热交换器升降机构以及晶体生长炉系统.pdf

(19)中华人民共和国国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN109440185A(43)申请公布日2019.03.08(21)申请号201910002255.4(22)申请日2019.01.02(71)申请人伯恩露笑蓝宝石有限公司地址028000内蒙古自治区通辽市科尔沁区木里图镇工业园区(72)发明人郭飞滑喜宝陈真宏(74)专利代理机构北京超凡志成知识产权代理事务所(普通合伙)11371代理人赵志远(51)Int.Cl.C30B15/14(2006.01)权利要求书2页说明书7页附图2页(54)发明名称热交换器升降机构以及晶体生长炉系统(57)摘要本发明公开一种热交换器升降机构以及晶体生长炉系统，包括热交换器、固定件、升降机构。热交换器的一端被构造为贯穿晶体生长炉的炉体与晶体生长炉中的坩埚连接并与坩埚发生热交换，热交换器被构造为与炉体的壁面可滑动地配合。固定件被构造为与晶体生长炉保持相对位置。升降机构与固定件连接并与固定件保持相对位置，升降机构与热交换器传动连接，升降机构被构造为驱动热交换相对于炉体滑动，以改变升降机构相对于炉体的位置关系。本申请提供的技术方案可以用于解决现有晶体生长设备中热交换器位置的相对变化，导致影响晶体质量的问题。CN109440185ACN109440185A权利要求书1/2页1.一种热交换器升降机构，其特征在于，包括：热交换器，所述热交换器的一端被构造为贯穿晶体生长炉的炉体与所述晶体生长炉中的坩埚连接并与所述坩埚发生热交换，所述热交换器被构造为与所述炉体的壁面可滑动地配合；固定件，所述固定件被构造为与所述晶体生长炉保持相对位置；以及升降机构，所述升降机构与所述固定件连接并与所述固定件保持相对位置，所述升降机构与所述热交换器传动连接，所述升降机构被构造为驱动所述热交换相对于所述炉体滑动，以改变所述升降机构相对于所述炉体的位置关系。2.根据权利要求1所述的热交换器升降机构，其特征在于：所述固定件被构造为与所述炉体的底壁固定，所述固定件沿所述晶体生长炉的高度方向延伸；所述固定件沿垂直于所述晶体生长炉的高度的方向上设置有安装板，所述升降机构安装于所述安装板上。3.根据权利要求2所述的热交换器升降机构，其特征在于：所述热交换器的截面呈矩形，所述热交换器具有相对的第一端和第二端；所述第一端被构造为贯穿所述炉体的底壁并支撑于所述坩埚；所述第二端与所述升降机构传动连接。4.根据权利要求3所述的热交换器升降机构，其特征在于，包括：滑动件，所述滑动件沿垂直于所述固定件的延伸方向延伸，所述滑动件沿所述固定件的延伸方向与所述固定件滑动配合；所述第二端支撑于所述滑动件，所述升降机构与所述滑动连接传动连接。5.根据权利要求4所述的热交换器升降机构，其特征在于：所述固定件的侧壁设置有滚珠导轨，所述滚珠导轨沿所述固定件的延伸方向延伸；所述滑动件的一端与所述滚珠导轨滑动配合。6.根据权利要求5所述的热交换器升降机构，其特征在于：所述第二端与所述滑动件之间设置有测力装置，所述测力装置被构造为将所述热交换器支撑于所述滑动件并测量所述热交换器承受的力。7.根据权利要求6所述的热交换器升降机构，其特征在于：所述热交换器的周壁固定有测力定位板，所述测力定位板靠近所述第二端；所述测力装置包括一个测力计和两个支撑柱，所述测力计的一端及两个所述支撑柱的一端分别固定于所述滑动件，所述测力计的测力端和两个所述支撑柱的另一端分别支撑于所述测力定位板；所述测力计和两个所述支撑柱呈三角形阵列排布。8.根据权利要求7所述的热交换器升降机构，其特征在于：所述升降机构为固定于所述安装板上的气缸，所述气缸的伸缩杆与所述滑动件传动连接。9.根据权利要求8所述的热交换器升降机构，其特征在于：所述升降机构还包括套筒和弹簧体；所述套筒套设于所述气缸的伸缩杆上并与所述伸缩杆可滑动地配合；2CN109440185A权利要求书2/2页所述弹簧体固定于所述伸缩杆上并弹性支撑于所述套筒上。10.一种晶体生长炉系统，其特征在于，包括：炉体；位于所述炉体内的坩埚；密封管；以及权利要求1-9任意一项所述的热交换器升降机构；所述热交换器的一端贯穿所述炉体的壁面并与所述坩埚连接；所述密封管套设于所述热交换器上，以使得所述热交换器与所述炉体之间保持密封；所述固定件固定于所述炉体。3CN109440185A说明书1/7页热交换器升降机构以及晶体生长炉系统技术领域[0001]本发明涉及晶体生长设备领域，具体而言，涉及一种热交换器升降机构以及晶体生长炉系统。背景技术[0002]传统的晶体生长设备，在设计之初，其热交换器的位置通过计算机模拟以及大量的实验数据总结来确定，设计完毕之后位置就固定下来了。在随后的使用过程中，热交换器的作用包括支撑坩埚，与外界交换热量的作用，随着晶体生长炉使用条