一种立式晶体生长炉下炉盖锁紧机构.pdf

本发明公开一种立式晶体生长炉下炉盖锁紧机构,涉及锁紧机构技术领域,包括设置于框架上的锁紧组件和驱动系统,所述锁紧组件包括联动块、安装座、连杆座和驱动结构;所述安装座用于与所述框架或炉体相连接,所述驱动结构设置于所述安装座一端,所述连杆座设置于所述安装座另一端,所述联动块与所述连杆座活动连接,所述驱动结构与所述联动块传动连接,所述驱动系统与所述驱动结构动力连接。1.通过简单的机构实现了下炉盖的自动锁紧,避免了人工操作的繁琐费时及可能造成的风险。2.通过在驱动系统中设计增加冗余保护系统,实现了在驱动力缺失、断电、管路破损、驱动换向阀损坏的情况下对炉盖的自锁功能。