炉管晶舟温度的检测设备及炉管晶舟温度的监控方法.pdf

(19)中华人民共和国国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN110864810A(43)申请公布日2020.03.06(21)申请号201911137370.9(22)申请日2019.11.19(71)申请人上海华力微电子有限公司地址201315上海市浦东新区良腾路6号(72)发明人郎玉红祁鹏(74)专利代理机构上海思微知识产权代理事务所(普通合伙)31237代理人曹廷廷(51)Int.Cl.G01J5/00(2006.01)权利要求书1页说明书3页附图1页(54)发明名称炉管晶舟温度的检测设备及炉管晶舟温度的监控方法(57)摘要本发明提供了一种炉管晶舟温度的检测设备，包括：温度检测仪和控制系统，所述温度检测仪用于监测晶舟的温度并传给所述控制系统，所述控制系统对晶舟的温度进行判断，本发明还提供了一种炉管晶舟温度的监控方法，包括：温度检测仪检测晶舟的温度；所述温度检测仪将监测到的晶舟的温度传给控制系统；所述控制系统对所述晶舟的温度进行判断。在本发明提供的一种炉管晶舟温度的检测设备及炉管晶舟温度的监控方法中，温度检测仪能智能地感知晶舟的温度并传输给控制系统，控制系统智能地判断是否达到卸载硅片的温度条件，并控制卸载硅片。CN110864810ACN110864810A权利要求书1/1页1.一种炉管晶舟温度的检测设备，其特征在于，包括：温度检测仪和控制系统，所述温度检测仪用于监测晶舟的温度并传给所述控制系统，所述控制系统对晶舟的温度进行判断。2.如权利要求1所述的炉管晶舟温度的检测设备，其特征在于，所述温度检测仪和所述控制系统通过有线或无线方式连接。3.如权利要求1所述的炉管晶舟温度的检测设备，其特征在于，所述温度检测仪包括红外热像仪。4.如权利要求1所述的炉管晶舟温度的检测设备，其特征在于，所述红外热像仪位于所述晶舟一侧，并且所述红外热像仪发出的光垂直于所述晶舟。5.如权利要求1所述的炉管晶舟温度的检测设备，其特征在于，所述炉管晶舟温度的检测设备还包括传输装置。6.一种基于权利要求1-5任一项所述的炉管晶舟温度的检测设备的炉管晶舟温度的监控方法，其特征在于，包括：温度检测仪检测晶舟的温度；所述温度检测仪将监测到的晶舟的温度传给控制系统；所述控制系统对所述晶舟的温度进行判断。7.如权利要求6所述的炉管晶舟温度的监控方法，其特征在于，温度检测仪检测晶舟的温度之前，所述炉管晶舟温度的监控方法还包括：设定一温度阈值。8.如权利要求6所述的炉管晶舟温度的监控方法，其特征在于，若晶舟的温度达到阈值，则卸载晶舟内的硅片。9.如权利要求8所述的炉管晶舟温度的监控方法，其特征在于，若晶舟的温度没有达到阈值，则继续等待，待检测到的晶舟的温度达到阈值时再卸载硅片。10.如权利要求6所述的炉管晶舟温度的监控方法，其特征在于，所述卸载硅片的方法包括：所述控制系统控制传输装置卸载硅片。2CN110864810A说明书1/3页炉管晶舟温度的检测设备及炉管晶舟温度的监控方法技术领域[0001]本发明涉及半导体技术领域，尤其是涉及一种炉管晶舟温度的检测设备及炉管晶舟温度的监控方法。背景技术[0002]炉管机台在降舟后采用在循环氮气流通的方法来达到晶舟降温的目的，在一定时间的氮气循环后，再将硅片从晶舟上卸载下来。现有技术无法监控晶舟的温度，也无法确认机台在卸载硅片时晶舟以及硅片的温度。发明内容[0003]本发明的目的在于提供一种炉管晶舟温度的检测设备及炉管晶舟温度的监控方法，可以智能地感知晶舟的温度，方便得知卸载硅片的具体时间。[0004]为了达到上述目的，本发明提供了一种炉管晶舟温度的检测设备，包括：温度检测仪和控制系统，所述温度检测仪用于监测晶舟的温度并传给所述控制系统，所述控制系统对晶舟的温度进行判断。[0005]可选的，所述的炉管晶舟温度的检测设备中，所述温度检测仪和所述控制系统通过有线或无线方式连接。[0006]可选的，所述的炉管晶舟温度的检测设备中，所述温度检测仪包括红外热像仪。[0007]可选的，所述的炉管晶舟温度的检测设备中，所述红外热像仪位于所述晶舟一侧，并且所述红外热像仪发出的光垂直于所述晶舟。[0008]可选的，所述的炉管晶舟温度的检测设备中，所述炉管晶舟温度的检测设备还包括传输装置。[0009]本发明还提供了一种炉管晶舟温度的监控方法，包括：[0010]温度检测仪检测晶舟的温度；[0011]所述温度检测仪将监测到的晶舟的温度传给控制系统；[0012]所述控制系统对所述晶舟的温度进行判断。[0013]可选的，所述的炉管晶舟温度的监控方法中，温度检测仪检测晶舟的温度之前，所述炉管晶舟温度的监控方法还包括：设定一温度阈值。[0014]可选的，所述的炉管晶舟温度的监控方法中，若晶舟的温度达到阈值，则卸载晶舟内的硅片。[0015]可选的