一种PECVD主机台炉管清理装置.pdf

本实用新型公开了一种PECVD主机台炉管清理装置,属于太阳能电池制备技术领域,所述装置石英耙、柄部、固定螺丝;所述石英耙安装于柄部的一端,所述石英耙底部为弧形,与石英管弧度一致,所述石英耙左右为弧形,弧度大于辅热管弧度;采用石英耙,避免破坏炉管管壁膜层、管内氮化硅和氧化铝,而且石英耙的头部设计为弧形,规避了很多磕碰点,对设备及石英耙都有很好的保护,柄采用不锈钢材质,价格优惠便于购买且易加工,使用本实用新型的清理装置不仅能减少粉尘污染及硅片污染频次,有效提高产能,还能降低对石英管的破坏。