用于立式炉管设备舟架的晶圆放置规则的配置方法.pdf

(19)国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN115458424A(43)申请公布日2022.12.09(21)申请号202211137283.5(22)申请日2022.09.19(71)申请人中国电子科技集团公司第四十八研究所地址410111湖南省长沙市天心区新开铺路1025号(72)发明人何永平杨金周水清李俊朋陈若愚(74)专利代理机构湖南兆弘专利事务所(普通合伙)43008专利代理师何文红(51)Int.Cl.H01L21/66(2006.01)H01L21/677(2006.01)权利要求书2页说明书5页附图1页(54)发明名称用于立式炉管设备舟架的晶圆放置规则的配置方法(57)摘要本发明中公开了一种用于立式炉管设备舟架的晶圆放置规则的配置方法，该方法通过获取待进入舟架的不同类型晶圆在缓存区的剩余情况，并根据缓存区不同类型晶圆的剩余情况，从预设的不同类型晶圆的放置规则表中获取各个类型晶圆进入舟架的放置方式，因而能够根据缓存区不同类型晶圆的剩余情况，及时、灵活的调整不同晶圆的放置方式，配置晶圆放置规则，从而能够快速确定不同类型晶圆放置的优选方案，不仅操作简单，而且调整效率高、出错率低，能够适应于不同情况下舟架晶圆放置的需求，使用价值高，应用前景好。CN115458424ACN115458424A权利要求书1/2页1.一种用于立式炉管设备舟架的晶圆放置规则的配置方法，其特征在于，所述配置方法包括：S1、获取待进入舟架的不同类型晶圆在缓存区的剩余情况；S2、根据缓存区不同类型晶圆的剩余情况，从预设的不同类型晶圆的放置规则表中获取各个类型晶圆进入舟架的放置方式；所述不同类型晶圆的放置规则表中包含各个类型晶圆在缓存区的剩余情况和对应的放置方式之间的映射关系。2.根据权利要1所述的用于立式炉管设备舟架的晶圆放置规则的配置方法，其特征在于，所述晶圆的类型包括挡片、填充片、工艺片和监测片。3.根据权利要2所述的用于立式炉管设备舟架的晶圆放置规则的配置方法，其特征在于，所述晶圆的类型为工艺片时，获取缓存区放置工艺片的片盒数量以及各片盒中工艺片的数量。4.根据权利要3所述的用于立式炉管设备舟架的晶圆放置规则的配置方法，其特征在于，所述晶圆的类型为工艺片时，根据缓存区放置工艺片的片盒数量以及各片盒中工艺片的数量，从设定的工艺片的放置规则表中获取工艺片进入舟架的放置方式；所述工艺片的放置规则表中包含缓存区放置工艺片的片盒数量以及各片盒中工艺片的数量与工艺片放置方式之间的映射关系，具体为：当缓存区放置工艺片的片盒数量≥1个且片盒中工艺片的数量大于或等于待进入舟架所需数量时，对应的工艺片的放置方式为以下任意一种：方式一，将工艺片放置到舟架中除放置有挡片和监测片以外的其他片槽中，方式二，将工艺片放置到舟架上的指定片槽中；当缓存区放置工艺片的片盒数量≥1个且片盒中工艺片的数量小于待进入舟架所需数量时，对应的工艺片的放置方式为以下任意一种：方式一，在舟架上设定中心片槽，将工艺片放置在设定的中心片槽的两侧，空余片槽用填充片补充；方式二，将工艺片放置到舟架中除放置有挡片和监测片以外的其他片槽中，空余片槽用填充片补充；方式三，给出缓存区片盒中工艺片数量不足的提示。5.根据权利要4所述的用于立式炉管设备舟架的晶圆放置规则的配置方法，其特征在于，所述晶圆的类型为挡片时，获取缓存区挡片的数量，根据缓存区挡片的数量，从设定的档片的放置规则表中获取挡片进入舟架的放置方式；所述档片的放置规则表中包含缓存区挡片的数量与档片放置方式之间的映射关系，具体为：当缓存区挡片的数量大于或等于待进入舟架所需数量时，对应的挡片的放置方式为：将挡片放置在舟架的顶部和底部；当缓存区片盒中挡片的数量小于待进入舟架所需数量时，对应的挡片的放置方式为以下任意一种：方式一：将填充片放置到挡片在舟架上的预设片槽中；方式二：将舟架上缺少挡片的片槽空余；方式三：给出缓存区片盒中挡片数量不足的提示。6.根据权利要5所述的用于立式炉管设备舟架的晶圆放置规则的配置方法，其特征在于，所述晶圆的类型为监测片时，获取缓存区监测片的数量，根据缓存区监测片的数量，从设定的监测片的放置规则表中获取监测片进入舟架的放置方式；所述监测片的放置规则表中包含缓存区监测片的数量与监测片放置方式之间的映射关系，具体为：2CN115458424A权利要求书2/2页当缓存区监测片的数量大于或等于待进入舟架所需数量时，对应的挡片的放置方式为以下任意一种：方式一，将监测片放置到舟架上对应的片槽中；方式二，将监测片放置到舟架上的指定片槽中；当缓存区监测片的数量小于待进入舟架所需数量时，对应的挡片的放置方式为以下任意一种：方式一，将填充片放置到监测片在舟架上的预设片槽中；方式二，不进行处理，把舟架上缺少监测片的片槽空余；方式三