籽晶提拉装置、晶体生长设备和籽晶提拉方法.pdf

(19)国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN114836824A(43)申请公布日2022.08.02(21)申请号202210319101.X(22)申请日2022.03.29(71)申请人徐州鑫晶半导体科技有限公司地址221004江苏省徐州市经济技术开发区鑫芯路1号(72)发明人陈俊宏周琳(74)专利代理机构北京清亦华知识产权代理事务所(普通合伙)11201专利代理师徐章伟(51)Int.Cl.C30B15/30(2006.01)C30B15/32(2006.01)C30B15/20(2006.01)C30B29/06(2006.01)权利要求书2页说明书11页附图10页(54)发明名称籽晶提拉装置、晶体生长设备和籽晶提拉方法(57)摘要本发明公开了一种籽晶提拉装置、晶体生长设备和籽晶提拉方法，籽晶提拉装置包括籽晶提拉件、籽晶旋转升降机构和水冷套，籽晶提拉件包括籽晶轴、籽晶夹持器和保持件，籽晶旋转升降机构、籽晶轴、籽晶夹持器和籽晶沿长晶炉的轴向依次相连，保持件内具有容纳腔，籽晶夹持器部分容纳于容纳腔内且可相对保持件绕籽晶的中心轴线旋转，籽晶旋转升降机构用于驱动籽晶绕自身的中心轴线旋转以及沿长晶炉的轴向移动，保持件与水冷套可沿长晶炉的轴向相对滑动地配合。根据本发明实施例的籽晶提拉装置，可以降低籽晶在炉体中产生震荡的震荡幅度或避免籽晶在炉体中发生震荡，保证拉制晶棒过程的稳定性，提高晶棒的生长品质。CN114836824ACN114836824A权利要求书1/2页1.一种籽晶提拉装置，其特征在于，设置于长晶炉，包括：籽晶提拉件，所述籽晶提拉件包括籽晶轴、籽晶夹持器和保持件，所述籽晶夹持器的一端连接所述籽晶轴，相对的另一端连接籽晶，所述保持件内具有容纳腔，所述籽晶夹持器部分容纳于所述容纳腔内，所述籽晶夹持器于所述容纳腔中可在所述籽晶轴的带动下相对所述保持件绕所述籽晶的中心轴线旋转；籽晶旋转升降机构，所述籽晶旋转升降机构与所述籽晶轴远离所述籽晶的一端相连，用于驱动所述籽晶绕自身的中心轴线旋转以及沿所述长晶炉的轴向移动；水冷套，所述水冷套安装于所述长晶炉的炉体内，且至少套设于所述保持件的径向外侧，所述保持件与所述水冷套可沿所述长晶炉的轴向相对滑动地配合。2.根据权利要求1所述的籽晶提拉装置，其特征在于，所述籽晶夹持器包括：夹持头，所述夹持头用于夹持籽晶；连接杆，所述连接杆穿设于所述保持件且相对所述保持件可旋转，所述连接杆穿设于所述保持件的部分容纳于所述容纳腔，所述连接杆远离所述籽晶的一端与所述籽晶轴相连。3.根据权利要求2所述的籽晶提拉装置，其特征在于，所述籽晶夹持器还包括支撑板，所述支撑板设于所述连接杆，所述支撑板设于所述容纳腔中且相对所述保持件可旋转，所述容纳腔的内壁与所述支撑板之间设有滚珠，以使所述支撑板与所述保持件滚动接触。4.根据权利要求1‑3中任一项所述的籽晶提拉装置，其特征在于，所述保持件的外壁和所述水冷套的内壁中的一个上具有限位凸起，所述保持件的外壁和所述水冷套的内壁中的另一个上设有导槽，所述限位凸起适于容纳于所述导槽，所述导槽沿上下方向延伸，所述限位凸起相对所述导槽可上下滑动。5.根据权利要求1‑3中任一项所述的籽晶提拉装置，其特征在于，所述水冷套包括固定部和移动部，所述固定部和所述移动部均为环形，所述固定部安装于所述长晶炉的炉体，所述移动部沿所述长晶炉轴向适于在所述固定部的第一位置和第二位置之间移动，以调节所述水冷套在所述长晶炉轴向上的总长度。6.根据权利要求5所述的籽晶提拉装置，其特征在于，所述固定部包括：安装部以及连接于所述安装部下方的固定配合部，所述安装部的内周壁沿其周向形成有向所述安装部的径向外侧延伸的安装槽，所述移动部可上下移动地设于所述安装槽，在所述保持件由下向上移动的过程中，所述保持件先与所述固定配合部滑动配合，再与所述移动部滑动配合。7.根据权利要求5所述的籽晶提拉装置，其特征在于，所述籽晶提拉装置还包括用于驱动所述移动部移动的水冷套驱动机构，所述水冷套驱动机构包括：驱动装置；升降导杆，所述升降导杆的下端与所述移动部螺纹连接，所述移动部的侧壁上形成有带有螺纹的升降孔，所述升降导杆容纳于所述升降孔中，且所述升降导杆的螺纹适于与所述升降孔的螺纹配合，在所述升降导杆转动时所述升降导杆带动所述移动部上下移动；传动机构，所述传动机构可传动地连接在所述驱动装置与所述升降导杆之间，所述驱动装置通过所述传动机构驱动所述升降导杆转动。8.一种晶体生长设备，其特征在于，包括：根据权利要求1‑7中任一项所述的籽晶提拉装置。2CN114836824A权利要求书2/2页9.一种籽晶提拉方法，其特征在于，所述籽晶提拉方法利用根据权利要求1‑4中任一项所述的籽晶提拉装置对籽晶进行提拉，所述籽晶提拉方法包括按照