籽晶提拉装置和晶体生长设备.pdf

(19)国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN114836819A(43)申请公布日2022.08.02(21)申请号202210318943.3(22)申请日2022.03.29(71)申请人徐州鑫晶半导体科技有限公司地址221004江苏省徐州市经济技术开发区鑫芯路1号(72)发明人陈俊宏周琳(74)专利代理机构北京清亦华知识产权代理事务所(普通合伙)11201专利代理师徐章伟(51)Int.Cl.C30B15/00(2006.01)C30B15/30(2006.01)C30B29/06(2006.01)权利要求书2页说明书13页附图10页(54)发明名称籽晶提拉装置和晶体生长设备(57)摘要本发明公开了一种籽晶提拉装置和晶体生长设备，籽晶提拉装置包括籽晶轴、籽晶夹持器、籽晶旋转升降机构和保持器，籽晶夹持器用于夹持籽晶，籽晶夹持器连接在籽晶轴的下端；籽晶旋转升降机构与籽晶轴的上端相连，用于驱动籽晶绕自身的中心轴线旋转以及沿上下方向移动，籽晶的旋转轴线沿上下方向延伸；保持器位于籽晶轴的外周侧，保持器的上端与炉体相连，保持器的下端与籽晶夹持器相连，保持器在上下方向上的长度可变。根据本发明实施例的籽晶提拉装置，在拉制晶棒的过程中，可以使得籽晶夹持器稳定地上升和旋转，降低籽晶在炉体中产生震荡的震荡幅度或避免籽晶在炉体中发生震荡，保证拉制晶棒过程的稳定性，提高晶棒的生长品质。CN114836819ACN114836819A权利要求书1/2页1.一种籽晶提拉装置，其特征在于，设置于长晶炉，包括：籽晶轴，所述籽晶轴的沿所述长晶炉的轴向延伸；籽晶夹持器，所述籽晶夹持器用于夹持籽晶，所述籽晶夹持器连接在所述籽晶轴的下端；籽晶旋转升降机构，所述籽晶旋转升降机构与所述籽晶轴的上端相连，用于驱动所述籽晶绕自身的中心轴线旋转以及沿所述长晶炉的轴向移动；保持器，所述保持器位于所述籽晶轴的径向外侧，所述保持器的上端与所述长晶炉的炉体相连，所述保持器的下端与所述籽晶夹持器相连，所述保持器在所述长晶炉的轴向的长度可变，以适应所述籽晶夹持器沿所述长晶炉的轴向移动。2.根据权利要求1所述的籽晶提拉装置，其特征在于，所述保持器包括与所述炉体连接的第一保持件、与所述籽晶夹持器连接的第二保持件，所述第一保持件与所述第二保持件沿所述长晶炉的轴向可相对滑动，以适应所述籽晶夹持器沿所述长晶炉的轴向移动。3.根据权利要求2所述的籽晶提拉装置，其特征在于，所述保持器还包括至少一个第三保持件，所述第三保持件设在所述第一保持件和所述第二保持件之间，与所述第一保持件相邻的所述第三保持件可相对所述第一保持件沿所述长晶炉的轴向滑动，在所述第三保持件为多个时，相邻两个所述第三保持之间可沿所述长晶炉的轴向相对滑动。4.根据权利要求3所述的籽晶提拉装置，其特征在于，与所述第二保持件相邻的所述第三保持件可相对所述第二保持件沿所述长晶炉的轴向滑动。5.根据权利要求4所述的籽晶提拉装置，其特征在于，所述籽晶夹持器包括固定件和旋转件，所述第二保持件的下端与所述固定件相连且所述第二保持件相对所述固定件固定，所述籽晶轴的下端与所述旋转件相连，所述旋转件绕所述籽晶轴的中心轴线可转动地设于所述固定件，所述旋转件用于夹持所述籽晶，在所述籽晶轴上升的过程中，在籽晶夹持器与所述保持件的底面抵接时，通过所述籽晶夹持器推动所述保持件向上移动。6.根据权利要求5所述的籽晶提拉装置，其特征在于，所述旋转件包括旋转体和设于所述旋转体的夹持头，所述夹持头用于夹持所述籽晶，所述固定件内具有旋转腔，所述旋转体的部分配合于所述旋转腔，所述籽晶轴的下端与所述旋转体相连。7.根据权利要求6所述的籽晶提拉装置，其特征在于，所述籽晶夹持器还包括设于所述旋转腔内的缓冲件，所述缓冲件位于所述旋转腔的内周壁与所述旋转体的外周壁之间，所述缓冲件为多个且沿所述旋转体的周向间隔排布。8.根据权利要求7所述的籽晶提拉装置，其特征在于，所述缓冲件包括弹簧和第一滚动体，所述弹簧的轴向一端与所述旋转腔的内周壁相连，所述第一滚动体可转动地设于所述弹簧的另一端，所述第一滚动体与所述旋转体的外周壁适于滚动接触。9.根据权利要求8所述的籽晶提拉装置，其特征在于，所述籽晶夹持器还包括用于对所述缓冲件进行限位的限位筒，所述限位筒的数量与所述缓冲件的数量相同且一一对应，每个所述缓冲件的所述弹簧位于所述限位筒内，所述第一滚动体的部分位于所述限位筒内。10.根据权利要求3‑9中任一项所述的籽晶提拉装置，其特征在于，与所述第二保持件相邻的所述第三保持件与所述第二保持件在上下方向上相对固定，所述第二保持件相对与所述第二保持件相邻的所述第三保持件绕所述籽晶轴的中心轴线可转动，所述第二保持件相对所述籽晶夹持器固定，在所述籽晶轴上升的过程中，通过相邻的所述保持件推动可滑