一种化学气相沉积用装炉工装.pdf
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一种化学气相沉积用装炉工装.pdf
本申请涉及碳碳光伏热场产品制造领域,尤其涉及一种化学气相沉积用装炉工装,其包括叠放环,所述叠放环的内周侧上同轴开设有防护环槽,所述防护环槽的槽壁能够与胚体的R角部位贴合。通过采用上述技术方案,将叠放环搭设于胚体上,使胚体的R角部位与防护环槽的槽壁相贴合,从而叠放环将上方胚体产生的压力均匀分散至下方胚体的R角部位上,对下方胚体的R角部位起到保护作用,且叠放环的上端面为上方胚体提供了放置平台,使得上方胚体在放置平稳的同时不会对下方胚体产生过度挤压,从而降低下方胚体受压变形的概率,进而提高碳碳复合材料制品的质量
一种C/C复合材料用井式气相沉积炉装炉沉积工装.pdf
本发明涉及C/C复合材料制备技术领域,具体涉及一种C/C复合材料用井式气相沉积炉装炉沉积工装,其包括装料底盘和吊装框架,所述装料底盘布满有3~15mm的气流分布孔,所述吊装框架由上架、立柱和底座焊接而成,所述底座为内翻边结构,装料底盘通过所述内翻边结构安装在吊装框架上。本发明提供了一种C/C复合材料用井式气相沉积炉装炉沉积工装,在保证沉积效果的前提下,有效解决了直径小、深度深气相沉积炉的装炉问题,改变了工人装炉环境,增大了装炉量。
带钢用化学气相沉积炉.pdf
本发明公开了一种带钢用化学气相沉积炉,包括炉体,所述炉体内部形成有多个反应腔,各所述反应腔之间通过加热通道连通,所述加热通道的两侧设有用于加热所述带钢的感应加热器,所述反应腔内设有一对用于向所述带钢的上下表面喷射气相化学反应物的喷嘴。采用本发明的带钢用化学气相沉积炉,能够使反应腔内气流均匀,且其使用寿命长。
一种化学气相沉积炉以及一种化学气相沉积系统.pdf
本发明提供了一种化学气相沉积炉,包括:用于盛放固体原料并向所述沉积室供送气态原料的原料供给装置;设置于所述原料供给装置上方的两个及以上的沉积装置;设置于所述沉积装置上方的收料装置,所述收料装置包括一个收料盒、设置于所述收料盒顶部的收料盒盖以及开设于所述收料盒盖处的出气筒,所述收料盒为一个内部贯通的腔室,所述出气筒的下端与所述收料盒的腔室连通。本发明中未反应完的气体以及未来的及沉积的化合物颗粒直接进入到收料盒内,尽可能的进入到与化学气相沉积炉相连的粉尘收集系统,降低了整个化学气相沉积炉的承重,同时减少反应生
一种化学气相沉积炉.pdf
本发明公开了一种化学气相沉积炉,包括炉体以及气氛管理单元,气氛管理单元用于向炉体内通入或抽出气体,气氛管理单元包括多个气流处理装置,气流处理装置具有第一端、第二端以及设于第一端和第二端之间的至少一多孔薄膜,第一端与外部连通,第二端处于炉体内,从而气流在进出炉体时,通过多孔薄膜,多孔薄膜将气流分散,提高了炉体内气体的均匀性,并有利于减少气流冲击。