内容提供者
一种适用于PECVD设备的炉管模块化机构.pdf
2023-06-16
10金币
841KB
11页
念珊****写意
实名认证
内容提供者
1/10
2/10
3/10
4/10
5/10
6/10
7/10
8/10
9/10
10/10
亲，该文档总共11页，到这已经超出免费预览范围，如果喜欢就直接下载吧～
相关资料
一种适用于PECVD设备的炉管模块化机构.pdf
本发明公开了一种适用于PECVD设备的炉管模块化机构，包括：内部中空的单面开放式机架；以及设于所述单面开放式机架内部的至少一组的炉体组件；其中，所述单面开放式机架包括：整体固定架；以及设于所述整体固定架内部的隔离架，所述隔离架将所述单面开放式机架隔离为水管放置腔及炉体放置腔，所述炉体放置腔的侧端开设有用于取放所述炉体组件的敞口。本发明具有通过将炉体装置放入进支撑框内，构成一整体，以使得维护时方便从单面开放式机架侧端整体取出炉体组件，而不需要从炉体两侧抽出石英管，达到维护方便的目的，同时结构简单，便于组装，
2023-06-16
10
841KB
一种用于PECVD设备的自动炉门机构.pdf
本发明公开了一种用于PECVD设备的炉门机构，为了解决石英管的密封问题，本发明包括两个双作用气缸，一个底座，一连杆，一个炉门法兰，两个导轨。其中两个双作用气缸实现炉门法兰的开关运动，并且通过炉门法兰和连杆之间的挠性连接来实现简单可靠的真空密封，从而确保设备真空良好和设备的可靠性。
2023-06-20
10
330KB
一种PECVD主机台炉管清理装置.pdf
本实用新型公开了一种PECVD主机台炉管清理装置,属于太阳能电池制备技术领域,所述装置石英耙、柄部、固定螺丝;所述石英耙安装于柄部的一端,所述石英耙底部为弧形,与石英管弧度一致,所述石英耙左右为弧形,弧度大于辅热管弧度;采用石英耙,避免破坏炉管管壁膜层、管内氮化硅和氧化铝,而且石英耙的头部设计为弧形,规避了很多磕碰点,对设备及石英耙都有很好的保护,柄采用不锈钢材质,价格优惠便于购买且易加工,使用本实用新型的清理装置不仅能减少粉尘污染及硅片污染频次,有效提高产能,还能降低对石英管的破坏。
2023-04-20
10
253KB
节能高效的PECVD反应炉管装置.pdf
本发明属于管式PECVD设备。为解决上述的PECVD恒温时间过长、转化效率低的问题，本发明提供一种节能高效的PECVD反应炉管装置，包括外侧炉体、加热炉体、纤维保温圈、电磁感应加热装置、石墨舟、推杆、支撑杆及法兰盘，所述法兰盘设置在外侧炉体的上下两端，法兰盘与外侧炉体之间设置纤维保温圈，所述支撑杆设置在加热炉体内，石墨舟设置在支撑杆上，所述电磁感应加热装置的电磁感应线圈环绕石墨舟设置；所述推杆包括上推杆和下推杆，下推杆上设置放置槽，上推杆伸出炉管的两端，下推杆位于炉管内。本发明通过电磁感应加热，升温速度快
2023-05-28
10
312KB
一种判断管式PECVD炉管内漏和外漏的方法.pdf
本发明涉及太阳能电池生产领域。一种判断管式PECVD炉管内漏和外漏的方法，本发明通过关闭部分阀门对PECVD炉管1进行保压测试，判断PECVD炉管是否存在泄漏，以及在存在泄漏时，存在内部泄漏还是外部泄漏，以及具体在哪个位置存在泄漏。本发明可以简单准确的判断管式PECVD炉管真空失败的内漏方法，缩短了异常处理的时间，确保了车间的正常生产，提高了备品备件的使用寿命，节约了车间的备件成本。
2023-06-16
10
323KB