基于微波处理的非传统光伏硅片清洗干燥工艺.pdf

(19)中华人民共和国国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN109378355A(43)申请公布日2019.02.22(21)申请号201810971070.X(22)申请日2018.08.24(71)申请人曾杰地址新加坡宏茂桥区52街大牌588A13楼203号(72)发明人曾杰(74)专利代理机构淄博启智达知识产权代理事务所(特殊普通合伙)37280代理人王燕(51)Int.Cl.H01L31/18(2006.01)H01L21/02(2006.01)权利要求书1页说明书9页附图10页(54)发明名称基于微波处理的非传统光伏硅片清洗干燥工艺(57)摘要本发明涉及光伏硅片，具体涉及一种基于微波处理的非传统光伏硅片清洗干燥工艺。所述的清洗干燥工艺，步骤如下：将盛装光伏硅片的花篮转移至微波干燥炉中；启动微波电源，进行加热，并利用红外温度传感器监控光伏硅片表面温度；加热完成后，开启微波干燥炉上方排气口，从光伏硅片下方输入空气流，排出微波干燥炉内的废气；红外温度传感器反馈光伏硅片表面温度低于50℃，停止输入空气流，清洗干燥工艺完毕。本发明能够有效去除光伏硅片表面残余的有机物，简化了生产过程，效率高，能耗低，均匀性好，安全性高，且装置结构简单，易于操作。CN109378355ACN109378355A权利要求书1/1页1.一种基于微波处理的非传统光伏硅片清洗干燥工艺，其特征在于包括以下步骤：(1)将盛装光伏硅片的花篮转移至微波干燥炉中；(2)启动微波电源，进行加热，并利用红外温度传感器监控光伏硅片表面温度；(3)加热完成后，开启微波干燥炉上方排气口，从光伏硅片下方输入空气流，排出微波干燥炉内的废气；红外温度传感器反馈光伏硅片表面温度低于50℃，停止输入空气流，清洗干燥工艺完毕。2.根据权利要求1所述的基于微波处理的非传统光伏硅片清洗干燥工艺，其特征在于：步骤(2)中微波电源频率为2.45GHz或5.8GHz；微波电源功率为300-4000W。3.根据权利要求1所述的基于微波处理的非传统光伏硅片清洗干燥工艺，其特征在于：步骤(2)中加热时间为205-215s。4.根据权利要求3所述的基于微波处理的非传统光伏硅片清洗干燥工艺，其特征在于：步骤(2)中加热开始后，光伏硅片表面温度随时间升高，在25-35s达到稳定值60-90℃，根据红外温度传感器的回馈，温度稳定180s后，关掉微波电源，加热完成。5.根据权利要求1所述的基于微波处理的非传统光伏硅片清洗干燥工艺，其特征在于：步骤(3)中空气流输入速度为1-10L/min，空气流输入过程持续5-20s。6.根据权利要求1所述的基于微波处理的非传统光伏硅片清洗干燥工艺，其特征在于：光伏硅片表面存在金属和无机物时，在步骤(1)之前增加按照金属和无机物清洗流程清洗光伏硅片的步骤。7.根据权利要求6所述的基于微波处理的非传统光伏硅片清洗干燥工艺，其特征在于：步骤(2)中加热时间为25-60s。8.根据权利要求7所述的基于微波处理的非传统光伏硅片清洗干燥工艺，其特征在于：步骤(2)中加热开始后，光伏硅片表面温度随时间升高，在15-50s达到峰值80-300℃，根据红外温度传感器的回馈，温度停止上升后10s，关掉微波电源，加热完成。9.一种基于微波处理的非传统光伏硅片清洗干燥装置，包括微波干燥炉本体(3)，其特征在于：微波干燥炉本体(3)顶部开设光伏硅片出入口(1)和供废气排出的上方排气口(2)，内部设置样品支架(4)，样品支架(4)内部设置贯通样品支架(4)的用于输入空气流的进气管路(5)，微波干燥炉本体(3)上还设置红外温度传感器(9)。10.根据权利要求9所述的基于微波处理的非传统光伏硅片清洗干燥装置，其特征在于：微波干燥炉本体(3)外部设置1-4个微波加热装置(8)；微波干燥炉本体(3)底部安装有三个底部支撑(6)；在微波干燥炉本体(3)的顶部或侧面设置红外温度传感器(9)。2CN109378355A说明书1/9页基于微波处理的非传统光伏硅片清洗干燥工艺技术领域[0001]本发明涉及光伏硅片，具体涉及一种基于微波处理的非传统光伏硅片清洗干燥工艺。背景技术[0002]太阳能电池是一种利用光电效应，将太阳能转化为直流电能的发电装置。太阳能电池发出的电能，可供给各种用电设备使用，因此很多电子设备上都采用太阳能电池，例如电子计算器，卫星，电站等。近年来，由于太阳能电池发电效率的提高，人们开始在房屋上安装太阳能电池，利用太阳能电池发出的电能提供部分甚至全部用电。与煤、石油、水能、核能等能源相比，太阳能洁净，具有对环境影响小和取之不尽等显著优点。因此，太阳能产业在短时间内得到迅速发展，成为生机勃勃的朝阳产业。[0003]太阳能电池主要由光伏硅片构成，在高纯度硅片上形成半导体P-N结，当这些P-