一种新型蓝宝石晶体生长炉炉体冷却系统.pdf

(19)中华人民共和国国家知识产权局*CN102978690A*(12)发明专利申请(10)申请公布号CN102978690A(43)申请公布日2013.03.20(21)申请号201210567620.4(22)申请日2012.12.24(71)申请人苏州工业园区杰士通真空技术有限公司地址215212江苏省苏州市工业园区苏惠路88号环球财富广场1幢2803室(72)发明人滑喜宝(51)Int.Cl.C30B15/00(2006.01)C30B29/20(2006.01)权利要求书权利要求书1页1页说明书说明书22页页附图附图44页(54)发明名称一种新型蓝宝石晶体生长炉炉体冷却系统(57)摘要本发明公开了一种新型蓝宝石晶体生长炉炉体冷却系统，包括腔室主体水冷系统，上炉盖水冷系统和下炉盖水冷系统。此种炉体冷却系统设计简单，冷却能力强，制造成本低，换热效果更好。CN1029786ACN102978690A权利要求书1/1页1.一种新型蓝宝石晶体生长炉炉体冷却系统，包括腔室主体水冷系统，上炉盖水冷系统和下炉盖水冷系统，其特征在于，所述腔室主体水冷系统为双层筒体之间加导流槽，冷却水一进一出，所述上炉盖水冷系统为单层炉盖悬挂金属导热板，金属导热板上焊接有金属水管，冷却水一进一出，所述下炉盖水冷系统为单层炉盖支撑金属导热板，金属导热板上焊接有金属水管，冷却水一进一出。2.根据权利1所述一种新型蓝宝石晶体生长炉炉体冷却系统，其特征在于，所述腔室主体上有3-12个电极桩，1个进水管和1个出水管，所述上炉盖上有1个籽晶通孔，1个籽晶腔室，1个观察孔，1个观察孔遮挡片伺服机构，1个进水管和1个出水管，所述下炉盖上有3个电极桩，1个进水管和1个出水管。3.根据权利1所述的一种新型蓝宝石晶体生长炉炉体冷却系统，其特征在于，所述金属导热板和金属水管的材质为钨，钼，铜和铝四中材料中的任意一种。2CN102978690A说明书1/2页一种新型蓝宝石晶体生长炉炉体冷却系统技术领域[0001]本发明涉及一种蓝宝石晶体生长炉的结构设计，尤其是一种炉体冷却系统背景技术[0002]目前，蓝宝石晶体生长炉大整个外壳大多采用双层筒体中间有水冷夹层的方案进行炉体冷却，腔室主体结构简单，尺寸较大，采用此种方案较为合适。但蓝宝石晶体生长炉是一种非常复杂的设备，对于上炉盖，其上不仅有籽晶通孔，观察孔以及各种测试装置通孔，这些都给上炉盖的水冷系统的加装带来了一定的难度；对于下炉盖，有些炉型装有电极通孔，有些炉型装有升降装置，不利于水冷系统的加装，这些都使得设备造价居高不下。发明内容[0003]本发明所要解决的技术问题是提供一种新型蓝宝石晶体生长炉炉体冷却系统，解决设备成本高的问题。[0004]为解决上述技术问题，本发明的技术方案为：一种新型蓝宝石晶体生长炉炉体冷却系统，包括腔室主体水冷系统，上炉盖水冷系统和下炉盖水冷系统，其特征在于，所述腔室主体水冷系统为双层筒体之间加导流槽，冷却水一进一出，所述上炉盖水冷系统为单层炉盖悬挂金属导热板，金属导热板上焊接有金属水管，冷却水一进一出，所述下炉盖水冷系统为单层炉盖支撑金属导热板，金属导热板上焊接有金属水管，冷却水一进一出。[0005]上述一种新型蓝宝石晶体生长炉炉体冷却系统，其特征在于，所述腔室主体上有3-12个电极桩，1个进水管和1个出水管，所述上炉盖上有1个籽晶通孔，1个籽晶腔室，1个观察孔，1个观察孔遮挡片伺服机构，1个进水管和1个出水管，所述下炉盖上有3个电极桩，1个进水管和1个出水管。[0006]上述一种新型蓝宝石晶体生长炉炉体冷却系统，其特征在于，所述金属导热板和金属水管的材质为钨，钼，铜和铝四中材料中的任意一种。[0007]本发明的优点在于：此种炉体冷却系统设计简单，冷却能力强，制造成本低，换热效果更好。附图说明[0008]下面结合附图和具体实施方式对本发明作进一步详细的说明。[0009]图1是晶体生长炉炉体冷却系统示意图。[0010]图2是腔室主体水冷系统示意图。[0011]图3是上炉盖水冷系统示意图。[0012]图4是上炉盖俯视图。[0013]图5是上炉盖金属导热板示意图。[0014]图6是下炉盖水冷系统示意图。[0015]图7是下炉盖金属导热板示意图。3CN102978690A说明书2/2页具体实施方式[0016]图1所示，晶体生长炉炉体冷却系统包括腔室主体水冷系统17，上炉盖水冷系统15和下炉盖水冷系统16。图2所示，腔室主体上有电极桩11，进水管19和出水管18，在双层不锈钢夹层中间设置导流板20，使得冷却水自下而上流经整个炉壳。图3，图4和图5所示，上炉盖水冷系统15为单层炉盖悬挂金属导热板5，金属导热板5上焊接有金属水管7，冷却水一进一出。上炉盖4有一个籽晶通孔2，一个籽晶腔室1，一个观察孔3，一个观察孔遮