一种用于单晶硅生长炉的籽晶夹持提拉装置.pdf

(19)中华人民共和国国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN110230093A(43)申请公布日2019.09.13(21)申请号201910620562.9(22)申请日2019.07.10(71)申请人深圳市全普科技有限公司地址518000广东省深圳市龙华区观澜观光路1301号银星科技大厦D602(72)发明人陈亚雄许颖陈景鹏(74)专利代理机构石家庄轻拓知识产权代理事务所(普通合伙)13128代理人王璐(51)Int.Cl.C30B29/06(2006.01)C30B15/32(2006.01)权利要求书1页说明书2页附图3页(54)发明名称一种用于单晶硅生长炉的籽晶夹持提拉装置(57)摘要本发明公开了一种用于单晶硅生长炉的籽晶夹持提拉装置，包括提拉杆，提拉杆底部通过支架分别安装有横向夹持器和纵向夹持器，籽晶的侧面和顶面分别与横向夹持器和纵向夹持器固定连接；所述横向夹持器包括第一外壳，第一外壳内固定有第一内套，第一外壳上螺纹连接有若干个第一锁止螺杆，第一内套上设置有与第一锁止螺杆相配合的通孔，第一锁止螺杆的底部固定有压盘，籽晶位于第一内套内的部分的表面设置有与压盘相配合的滑槽；所述纵向夹持器包括两个通过第二锁止螺杆连接的第二外壳，第二外壳内侧设置有卡槽，籽晶位于第二外壳内的部分的表面设置有与卡槽相配合的凸缘。本发明能够改进现有技术的不足，提高对于籽晶的保护效果。CN110230093ACN110230093A权利要求书1/1页1.一种用于单晶硅生长炉的籽晶夹持提拉装置，包括提拉杆（1），其特征在于：提拉杆（1）底部通过支架（2）分别安装有横向夹持器（3）和纵向夹持器（4），横向夹持器（3）位于纵向夹持器（4）的下方，籽晶（5）的侧面和顶面分别与横向夹持器（3）和纵向夹持器（4）固定连接；所述横向夹持器（3）包括第一外壳（6），第一外壳（6）内固定有第一内套（7），第一外壳（6）上螺纹连接有若干个第一锁止螺杆（8），第一内套（7）上设置有与第一锁止螺杆（8）相配合的通孔（9），第一锁止螺杆（8）的底部固定有压盘（10），籽晶（5）位于第一内套（7）内的部分的表面设置有与压盘（10）相配合的滑槽（11）；所述纵向夹持器（4）包括两个通过第二锁止螺杆（13）连接的第二外壳（12），第二外壳（12）内侧设置有卡槽（14），籽晶（5）位于第二外壳（12）内的部分的表面设置有与卡槽（14）相配合的凸缘（15）。2.根据权利要求1所述的用于单晶硅生长炉的籽晶夹持提拉装置，其特征在于：所述压盘（10）底面设置有锥形空腔（16）。3.根据权利要求2所述的用于单晶硅生长炉的籽晶夹持提拉装置，其特征在于：所述第一内套（7）内侧端的顶部和第一内套（7）外侧端的底部分别固定有限位块（17），限位块（17）与籽晶（5）的接触面设置有斜面部（18）。4.根据权利要求3所述的用于单晶硅生长炉的籽晶夹持提拉装置，其特征在于：所述锥形空腔（16）的底部边缘设置有齿形压边（19）。5.根据权利要求1所述的用于单晶硅生长炉的籽晶夹持提拉装置，其特征在于：所述卡槽（14）的顶面和底面与凸缘（15）间隙配合，卡槽（14）的侧面边缘设置有弧形部（20）。6.根据权利要求5所述的用于单晶硅生长炉的籽晶夹持提拉装置，其特征在于：所述第二外壳（12）与籽晶（5）的接缝处插接有限位销（21）。2CN110230093A说明书1/2页一种用于单晶硅生长炉的籽晶夹持提拉装置技术领域[0001]本发明涉及半导体技术领域，尤其是一种用于单晶硅生长炉的籽晶夹持提拉装置。背景技术[0002]在采用提拉法制备单晶硅的设备中，籽晶是通过夹持提拉装置进行固定的。现有的夹持提拉装置在籽晶受到多个方向扰动的情况下，对籽晶的保护效果不佳。发明内容[0003]本发明要解决的技术问题是提供一种用于单晶硅生长炉的籽晶夹持提拉装置，能够解决现有技术的不足，提高对于籽晶的保护效果。[0004]为解决上述技术问题，本发明所采取的技术方案如下。[0005]一种用于单晶硅生长炉的籽晶夹持提拉装置，包括提拉杆，提拉杆底部通过支架分别安装有横向夹持器和纵向夹持器，横向夹持器位于纵向夹持器的下方，籽晶的侧面和顶面分别与横向夹持器和纵向夹持器固定连接；所述横向夹持器包括第一外壳，第一外壳内固定有第一内套，第一外壳上螺纹连接有若干个第一锁止螺杆，第一内套上设置有与第一锁止螺杆相配合的通孔，第一锁止螺杆的底部固定有压盘，籽晶位于第一内套内的部分的表面设置有与压盘相配合的滑槽；所述纵向夹持器包括两个通过第二锁止螺杆连接的第二外壳，第二外壳内侧设置有卡槽，籽晶位于第二外壳内的部分的表面设置有与卡槽相配合的凸缘。[0006]作为优选，所述压盘底面设置有锥形空腔。[0007]作为优选，所述第一内套内侧端的顶部和第