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一种还原炉硅芯、硅芯横梁安装方法及装置.pdf
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一种还原炉硅芯、硅芯横梁安装方法及装置.pdf
本发明公开了一种还原炉硅芯、硅芯横梁安装方法及装置，涉及多晶硅生产技术领域，主要用于解决人工安装硅芯、硅芯横梁，硅芯垂直度难以保证，且易引入杂质，影响多晶硅品质的问题。其通过如下步骤实现：准备硅芯；输送硅芯：安装石墨底座；90°翻转硅芯：组装硅芯和电极盘：装入还原炉。装置的结构为：工作台上设有硅芯输送带；硅芯输送带进料端设有硅芯存储箱，硅芯输送带中部两侧设有石墨座安装器和硅芯顶块，硅芯输送带的出料端依次设有翻转机械臂、成品架、夹持机构以及电极盘。本发明提供的一种还原炉硅芯、硅芯横梁安装方法及装置，其能自动
2023-06-16
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2023-06-17
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2023-06-17
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一种还原炉硅芯对接方法.pdf
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