炉管柱状晶组织形成方法及温度控制装置.pdf
是湛****21
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炉管柱状晶组织形成方法及温度控制装置.pdf
本发明公开了一种炉管柱状晶组织形成方法及温度控制装置,采用离心铸造浇注工艺,首先对离心铸造型筒加热,达到预定温度后保温,将铸造钢水注入离心铸造型筒,通过温度控制装置确保整个离心铸造过程中铸造钢水与离心铸造型筒之间的温度梯度,从而获得所需柱状晶组织比例的炉管。离心铸造型筒下方的加热系统和冷却系统可以确保离心铸造管段生产时,铸造钢水与离心铸造型筒之间的温度梯度,从而确保离心铸造炉管的柱状晶组织的比例。
炉管温度校准方法.pdf
本发明提供一种炉管温度校准方法,包括:提供待校准的炉管,所述炉管内放置有若干个温度测量仪,温度测量仪用于测量炉管的温度;于炉管内放置若干个已完成离子注入的衬底,若干个衬底与若干个温度测量仪对应设置;开启炉管以对衬底进行热退火处理;测量衬底的离子注入层电阻,通过测量得到的离子注入层电阻得到炉管内对应衬底所在位置的温度,依得到的温度与温度测量仪测得的温度对炉管进行温度校准。本发明可以最大程度减少人为干扰,降低人力成本,且可准确反映实际的工艺温度,提高校准的准确性;同时因无需使用贵金属材质的标准热电偶进行校准,
温度缓冲装置及炉管系统.pdf
本发明公开了一种温度缓冲装置及炉管系统,通过一个能够调控水蒸气温度的温度调控装置,将水蒸气的温度尽可能地靠近或达到所需要的温度,使得反应腔内的反应状况可以得到控制,避免了现有技术中温度差异较大而无法有效控制反应,即避免了产生二氧化硅层时厚度过厚,平整度较差等问题,从而提高了形成的二氧化硅层厚度的准确性和平整度,也能够保证晶圆之间的平整度差异较小,大大的提高了产品的质量。
炉管晶舟温度的检测设备及炉管晶舟温度的监控方法.pdf
本发明提供了一种炉管晶舟温度的检测设备,包括:温度检测仪和控制系统,所述温度检测仪用于监测晶舟的温度并传给所述控制系统,所述控制系统对晶舟的温度进行判断,本发明还提供了一种炉管晶舟温度的监控方法,包括:温度检测仪检测晶舟的温度;所述温度检测仪将监测到的晶舟的温度传给控制系统;所述控制系统对所述晶舟的温度进行判断。在本发明提供的一种炉管晶舟温度的检测设备及炉管晶舟温度的监控方法中,温度检测仪能智能地感知晶舟的温度并传输给控制系统,控制系统智能地判断是否达到卸载硅片的温度条件,并控制卸载硅片。
钢板的温度控制装置及温度控制方法.pdf
在本发明的一实施方式的钢板的温度控制装置(1)中,状态变量/干扰推定部(15)同时推定控制模型的状态变量及温度干扰变量的值,炉温变更量算出部(16)使用控制模型的状态变量及温度干扰变量的值,以使加热炉的输出侧的钢板的温度的目标值与实绩值的偏差的平方和成为最小的方式在制约条件下算出各加热区域的炉温变更量,炉温控制部(17)以使算出的炉温变更量能够实现的方式控制各加热区域的使用燃料流量。