多晶硅还原炉硅芯安装装置以及安装方法.pdf
小宏****aa
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多晶硅还原炉硅芯安装装置以及安装方法.pdf
本发明提供的一种多晶硅还原炉硅芯安装装置以及安装方法,涉及多晶硅生产技术领域,包括:硅芯安装盘,硅芯安装盘用于根据预设还原炉底盘电极的分布结构对应固定硅芯组件;硅芯吊装机构,硅芯吊装机构与硅芯安装盘对应设置,用于将硅芯组件吊装至硅芯安装盘以固定。在上述技术方案中,通过硅芯安装盘可以将硅芯组件预先按照预设还原炉底盘电极的分布结构进行分布固定,当还原炉底盘清理完成之后,便可以直接利用硅芯安装盘将预先分布固定好的硅芯组件安装在预设还原炉底盘,这种操作十分的快捷,还能够节省无产量的辅助时间,提高整体的生产效率。
多晶硅还原炉硅芯夹持装置.pdf
本发明涉及一种夹持装置,具体地说涉及多晶硅还原炉硅芯夹持装置,属于多晶硅生产技术领域。本发明的多晶硅还原炉硅芯夹持装置,包括卡瓣、盖子和底座,卡瓣通过盖子安装在底座上,盖子通过螺纹与底座连接,所述卡瓣包括上部的圆锥台和下部的圆柱体,所述圆柱体的直径大于圆锥台底面的直径,所述卡瓣的中心设有垂直的圆孔,所述圆孔与圆锥台同轴心。本发明结构稳定、能紧密包裹硅芯,防止硅芯根部发生逆腐蚀而倒棒,对整个还原生产倒棒率的减少极为有效。
一种还原炉硅芯、硅芯横梁安装方法及装置.pdf
本发明公开了一种还原炉硅芯、硅芯横梁安装方法及装置,涉及多晶硅生产技术领域,主要用于解决人工安装硅芯、硅芯横梁,硅芯垂直度难以保证,且易引入杂质,影响多晶硅品质的问题。其通过如下步骤实现:准备硅芯;输送硅芯:安装石墨底座;90°翻转硅芯:组装硅芯和电极盘:装入还原炉。装置的结构为:工作台上设有硅芯输送带;硅芯输送带进料端设有硅芯存储箱,硅芯输送带中部两侧设有石墨座安装器和硅芯顶块,硅芯输送带的出料端依次设有翻转机械臂、成品架、夹持机构以及电极盘。本发明提供的一种还原炉硅芯、硅芯横梁安装方法及装置,其能自动
多晶硅还原炉及多晶硅还原炉内壁安装镜面的操作方法.pdf
本发明公开的多晶硅还原炉及多晶硅还原炉内壁安装镜面的操作方法,炉体上装有两道门,两道门围起的空间形成圆柱形炉体上的一个凸起;炉内底盘上贴近炉体内壁处沿炉体一周设有凹槽,对应地,还原炉内壁中间高度处沿炉体一周设有T形凹槽,两圈凹槽形成两条对应的轨道。每一块经高度抛光的镜面下端装有两个小滑轮,镜面与炉内壁固定的一面中间高度处设计有一个T形凸起结构,T形凸起结构的下端也装有两个小滑轮,镜面的T形凸起与与炉体内壁的T形凹槽相吻合;镜面可以要通过炉内轨道方便地安装在还原炉内壁上。这样的设计能够降低还原炉能耗,同时避
多晶硅还原炉启炉的硅芯击穿方法、启炉方法、生产多晶硅的方法及装置.pdf
本发明公开了一种多晶硅还原炉启炉的硅芯击穿方法、启炉方法、生产多晶硅的方法及装置,该硅芯击穿方法包括以下步骤:向待启炉的多晶硅还原炉内通入非氧化性气体置换,再通入380~400℃的氢气进行置换,通过氢气对多晶硅还原炉内的硅芯进行预加热;打入电压进行硅芯击穿。在打入电压进行击穿时,此时多晶硅还原炉内的氢气仍为380~400℃,可维持硅芯为导体,不会导致硅芯电流、电压波动,实现硅芯击穿。该硅芯击穿方法可击穿200~300Ω·cm的电阻率的硅芯,提升还原一次转化率,由于击穿硅芯的电阻率大大提高,减少了现有技术为