一种光罩盒及光罩储存柜.pdf

(19)中华人民共和国国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN112838035A(43)申请公布日2021.05.25(21)申请号202010093165.3B03C3/04(2006.01)(22)申请日2020.02.14B65D25/10(2006.01)(30)优先权数据16/6949582019.11.25US16/7365882020.01.07US(71)申请人夏泰鑫半导体（青岛）有限公司地址266000山东省青岛市黄岛区太白山路172号青岛中德生态园双创中心219室(72)发明人刘智龙权炳仁李大烨(74)专利代理机构深圳市赛恩倍吉知识产权代理有限公司44334代理人彭辉剑龚慧惠(51)Int.Cl.H01L21/673(2006.01)权利要求书2页说明书6页附图7页(54)发明名称一种光罩盒及光罩储存柜(57)摘要本发明关于一种用于储存光罩之光罩盒及用于储存复数光罩盒之储存柜。所述每一光罩盒用于容纳一光罩组件。所述光罩组件包含一光罩以及一防尘薄膜覆盖于所述光罩上。所述储存柜包含一主架构及一静电产生器。所述主架构具有一内部空间及至少一光罩盒支撑架设置于所述内部空间。所述光罩盒支撑架将所述内部空间分隔成复数储存室对应于所述复数光罩盒。所述储存室用于放置对应的所述光罩盒。所述静电产生器连接于所述光罩组件，用于产生一静电至所述光罩组件。所述静电产生器产生之静电于正电和负电之间交替改变。CN112838035ACN112838035A权利要求书1/2页1.一种储存柜，用于存放复数光罩盒，其特征在于，所述光罩盒用于容纳一光罩组件，所述光罩组件包含一光罩以及一防尘薄膜覆盖于所述光罩上；所述储存柜包含：一主架构，具有一内部空间及至少一光罩盒支撑架设置于所述内部空间；其中，所述光罩盒支撑架将所述内部空间分隔成复数储存室对应于所述复数光罩盒；所述复数储存室用于放置对应的所述光罩盒；以及一静电产生器，连接于所述光罩组件；所述静电产生器用于产生一静电至所述光罩组件；所述静电产生器产生之静电于正电和负电之间交替改变。2.如权利要求1所述之储存柜，其特征在于，所述静电以一固定频率交替改变。3.如权利要求2所述之储存柜，其特征在于，所述静电交替改变的频率为每分钟6至600次。4.如权利要求1所述之储存柜，其特征在于，所述光罩组件之光罩包含一穿透层以及一金属层设置于所述穿透层之一面上；所述防尘薄膜覆盖住所述光罩之金属层。5.如权利要求4所述之储存柜，其特征在于，所述光罩之穿透层为一石英层或一钠钙玻璃层。6.如权利要求4所述之储存柜，其特征在于，所述光罩之金属层为一铬金属层。7.如权利要求4所述之储存柜，其特征在于，所述每一光罩盒包含：一盒状结构，用于容纳所述光罩组件；以及复数光罩支撑架位于所述盒状结构中，用来支撑所述光罩组件。8.如权利要求7所述之储存柜，其特征在于，所述复数光罩支撑架用于支撑所述光罩之穿透层。9.一种用于容纳一光罩组件之光罩盒，其特征在于，所述光罩组件包含一光罩以及一防尘薄膜覆盖于所述光罩上，所述光罩盒包含：一盒状结构，用于容纳所述光罩组件；复数光罩支撑架位于所述盒状结构中，用来支撑所述光罩组件；以及一静电产生器，连接于所述光罩组件；所述静电产生器用于产生一静电至所述光罩组件；所述静电产生器产生之静电于正电和负电之间交替改变。10.如权利要求9所述之光罩盒，其特征在于，所述静电交替改变的频率为每分钟6至600次。11.如权利要求9所述之光罩盒，其特征在于，所述光罩组件之光罩包含一穿透层以及一金属层设置于所述穿透层一面上；所述防尘薄膜覆盖住所述光罩之金属层。12.如权利要求11所述之光罩盒，其特征在于，所述光罩之穿透层为一石英层或一钠钙玻璃层。13.如权利要求11所述之光罩盒，其特征在于，所述光罩之金属层为一铬金属层。14.如权利要求11所述之光罩盒，其特征在于，所述复数光罩支撑架用于支撑所述光罩之穿透层。15.一种储存复数光罩组件的方法，其特征在于，所述每一光罩组件包含一光罩以及一防尘薄膜覆盖于所述光罩上，所述方法包含：提供一用于储存复数光罩盒之储存柜；其中，所述每一光罩盒用来储存一光罩组件；所述储存柜包含一具有一内部空间之主架构、至少一光罩盒支撑架设置于所述内部空间、以2CN112838035A权利要求书2/2页及一与所述光罩组件相连接之静电产生器；所述光罩盒支撑架将所述内部空间分隔成复数储存室对应于所述复数光罩盒；所述复数储存室用于放置对应的所述光罩盒；所述静电产生器产生一静电至所述光罩组件上；以及在正电和负电之间交替改变所述静电。16.如权利要求15所述之方法，其特征在于，所述静电交替改变的频率为每分钟6至600次。17.如权利要求15所述之方法，其特征在于，所述光罩组件之光罩包含一穿透层以及一金