节能高效的PECVD反应炉管装置.pdf

(19)国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN114807901A(43)申请公布日2022.07.29(21)申请号202210442912.9(22)申请日2022.04.25(71)申请人青岛科技大学地址266000山东省青岛市崂山区松岭路99号(72)发明人潘家敬谷雨(74)专利代理机构青岛中天汇智知识产权代理有限公司37241专利代理师韩丽萍(51)Int.Cl.C23C16/44(2006.01)C23C16/458(2006.01)C23C16/46(2006.01)C23C16/50(2006.01)权利要求书1页说明书2页附图2页(54)发明名称节能高效的PECVD反应炉管装置(57)摘要本发明属于管式PECVD设备。为解决上述的PECVD恒温时间过长、转化效率低的问题，本发明提供一种节能高效的PECVD反应炉管装置，包括外侧炉体、加热炉体、纤维保温圈、电磁感应加热装置、石墨舟、推杆、支撑杆及法兰盘，所述法兰盘设置在外侧炉体的上下两端，法兰盘与外侧炉体之间设置纤维保温圈，所述支撑杆设置在加热炉体内，石墨舟设置在支撑杆上，所述电磁感应加热装置的电磁感应线圈环绕石墨舟设置；所述推杆包括上推杆和下推杆，下推杆上设置放置槽，上推杆伸出炉管的两端，下推杆位于炉管内。本发明通过电磁感应加热，升温速度快，通过电磁感应的磁场分布增强化学气相沉积，提高转化效率。CN114807901ACN114807901A权利要求书1/1页1.一种节能高效的PECVD反应炉管装置，其特征在于，包括外侧炉体、加热炉体、纤维保温圈、电磁感应加热装置、石墨舟、推杆、支撑杆及法兰盘，所述法兰盘设置在外侧炉体的上下两端，法兰盘与外侧炉体之间设置纤维保温圈，所述支撑杆设置在加热炉体内，石墨舟设置在支撑杆上，所述电磁感应加热装置的电磁感应线圈环绕石墨舟设置；所述推杆包括上推杆和下推杆，下推杆上设置放置槽，上推杆伸出炉管的两端，下推杆位于炉管内。2.根据权利要求1所述的节能高效的PECVD反应炉管装置，其特征在于，所述推杆为可伸缩推杆。3.根据权利要求1所述的节能高效的PECVD反应炉管装置，其特征在于，所述炉管装置的两端均设置推杆。4.根据权利要求1所述的节能高效的PECVD反应炉管装置，其特征在于，所述维保温圈的材质为石棉。5.根据权利要求1所述的节能高效的PECVD反应炉管装置，其特征在于，所述外侧炉体为石英炉体。2CN114807901A说明书1/2页节能高效的PECVD反应炉管装置技术领域[0001]本发明属于管式PECVD设备，具体涉及一种节能高效的PECVD反应炉管装置。背景技术[0002]光伏发电是半导体的光电效应，它可以利用半导体的光电效应将光能直接转变为电能，光伏发电相比于传统的发电系统具有能源质量较高、获取时间较短、在复杂地区也比较容易搭建、危险性低、能源绿色清洁等一系列优点。减少晶体硅的反射，能够提高光电转化效率。PECVD(PlasmaEnhancedChemicalVaporDeposition，等离子体增强化学气相沉积)采用的等离子体增强化学气相沉积技术可以有效的减少晶体硅对于太阳光的反射，从而提高电池的转化效率。[0003]管式PECVD设备是在低温下可以进行高质量淀积减反射膜的装置，主要包括有反应炉管、推舟机构、气路系统和真空系统。恒温是PECVD工艺流程中比较重要的一步，就是将送入反应炉管的硅片及石墨舟从室温加热到PECVD反应所需温度，并使石墨舟的截面温度进行均匀分布，这一工艺步骤大概要占据整个工艺流程的三分之二的时间，所以如何让硅片及石墨舟迅速高质量的完成恒温步骤，对于降低生产成本，提高生产效率具有积极作用。而目前，缺少缩短恒温时间的技术。基于此，提出本发明。发明内容[0004]为解决上述的PECVD恒温时间过长、转化效率低的技术问题，本发明提供了一种节能高效的PECVD反应炉管装置，通过电磁感应加热，提高加热速度，通过电磁感应的磁场分布增强化学气相沉积，提高转化效率。[0005]本发明的技术方案如下：[0006]一种节能高效的PECVD反应炉管装置，包括外侧炉体、加热炉体、纤维保温圈、电磁感应加热装置、石墨舟、推杆、支撑杆及法兰盘，所述法兰盘设置在外侧炉体的上下两端，法兰盘与外侧炉体之间设置纤维保温圈，所述支撑杆设置在加热炉体内，石墨舟设置在支撑杆上，所述电磁感应加热装置的电磁感应线圈环绕石墨舟设置；所述推杆包括上推杆和下推杆，下推杆上设置放置槽，上推杆伸出炉管的两端，下推杆位于炉管内。[0007]进一步的，所述电磁感应线圈为矩形电磁感应线圈。[0008]进一步的，所述推杆为可伸缩推杆。[0009]进一步的，所述炉管装置的两端均设置推杆。[0010]进一步的，所述维保温圈的材质为石棉。[0011]