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一种高α相氮化硅粉体的生产工艺.pdf
2023-06-16
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猫巷****志敏
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一种高α相氮化硅粉体的生产工艺，包括以下步骤：A：将硅粉研磨粉碎至D90为6μm；B：将研磨好的硅粉装入匣钵中，装料厚度在15‑30mm之间；C：将多个装好硅粉的匣钵上下叠放成一摞，叠放后的一摞中的各匣钵中硅粉的厚度总和小于等于300mm；D：将多摞装好硅粉的匣钵放入真空加热炉；E：将真空加热炉气压抽到100Pa以下；F：充入氮气至60kPa；G：升温反应，H：关闭系统加热，冷却真空加热炉，使系统在15至20小时降温至常温；I：取出反应产物粉碎、研磨为粉体。采用本发明的工艺可以得到α相含量超过95%的氮化
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