一种设置有炉体升降机构的晶体生长炉.pdf
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一种设置有炉体升降机构的晶体生长炉.pdf
本发明涉及半导体材料制备装置技术领域,更具体而言,涉及一种设置有炉体升降机构的晶体生长炉,包括晶体生长装置与炉体升降装置,在晶体生长装置中通过自上而下的多组加热器实现对炉芯及坩埚炉、石英管的热辐射加热,多组加热器独立运作,实现不同部位不同温度的加热;通过底部玻璃棒提供热流失通道;通过炉体升降装置,避免因坩埚内部熔体震动而导致的生长界面波动带来的晶体缺陷,使得晶体尾部多晶率由原来6%下降到2%,晶体的EPD及电性能均匀性得到明显提升;本发明提供的晶体生长炉结构简单,操作便捷,方便了装炉与出炉操作,工作效率由
一种新型蓝宝石晶体生长炉炉体冷却系统.pdf
本发明公开了一种新型蓝宝石晶体生长炉炉体冷却系统,包括腔室主体水冷系统,上炉盖水冷系统和下炉盖水冷系统。此种炉体冷却系统设计简单,冷却能力强,制造成本低,换热效果更好。
一种准单晶铸锭炉下炉体机构.pdf
本发明属于单晶炉技术领域,具体涉及一种准单晶铸锭炉下炉体机构。该准单晶铸锭炉下炉体机构,包括下炉底外壳、装配支撑座、支撑座和支撑柱,所述下炉底外壳内设有导轨传动机构、风门机构和水冷机构,所述风门机构包括热门,风门机构的热门通过导轨传动机构进行传动,所述下炉底外壳内对应风门机构设有加热机构,所述加热机构外围四周均设有溢流机构,溢流机构通过引流孔与溢流报警机构接通。其有益效果是:结构简单,使用方便,有效保护底部籽晶,并设有导流槽,使硅液可迅速到达导流位置,缩短反应时间,快速并有效的进行异常处理,各溢流丝分别连
热交换器升降机构以及晶体生长炉系统.pdf
本发明公开一种热交换器升降机构以及晶体生长炉系统,包括热交换器、固定件、升降机构。热交换器的一端被构造为贯穿晶体生长炉的炉体与晶体生长炉中的坩埚连接并与坩埚发生热交换,热交换器被构造为与炉体的壁面可滑动地配合。固定件被构造为与晶体生长炉保持相对位置。升降机构与固定件连接并与固定件保持相对位置,升降机构与热交换器传动连接,升降机构被构造为驱动热交换相对于炉体滑动,以改变升降机构相对于炉体的位置关系。本申请提供的技术方案可以用于解决现有晶体生长设备中热交换器位置的相对变化,导致影响晶体质量的问题。
一种立式晶体生长炉下炉盖锁紧机构.pdf
本发明公开一种立式晶体生长炉下炉盖锁紧机构,涉及锁紧机构技术领域,包括设置于框架上的锁紧组件和驱动系统,所述锁紧组件包括联动块、安装座、连杆座和驱动结构;所述安装座用于与所述框架或炉体相连接,所述驱动结构设置于所述安装座一端,所述连杆座设置于所述安装座另一端,所述联动块与所述连杆座活动连接,所述驱动结构与所述联动块传动连接,所述驱动系统与所述驱动结构动力连接。1.通过简单的机构实现了下炉盖的自动锁紧,避免了人工操作的繁琐费时及可能造成的风险。2.通过在驱动系统中设计增加冗余保护系统,实现了在驱动力缺失、断