一种半导体硅单晶炉的籽晶提拉机构.pdf

(19)国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN114959883A(43)申请公布日2022.08.30(21)申请号202210595903.3(22)申请日2022.05.17(71)申请人上海汉虹精密机械有限公司地址200444上海市宝山区宝山城市工业园区山连路188号(72)发明人刘伟贺贤汉夏孝平徐淑文彭文井(74)专利代理机构上海申浩律师事务所31280专利代理师赵建敏(51)Int.Cl.C30B15/30(2006.01)C30B29/06(2006.01)权利要求书2页说明书4页附图2页(54)发明名称一种半导体硅单晶炉的籽晶提拉机构(57)摘要本发明涉及机械技术领域。一种半导体硅单晶炉的籽晶提拉机构，包括旋转轴以及驱动旋转轴转动的驱动机构，还包括籽晶绳升降组件；籽晶绳升降组件包括防护罩、磁流体旋转密封件、球轴承、T形螺母、滑动螺杆、籽晶绳以及缠绕有籽晶绳的绕线轮，绕线轮上开设有螺旋状设置的绕线槽；旋转轴通过磁流体旋转密封件与防护罩相连围成空腔，空腔内安装有支撑球轴承的轴承座；旋转轴上以轴向为滑动方向滑动连接有位于空腔内的滑动螺杆；磁流体旋转密封件的外圈与T形螺母通过螺钉可拆卸连接，T形螺母位于空腔内；T形螺母与滑动螺杆设有相互匹配的螺纹结构，T形螺母与滑动螺杆通过螺纹结构螺纹连接，滑动螺杆上可拆卸连接有绕线轮。籽晶绳可原位置升降。CN114959883ACN114959883A权利要求书1/2页1.一种半导体硅单晶炉的籽晶提拉机构，包括旋转轴以及驱动旋转轴转动的驱动机构，其特征在于，还包括籽晶绳升降组件；所述籽晶绳升降组件包括防护罩、磁流体旋转密封件、球轴承、T形螺母、滑动螺杆、籽晶绳以及缠绕有籽晶绳的绕线轮，所述绕线轮上开设有螺旋状设置的绕线槽；所述旋转轴上安装有左右设置的所述磁流体旋转密封件以及所述球轴承；所述旋转轴的端部伸入所述防护罩内，且所述旋转轴通过所述磁流体旋转密封件与所述防护罩相连围成空腔，所述空腔内安装有支撑所述球轴承的轴承座；所述旋转轴上以轴向为滑动方向滑动连接有位于所述空腔内的滑动螺杆；所述磁流体旋转密封件的外圈与所述T形螺母通过螺钉可拆卸连接，所述T形螺母位于所述空腔内；所述T形螺母与所述滑动螺杆设有相互匹配的螺纹结构，所述T形螺母与所述滑动螺杆通过螺纹结构螺纹连接，所述滑动螺杆上可拆卸连接有所述绕线轮；所述防护罩上开设有籽晶绳伸出的开口；所述T形螺母以及所述滑动螺杆螺纹结构的螺距与所述绕线槽的螺距相等。2.根据权利要求1所述的一种半导体硅单晶炉的籽晶提拉机构，其特征在于：还包括T型螺母浮动机构；所述T形螺母浮动机构包括隔套以及垫片；所述T形螺母上开设有穿过螺钉的穿孔，且所述隔套位于所述穿孔内；所述螺钉穿过所述垫片以及隔套，且所述螺钉的头部抵住所述垫片，所述垫片抵住所述隔套，所述螺钉的头部与所述T形螺母之间存有间隙。3.根据权利要求2所述的一种半导体硅单晶炉的籽晶提拉机构，其特征在于：所述穿孔包括容纳所述螺钉头部的沉孔；所述隔套邻近螺钉头部侧伸入所述沉孔；且所述隔套的轴向长度大于所述穿孔邻近所述磁流体旋转密封件侧至所述沉孔邻近所述磁流体旋转密封件侧的距离，差值为9‑11丝。4.根据权利要求1所述的一种半导体硅单晶炉的籽晶提拉机构，其特征在于：还包括绝缘连接组件；所述绝缘连接组件包括第一螺钉、尼龙固定圈、树脂轴环、尼龙过渡法兰以及连接法兰；所述滑动螺杆上开设有周向设置的安装孔，所述树脂轴环位于所述安装孔内；所述尼龙固定圈与所述尼龙过渡法兰夹持所述滑动螺杆；所述连接法兰抵住所述尼龙过渡法兰的一侧；所述第一螺钉依次穿过所述绕线轮、所述尼龙固定圈、所述树脂轴环以及所述尼龙过渡法兰，与所述连接法兰可拆卸连接。5.根据权利要求4所述的一种半导体硅单晶炉的籽晶提拉机构，其特征在于：所述旋转轴上沿着轴向滑动连接有滑块，所述滑块夹设固定在所述滑动螺杆与所述尼龙固定圈之间。6.根据权利要求1所述的一种半导体硅单晶炉的籽晶提拉机构，其特征在于：所述绕线轮远离所述磁流体旋转密封件的一侧开设有导线槽，所述导线槽的外侧与所述绕线槽对接；2CN114959883A权利要求书2/2页所述籽晶绳的尾端通过籽晶绳压板固定在所述绕线轮远离所述磁流体旋转密封件一侧的端面；所述绕线轮还可拆卸连接有籽晶绳挡板，所述籽晶绳挡板与所述导线槽夹持固定所述籽晶绳的端部。7.根据权利要求1所述的一种半导体硅单晶炉的籽晶提拉机构，其特征在于：所述磁流体旋转密封件的内圈左端超出所述磁流体旋转密封件的外圈；所述磁流体旋转密封件的内圈超出所述磁流体旋转密封件外圈的区域套设有皮带轮，所述皮带轮通过皮带与检测带轮联动；还包括一感应检测带轮旋转圈数的传感器。8.根据权利要求1所述的一种半导体硅单晶炉的籽晶提拉机构，其特征在于：所述驱动机