一种石英炉管浸洗式清洗方法.pdf

(19)中华人民共和国国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN110813936A(43)申请公布日2020.02.21(21)申请号201911061467.6(22)申请日2019.11.01(71)申请人江苏亚电科技有限公司地址225300江苏省泰州市姜堰区三水街道科技路199号(72)发明人钱诚李刚李文亭(51)Int.Cl.B08B9/02(2006.01)B08B3/12(2006.01)权利要求书1页说明书4页附图2页(54)发明名称一种石英炉管浸洗式清洗方法(57)摘要本申请涉及一种石英炉管浸洗式清洗方法，通过控制石英炉管进入清洗液的开口朝向进行改变，使清洗液充分流入石英炉管内，防止直接浸入时石英炉管内壁产生气泡而无法进行完全的清洗。同时，石英炉管在浸洗时，仅需通过两侧固定臂的动作，调整石英炉管开口朝向，石英炉管的动作幅度较小，整个动作机构简单，降低了石英炉管动作时发生损坏的风险。CN110813936ACN110813936A权利要求书1/1页1.一种石英炉管浸洗式清洗方法，其特征在于，包括以下步骤：S1：将待清洗石英炉管放置到具有高度差的位于石英炉管两侧的固定臂上，并使石英炉管的开口朝下；S2：使石英炉管与装有清洗液的清洗槽发生相对运动，使石英炉管靠近清洗槽内的清洗液，并且在石英炉管内壁与清洗液液面接触时，调节两侧固定臂的位置，使石英炉管的开口逐渐朝上；S3：当石英炉管完全被浸没时，所述石英炉管的开口朝上；S4：浸洗一段时间后，使石英炉管远离清洗槽内的清洗液，并且在石英炉管内壁与清洗液液面接触时，调节两侧固定臂的位置，使石英炉管的开口逐渐朝下，直至回到S1步骤中石英炉管开口朝下的状态；S5：石英炉管彻底离开清洗液；S6：完成清洗。2.根据权利要求1所述的石英炉管浸洗式清洗方法，其特征在于，所述清洗液为氢氟酸、浓酸或者清水；石英炉管先进入清洗液为氢氟酸、浓酸的清洗槽内一次以上，之后再进入清洗液为清水的清洗槽内一次以上。3.根据权利要求1或2所述的石英炉管浸洗式清洗方法，其特征在于，所述清洗槽做垂直移动靠近或者远离石英炉管。4.根据权利要求3所述的石英炉管浸洗式清洗方法，其特征在于，所述清洗槽设置于轨道上，能够水平移动，转载有不同的清洗液的所述清洗槽能够沿着轨道到达所述石英炉管下方。5.根据权利要求1-4任一项所述的石英炉管浸洗式清洗方法，其特征在于，所述清洗槽内设置有搅动液体流动的搅拌叶片和/或超声波发生器。6.根据权利要求1-5任一项所述的石英炉管浸洗式清洗方法，其特征在于，S1步骤中所述石英炉管的开口朝下时，所述石英炉管的中轴线与水平面的夹角为20-30°，S3步骤中所述石英炉管的开口朝上所述石英炉管的中轴线与水平面的夹角为20-30°。7.根据权利要求6所述的石英炉管浸洗式清洗方法，其特征在于，石英炉管的开口朝向改变时，以每分钟5-10°的速度进行动作。8.根据权利要求1-7任一项所述的石英炉管浸洗式清洗方法，其特征在于，在S6步骤完成清洗前，重复S2-S5若干次。9.根据权利要求1-8任一项所述的石英炉管浸洗式清洗方法，其特征在于，与S1步骤的石英炉管的放置位置处还设置有风机，用于对石英炉管进行风干。10.根据权利要求9所述的石英炉管浸洗式清洗方法，其特征在于，所述风机吹出的为60-80℃的热风。2CN110813936A说明书1/4页一种石英炉管浸洗式清洗方法技术领域[0001]本申请属于涉及半导体清洗设备技术领域，尤其是涉及一种石英炉管浸洗式清洗方法。背景技术[0002]石英炉管通常与扩散炉(扩散炉温度达800℃)一起配合使用，常用于半导体加工中对硅片进行高温扩散。在进行高温扩散工艺时，是将硅片连同硅片托架一起放入石英炉管中进行工艺。为了使扩散更稳定，PN结分布更均匀，必须保证石英管内压力稳定和气密性良好。石英炉管在长期的扩散工艺中会产生结垢，而扩散工艺对石英炉管洁净度的要求非常严格，不允许石英1炉管的管壁有其他金属杂质或离子存在。由于石英管表面的洁净度直接影响了硅片的良品率，因此，对石英炉管需要进行定期清洗。[0003]石英炉管的清洗分为浸洗式和喷洗式，浸洗式就是将石英炉管放置到清洗液中浸没清洗，喷洗式是将清洗液喷射到石英炉管内进行清洗。不管是浸洗式还是喷洗式均需要复杂的动作机构，且石英炉管进行各种动作一旦发生意外就容易损坏石英炉管。发明内容[0004]本发明要解决的技术问题是：为解决现有技术中的不足，从而提供一种能够尽量降低石英炉管的动作而防止石英炉管损坏的石英炉管浸洗式清洗方法。[0005]本发明解决其技术问题所采用的技术方案是：[0006]一种石英炉管浸洗式清洗方法，包括以下步骤：[0007]S1：将待清洗石英炉管放置到具有高度差的位于石英炉管两侧的固定臂上，并使石英炉管的