光罩盒.pdf

(19)中华人民共和国国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN113296363A(43)申请公布日2021.08.24(21)申请号202010112027.5(22)申请日2020.02.24(71)申请人中勤实业股份有限公司地址中国台湾桃园市(72)发明人邱铭隆(74)专利代理机构北京泰吉知识产权代理有限公司11355代理人张雅军史瞳(51)Int.Cl.G03F7/20(2006.01)权利要求书2页说明书7页附图10页(54)发明名称光罩盒(57)摘要一种光罩盒，包含底座及上盖。底座包括至少周缘以内部分是以石英制成的座体，及多个下支撑组件，每一个下支撑组件的至少部分凸露出于座体上表面。上盖包括至少周缘以内部分是以石英制成的盖体，及多个上支撑组件，每一个上支撑组件的至少部分凸露出于盖体下表面。盖体与座体相配合共同形成封闭空间，且所述上支撑组件与所述下支撑组件共同界定位于封闭空间内的固持位置。通过座体与盖体的至少周缘以内由硬度较高且耐化性佳的石英制成，能够避免盖体与座体开阖过程中因摩擦产生微粒；也不需镀覆保护膜而提高尺寸精度以及制造良率。CN113296363ACN113296363A权利要求书1/2页1.一种光罩盒，适用于容置极紫外光光罩，其特征在于：该光罩盒包含：底座，包括至少周缘以内的部分是以石英制成的座体，及多个设于该座体的下支撑组件，每一个该下支撑组件的至少部分凸露出于该座体的座体上表面；及上盖，包括至少周缘以内的部分是以石英制成的盖体，及多个设于该盖体的上支撑组件，每一个该上支撑组件的至少部分凸露出于该盖体的盖体下表面；该盖体与该座体相配合共同形成封闭空间，且所述上支撑组件凸露出于该盖体下表面的部分与所述下支撑组件凸露出于该座体上表面的部分共同界定位于该封闭空间内的固持位置。2.根据权利要求1所述的光罩盒，其特征在于：该底座还包括至少一个设于该座体的座体下表面的光电感应部，该至少一个光电感应部的反射率相异于该座体下表面其余部分的反射率。3.根据权利要求2所述的光罩盒，其特征在于：该至少一个光电感应部是通过选自镀膜、粗糙化、镶嵌金属片或锁附金属片中的至少一种方式形成。4.根据权利要求1所述的光罩盒，其特征在于：该座体预设有至少一个视窗区。5.根据权利要求4所述的光罩盒，其特征在于：该至少一个视窗区是位于该座体以石英制成的部分内，且该座体的座体下表面于该至少一个视窗区处设置或形成有滤镜、滤光膜、抗反射镜或抗反射膜。6.根据权利要求2所述的光罩盒，其特征在于：该座体预设有至少一个视窗区。7.根据权利要求6所述的光罩盒，其特征在于：该至少一个视窗区是位于该座体以石英制成的部分内，且该座体的座体下表面于该至少一个视窗区处设置或形成有滤镜、滤光膜、抗反射镜或抗反射膜。8.根据权利要求1所述的光罩盒，其特征在于：每一个该上支撑组件包括压抵件、弹性垫圈、限位件及多个固定件，该压抵件具有板状部及自该板状部延伸的柱状部，该弹性垫圈环绕于该柱状部，且密接于该板状部及该盖体之间，该限位件至少覆盖该板状部的周缘部分以将该压抵件限位，且该限位件具有露出该板状部的一部分的开口，并通过所述固定件而被固定于该盖体，该盖体形成有多组分别对应所述上支撑组件的穿孔组，每一组该穿孔组包括与该压抵件的该柱状部对应的让位孔，该让位孔的内径是介于该板状部的最大外径与该柱状部的最大外径之间，且该柱状部自该盖体外侧穿过该让位孔后末端凸露于该盖体的该盖体下表面，及多个分别供对应的该上支撑组件的所述固定件穿过的安装孔。9.根据权利要求8所述的光罩盒，其特征在于：每一个该固定件具有头部及自该头部延伸的杆体，且该杆体末端形成卡扣结构，每一个该上支撑组件的该限位件还具有多个分别供所述固定件穿过的限位穿孔，每一个该限位穿孔的内径是介于每一个该固定件的该头部的最大外径与该杆体的最大外径之间。10.根据权利要求8所述的光罩盒，其特征在于：每一个该上支撑组件的所述固定件与该限位件一体成型，每一个该固定件具有自该限位件延伸的杆体，且该杆体末端形成卡扣结构。2CN113296363A权利要求书2/2页11.根据权利要求8所述的光罩盒，其特征在于：每一个该上支撑组件的该限位件具有多个分别供所述固定件穿过的限位穿孔，每一个该固定件由螺丝及螺帽组成。12.根据权利要求8所述的光罩盒，其特征在于：每一个该固定件为螺丝，每一个该上支撑组件的该限位件具有多个分别供所述固定件螺锁的螺孔。13.根据权利要求8至12中任一权利要求所述的光罩盒，其特征在于：该盖体的每一组该穿孔组还包括通孔，每一个该上支撑组件还包括覆盖对应的该通孔的过滤片，且该限位件还具有对应该通孔及该过滤片的通气区，该通气区设有至少一个气孔。14.根据权利要求1所述的光罩盒，其特征在于：每一个该上支撑组件包括压抵件、