内容提供者
一种准单晶铸锭炉下炉体机构.pdf
2023-06-17
10金币
744KB
13页
Ja****44
实名认证
内容提供者
1/10
2/10
3/10
4/10
5/10
6/10
7/10
8/10
9/10
10/10
亲，该文档总共13页，到这已经超出免费预览范围，如果喜欢就直接下载吧～
相关资料
一种准单晶铸锭炉下炉体机构.pdf
本发明属于单晶炉技术领域，具体涉及一种准单晶铸锭炉下炉体机构。该准单晶铸锭炉下炉体机构，包括下炉底外壳、装配支撑座、支撑座和支撑柱，所述下炉底外壳内设有导轨传动机构、风门机构和水冷机构，所述风门机构包括热门，风门机构的热门通过导轨传动机构进行传动，所述下炉底外壳内对应风门机构设有加热机构，所述加热机构外围四周均设有溢流机构，溢流机构通过引流孔与溢流报警机构接通。其有益效果是：结构简单，使用方便，有效保护底部籽晶，并设有导流槽，使硅液可迅速到达导流位置，缩短反应时间，快速并有效的进行异常处理，各溢流丝分别连
2023-06-17
10
744KB
准单晶铸锭炉的下加热器升降机构.pdf
本发明涉及一种准单晶铸锭炉的下加热器升降机构，其特征在于：包括下发热体、固定件、电极立柱、固定板、垫块、托板、升降装置、传动软轴和电机；所述下发热体通过固定件安装在保温体内部的坩埚平台底面，下发热体安装有垂直设置的电极立柱，电极立柱向下伸出保温体及炉体后安装在固定板上，固定板通过绝缘垫板与托板连接；炉体下固定设有升降装置，升降装置与托板连接；托板上设有传动软轴及电机，升降装置由传动软轴连接带动，传动软轴由电机连接带动。本发明结构合理，使下发热体在铸锭炉保温体内可以上下移动，满足了准单晶硅铸锭生产的工艺要求
2023-06-19
10
810KB
准单晶铸锭炉的坩埚平台升降机构.pdf
本发明涉及一种准单晶铸锭炉的坩埚平台升降机构，包括坩埚平台、石墨立柱、钢立柱、托板、升降装置、传动软轴和电机，所述坩埚平台底面设有石墨立柱，石墨立柱向下伸出下保温体外后与钢立柱连接，钢立柱向下伸出炉体后与水平设置的托板固定连接，炉体下固定设有升降装置，升降装置与托板连接，托板上设有传动软轴及电机，升降装置由传动软轴连接带动，传动软轴由电机连接带动。本发明结构合理，使坩埚平台在铸锭炉保温体内可以上下移动，满足了准单晶硅铸锭生产所需要的工艺要求。
2023-06-19
10
840KB
低碳准单晶铸锭炉及应用该铸锭炉进行铸锭的方法.pdf
本发明公开了一种低碳准单晶铸锭炉及应用该铸锭炉进行铸锭的方法，低碳准单晶铸锭炉包括炉体（1）、隔热笼（2）和热交换台（9），热交换台（9）上放置有坩埚（7），坩埚（7）的顶部设置有加热器A（3），其四周分布加热器B（8），加热器B（8）通过加热器升降杆（11）连接牵引装置（12），其铸锭方法分为五个步骤，包括装料、加热熔化、晶体生长、退火和冷却。本发明可以有效地抑制溶质边界层中由于碳含量富集而引起的成分过冷现象，从而降低了杂质富集对准单晶的生长速度的影响，同时可以有效地降低准单晶铸锭中碳的含量；可以有效地
2023-06-20
10
512KB
准单晶铸锭炉的下加热器固定结构.pdf
准单晶铸锭炉的下加热器固定结构，其特征在于：包括石墨平台，石墨平台下部设有一个平行放置的下加热器，所述的下加热器通过至少两个双头螺杆吊挂在石墨平台上，每个双头螺杆对应配合的下加热器位置设有通孔，所述的每个双头螺杆穿过相应的通孔，双头螺杆下端通过连接螺母将下加热器设置在螺母上，所述的螺杆螺母与下加热器间设有绝缘装置。通过C/C螺杆和氮化硼绝缘件将下加热器固定在坩埚石墨平台下面，有效地提高下加热器石墨件的使用寿命。
2023-06-19
10
592KB