基于微波处理的光罩盒固化工艺及装置.pdf

(19)中华人民共和国国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN110395000A(43)申请公布日2019.11.01(21)申请号201910355701.X(22)申请日2019.04.29(71)申请人曾杰地址新加坡宏茂桥区52街大牌588A13楼203号(72)发明人曾杰(74)专利代理机构淄博启智达知识产权代理事务所(特殊普通合伙)37280代理人袭娜王燕(51)Int.Cl.B29C70/54(2006.01)B29C35/04(2006.01)B29C35/08(2006.01)权利要求书1页说明书10页附图6页(54)发明名称基于微波处理的光罩盒固化工艺及装置(57)摘要本发明涉及一种固化工艺及装置，具体涉及一种基于微波处理的光罩盒固化工艺及装置。向树脂材料中加入碳材料，进行热注入成型工艺制成光罩盒，然后降至室温，将光罩盒移动到微波处理炉正下方，将微波处理炉完全覆盖住光罩盒，启动微波电源进行固化，并利用红外温度传感器监控光罩盒表面温度；开启微波炉侧面的进气门，启动热气流加热装置，使用热气流喷射光罩盒，关闭高压喷射气流，部件固化和表面缺陷消除完成。本发明避免引入挥发性有机物杂质，有效去除热塑成型工艺造成的部件表面缺陷，固化速度快，效率高，能耗低，均匀性好，安全性高；本发明同时提供其装置。CN110395000ACN110395000A权利要求书1/1页1.一种基于微波处理的光罩盒固化工艺，其特征在于：向树脂材料中加入碳材料，进行热注入成型工艺制成光罩盒，然后降至室温，将光罩盒移动到微波处理炉内，启动微波电源进行固化，并利用红外温度传感器监控光罩盒表面温度；使用热气流喷射光罩盒，喷射完毕后，排气，处理完成。2.根据权利要求1所述的基于微波处理的光罩盒固化工艺，其特征在于：启动微波电源进行固化中微波电源的功率为2000W-5000W。3.根据权利要求1所述的基于微波处理的光罩盒固化工艺，其特征在于：使用热气流喷射光罩盒中的热气流温度为150-220℃，热气流喷射的速度为5L/min-25L/min，热气流喷射时间持续20s。4.根据权利要求1所述的基于微波处理的光罩盒固化工艺，其特征在于：碳材料与树脂材料的重量比介于1/1000和1/200之间。5.根据权利要求1所述的基于微波处理的光罩盒固化工艺，其特征在于：树脂材料为聚碳酯酸、聚乙烯醇、聚醋酸乙烯酯、聚偏氟乙稀或聚四氟乙烯的一种或多种；碳材料为碳黑、碳纳米管或碳纤维中的一种或多种。6.根据权利要求1-5任一所述的基于微波处理的光罩盒固化工艺，其特征在于：包括以下步骤：(1)向树脂材料中加入碳材料，进行热注入成型工艺制成光罩盒；(2)将光罩盒的温度冷却到室温；(3)将光罩盒放置于微波处理炉内；(4)启动微波电源进行固化，并利用红外温度传感器监控光罩盒表面温度；(5)打开进气口，使用150-220℃的热气流喷射光罩盒，并利用气体流量控制器监控气流情况，热气流的喷射速度为5L/min-25L/min，热气流喷射时间持续20s；(6)关闭热气流，并利用红外温度传感器监控光罩盒表面温度，光罩盒表面温度随时间升高，在50s达到稳定值80±5℃，排气完成。7.根据权利要求6所述的基于微波处理的光罩盒固化工艺，其特征在于：步骤(4)为：启动微波电源进行固化，并利用红外温度传感器监控光罩盒表面温度；加热开始后，光罩盒表面温度随时间升高，在120s达到稳定值65-80℃，根据红外温度传感器的回馈，温度稳定28-118分钟后，关掉微波电源，加热完成。8.一种实现权利要求1-5任一所述的基于微波处理的光罩盒固化工艺的装置，其特征在于：包括微波处理炉炉体(3)，微波处理炉炉体(3)为隧道形状，微波加热器(1)通过微波波导(2)连接微波处理炉炉体(3)，产品传送带(4)穿过隧道形状的微波处理炉炉体(3)，产品传送带(4)上放置光罩盒(8)，微波处理炉炉体(3)上设有红外温度传感器(7)，在微波处理炉炉体(3)的侧面设有进气门(9)，进气门(9)还通过进气管(10)连接加热器(11)。9.根据权利要求8所述的装置，其特征在于：进气管(10)与产品传送带(4)移动方向垂直。10.根据权利要求8所述的装置，其特征在于：产品传送带(4)下部设置传送带轴承(5)，微波处理炉炉体(3)底部设置支撑架(6)。2CN110395000A说明书1/10页基于微波处理的光罩盒固化工艺及装置技术领域[0001]本发明涉及一种固化工艺及装置，具体涉及一种基于微波处理的光罩盒固化工艺及装置。背景技术[0002]光刻(photolithography)是半导体器件制造工艺中的一个重要步骤，该步骤利用曝光和显影在光刻胶层上刻画几何图形结构，然后通过刻蚀工艺将光掩模上的图形转移到所在衬底上。这里所说的衬底