一种判断管式PECVD炉管内漏和外漏的方法.pdf

(19)中华人民共和国国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN112323047A(43)申请公布日2021.02.05(21)申请号202011081416.2(22)申请日2020.10.12(71)申请人山西潞安太阳能科技有限责任公司地址046000山西省长治市郊区漳泽新型工业园区(72)发明人张云鹏王玉赵科巍郭鹏杨飞飞秦鹏(74)专利代理机构太原市科瑞达专利代理有限公司14101代理人李富元(51)Int.Cl.C23C16/50(2006.01)C23C16/52(2006.01)权利要求书1页说明书3页附图1页(54)发明名称一种判断管式PECVD炉管内漏和外漏的方法(57)摘要本发明涉及太阳能电池生产领域。一种判断管式PECVD炉管内漏和外漏的方法，本发明通过关闭部分阀门对PECVD炉管1进行保压测试，判断PECVD炉管是否存在泄漏，以及在存在泄漏时，存在内部泄漏还是外部泄漏，以及具体在哪个位置存在泄漏。本发明可以简单准确的判断管式PECVD炉管真空失败的内漏方法，缩短了异常处理的时间，确保了车间的正常生产，提高了备品备件的使用寿命，节约了车间的备件成本。CN112323047ACN112323047A权利要求书1/1页1.本发明涉及太阳能电池生产领域。2.一种判断管式PECVD炉管内漏和外漏的方法，本发明通过关闭部分阀门对PECVD炉管1进行保压测试，判断PECVD炉管是否存在泄漏，以及在存在泄漏时，存在内部泄漏还是外部泄漏，以及具体在哪个位置存在泄漏。3.本发明可以简单准确的判断管式PECVD炉管真空失败的内漏方法，缩短了异常处理的时间，确保了车间的正常生产，提高了备品备件的使用寿命，节约了车间的备件成本。2CN112323047A说明书1/3页一种判断管式PECVD炉管内漏和外漏的方法技术领域[0001]本发明涉及太阳能电池生产领域。背景技术[0002]光伏太阳能管式PECVD（等离子体增强化学气相沉积）工艺是在真空，低压的环境下（1800mTorr左右）进行的。如果满足不了此条件，工艺将无法运行。因此，炉管的密封性非常的重要。在生产过程中，经常会出现炉管密封不好，真空失败的报警，导致设备无法正常运行。引起真空失败的原因有很多种，包括有内漏和外漏。内漏是整个真空系统内部有漏点，外漏是外界与真空系统之间有漏点。判断和解决炉管真空失败的内漏点和外漏点，一般耗时较长，会影响车间的正常生产。如排查不当，会影响备品备件的使用寿命，增加车间的备件成本。发明内容[0003]本发明所要解决的技术问题是：如何判断PECVD炉管是否存在泄漏，以及在存在泄漏时，存在内部泄漏还是外部泄漏，以及具体在哪个位置存在泄漏。[0004]本发明所采用的技术方案是：一种判断管式PECVD炉管内漏和外漏的方法，PECVD炉管1通过主阀2连接真空泵3，笑气顺序通过第一气动阀8、第一质量流量计9、第一截止阀18连接PECVD炉管1，氨气顺序通过第二气动阀7、第二质量流量计10、第二截止阀17连接PECVD炉管1，硅烷顺序通过第三气动阀6、第三质量流量计11、第三截止阀16连接PECVD炉管1，氮气顺序通过第四气动阀4、第四质量流量计13、第四截止阀14连接PECVD炉管1，氮气顺序通过第四气动阀4、第五截止阀5、第三质量流量计11、第三截止阀16连接PECVD炉管1，氮气顺序通过第四气动阀4、第六截止阀12连接PECVD炉管1，真空泵3顺序通过第七截止阀15、第三截止阀16连接PECVD炉管1，判断管式PECVD炉管内漏和外漏的方法按如下步骤进行步骤一、关闭所有气动阀、关闭第七截止阀15，开启主阀2、开启第七截止阀15外其它所有截止阀，开启真空泵将PECVD炉管1内部压力抽至底压P0；步骤二、在步骤一的基础上，关闭主阀2、关闭真空泵3，对PECVD炉管1进行保压测试，如PECVD炉管1压力每秒上升小于2mTorr，则PECVD炉管1漏率正常，即PECVD炉管1无泄露，如PECVD炉管1压力每秒上升大于等于2mTorr，则PECVD炉管1有泄露，即存在内漏或/和外漏；步骤三、如果存在内漏或/和外漏，在步骤二的基础上，关闭所有截止阀，开启主阀2，开启真空泵将PECVD炉管1内部压力抽至底压P0；步骤四、在步骤三的基础上，关闭主阀2、关闭真空泵3，对PECVD炉管1进行保压测试，如PECVD炉管1压力每秒上升大于等于2mTorr，则PECVD炉管1为外漏，如PECVD炉管1压力每秒上升小于2mTorr，则PECVD炉管1为内漏；步骤五、在步骤四的基础上，如果为外漏，则更换第一气动阀8后，安步骤二进行对PECVD炉管1进行保压测试，PECVD炉管1无泄露说明原来的第一气动阀8有问题，如果继续有PECVD炉管1有泄露；则更换第二气动阀7，安步