半导体级单晶硅生长炉籽晶旋转提拉装置.pdf

(19)中华人民共和国国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN111334854A(43)申请公布日2020.06.26(21)申请号202010181761.7(22)申请日2020.03.16(71)申请人上海汉虹精密机械有限公司地址200444上海市宝山区宝山城市工业园区山连路188号(72)发明人刘海贺贤汉夏孝平赖章田徐淑文(74)专利代理机构上海申浩律师事务所31280代理人吕琳琳(51)Int.Cl.C30B15/30(2006.01)C30B29/06(2006.01)C30B15/28(2006.01)权利要求书2页说明书4页附图6页(54)发明名称半导体级单晶硅生长炉籽晶旋转提拉装置(57)摘要本发明公开了一种半导体级单晶硅生长炉籽晶旋转提拉装置，包括基座、籽晶旋转部、导线滑环、固定板和防转支架；所述籽晶旋转部安装在基座上，能够360度无限制连续旋转；所述导线滑环的旋转部安装在籽晶旋转部上，在籽晶旋转部360度无限制连续旋转时，将导线连接到旋转部件上去，来传输动力和信号；所述固定板固定安装在基座上，防转支架底端固定安装在固定板上，另一端安装在导线滑环的固定部上，确保导线滑环的固定部不会随导线滑环的旋转部一起转动；半导体级单晶硅生长炉籽晶旋转提拉装置，籽晶旋转系统能够实现籽晶缓慢、精确、稳定旋转运动，籽晶升降系统能够实现籽晶缓慢、精确、稳定升降运动。CN111334854ACN111334854A权利要求书1/2页1.半导体级单晶硅生长炉籽晶旋转提拉装置，其特征在于：包括基座(1)、籽晶旋转部(2)、导线滑环(3)、防转支架(4)和固定板(5)；所述籽晶旋转部(2)安装在基座(1)上，能够360度无限制连续旋转；所述导线滑环(3)的旋转部安装在籽晶旋转部(2)上，在籽晶旋转部(2)360度无限制连续旋转时，将导线连接到旋转部件上去，来传输动力和信号；所述固定板(5)固定安装在基座(1)上，防转支架(4)底端固定安装在固定板(5)上，另一端安装在导线滑环(3)的固定部上，确保导线滑环(3)的固定部不会随导线滑环(3)的旋转部一起转动。2.根据权利要求1所述的半导体级单晶硅生长炉籽晶旋转提拉装置，其特征在于：所述籽晶旋转部(2)包括旋转盘(6)、籽晶腔(7)、升降磁流体(10)、旋转磁流体(26)、绕绳机构(27)、压绳组(28)、称重机构(29)、籽晶绳(30)、籽晶夹头(31)和籽晶(32)；所述籽晶腔(7)安装在旋转磁流体(26)的旋转部上，旋转磁流体(26)的固定部安装在基座(1)的安装基板(21)上，旋转磁流体(26)的旋转部能够360度无限制连续旋转；所述旋转盘(6)安装在籽晶腔(7)底部随籽晶腔(7)一起旋转；所述绕绳机构(27)、压绳组(28)和称重机构(29)安装在籽晶腔(7)内部，所述绕绳机构(27)的旋转轴(33)穿过升降磁流体(10)的旋转部，升降磁流体(10)的固定部安装在籽晶腔(7)侧面，升降磁流体(10)的旋转部能够360度无限制旋转；所述籽晶绳(30)一端固定在绕绳机构(27)的线轮(34)端面上，另一端固定在籽晶夹头(31)上，籽晶(32)安装籽晶夹头(31)上；籽晶绳(30)缠绕在绕绳机构(27)的线轮(34)槽内，压绳组(28)压住籽晶绳(30)，通过驱动绕绳机构(27)旋转，使籽晶绳(30)在绕绳机构(27)的线轮(34)槽内缠绕或散开，从而实现籽晶夹头(31)和籽晶(32)升降运动；所述籽晶绳(30)压住称重机构(29)，通过合力计算，能够实现晶棒称重。3.根据权利要求2所述的半导体级单晶硅生长炉籽晶旋转提拉装置，其特征在于：所述籽晶旋转部(2)还包括大多楔带轮(25)，所述大多楔带轮(25)固定在旋转磁流体(26)的旋转部上，大多楔带轮(25)能够在旋转马达(20)、小多楔带轮(23)和多楔带(24)的带动下旋转运动，进而带动籽晶腔(7)以及籽晶(32)旋转运动；运动传输路线为：旋转马达→小多楔带轮→多楔带→大多楔带轮→旋转磁流体的旋转部→籽晶腔→绕绳机构→籽晶绳→籽晶夹头→籽晶。4.根据权利要求2所述的半导体级单晶硅生长炉籽晶旋转提拉装置，其特征在于：所述籽晶旋转部(2)还包括减速器(11)、第一联轴器(12)、变速箱(13)、第二联轴器(14)和升降马达(15)；所述速器(11)、变速箱(13)和升降马达(15)固定安装于旋转盘(6)上，第二联轴器(14)连接升降马达(15)和变速箱(13)，第一联轴器(12)连接变速箱(13)和减速器(11)；所述绕绳机构(27)的旋转轴(33)穿过升降磁流体(10)的旋转部，插入减速器(11)内；升降马达(15)经过传动路径，将动力传动到绕绳机构(27)，使绕绳机构(27)旋转；动力传动路径为：升降马达(15)→第