（1202），所述气体导入管（1202）位于保温箱（11）内的一端连接有三通过渡接头（1203），所述三通过渡接头（1203）共轴的两个接口分别连接一匀气管（1204），所述匀气管（1204）的出气孔(1205)朝向所述保温箱（11）的底部。14.根据权利要求13所述的气相沉积均匀加热装置，其特征在于：每条所述匀气管路（1201）与一个加热